一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法技术

技术编号:3761746 阅读:283 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及阳极氧化铝膜的制备技术,具体为一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法。本发明专利技术将带铝基底的阳极氧化铝膜在高氯酸和丙酮混合溶液中进行阳极电解处理,可在短时间内(2-300s)获得两端开口、孔径可控的阳极氧化铝膜,阳极氧化铝膜的顶端和底端孔径分别在10-100nm和5-25nm范围内精确可控。将经阶梯降压法氧化带有铝基片的氧化铝膜置入高氯酸的丙酮溶液中,施加比成膜电压高5~15V的电压,进行阳极电解处理,即可得到孔径可控、通孔阳极氧化铝膜。本发明专利技术可以分别控制阳极氧化铝膜顶端和底端的孔径,同时开孔和去除铝基板是一步完成,解决了目前制备通孔阳极氧化铝膜工艺繁琐、耗时、孔径难于控制等诸多问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法,其特征在于,具体步骤如下:  (1)对铝片退火处理,消除铝片表面的机械应力;  (2)步骤(1)处理后的铝片去除表面油脂和氧化层;  (3)步骤(2)处理后的铝片电化学抛光;  (4)步骤(3)处理后的铝片作为阳极,以相同铝片作为阴极,采用直流恒压进行一次阳极氧化,一次阳极氧化时间为2-3小时,阳极氧化温度为5-20℃,电解液为硫酸或草酸水溶液;硫酸溶液浓度为10-20wt%,电压为10-30V;草酸水溶液浓度范围为3-10wt%,电压为40-60V;  (5)步骤(4)处理后得到的氧化铝,在温度为60-80℃的条件下,在1.8-2.4wt%重铬酸和4...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘畅喻万景侯鹏翔成会明
申请(专利权)人:中国科学院金属研究所
类型:发明
国别省市:89

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