本发明专利技术提供一种激光直接绘制装置，该激光直接绘制装置能够精度良好且简单地进行光束的投射位置的旋转调整。设置于ＤＭＤ（７）和基板（Ｗ）之间的玻璃板（１）形成为长方形的板状，并保持在由固定框架（２０）支撑的压电元件（２１）上。压电元件（２１）设于玻璃板（１）的相对置的两个端部（１０、１０）的两端部，即设置在长方形玻璃板（１）的四个角部（１１），通过扭转控制装置（２）的控制，压电元件（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ）分别适当地进行伸展、缩短，从而使端部（１０、１０）向相反方向扭转。由此，玻璃板（１）的表面角度改变，对透过玻璃板（１）照射到基板（Ｗ）上的激光束在基板（Ｗ）上的照射位置进行调整。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种激光直接绘制装置。
技术介绍
在激光直接绘制法(激光直接绘制laster Direct Imaging (以下记作 LDI))中，通过将多条激光束投射到搭载在移动台上的作为对象物的基 板等的预先确定好的位置上，来在基板上的光刻胶中形成布线图案的潜 像，通过按照布线图案数据来执行潜像的形成，能够不使用光掩模而直 接进行曝光。由此，能够縮短曝光过程的时间，在印刷布线基板的制造 中也在逐渐使用激光直接绘制法。在该LDI中，使用为空间光调制器的DMD (数字微镜器件Digital Micromirror Device)分别对激光束的启动/关闭(ON/OFF)进行控制。 在DMD中形成有多个(例如，1024x768个)大小为14^m见方的反射 镜，能够对反射镜的连通和切断个别地进行控制(专利文献1)。基板构 成为其载置在移动台上，在使该移动台向一个方向移动的同时，向线 形图案的相应位置照射光束，从而在涂布在基板上的光刻胶上形成布线 图案的潜像。在该光学系统中，需要以^m级别的精度向预期的部位照射 光束，通过将DMD的反射镜阵列配置成相对于扫描方向(移动台的移动 方向)旋转预定角度，来提高析像度(专利文献2至4)。通过图11对此进行说明。DMD的旋转方向是进行光束位置的调整 方面最重要的项目。由此，能够将光束投影到比DMD自身的元件间隔还 要小的位置。在图11的(A)中，设DMD的光束间隔为p，设其倾角为e的话，则与相邻的光束之间的差分Ad为p'e。通过使角度e为很小的值，能够使Ad为间隔d的1/10以下。但是，若如图11的(B)所示使9从预定值偏移到(e+Ae)，则与相邻光束位置的间隔仅有微小的改变(sd=p，Ae)。相邻光束之间的偏移的大小很小，而在相距n个间隔的光 束之间的差分(E)是n sd，因此差分(E)的值比想要调整的间隔d 要大。专利文献l:日本特开2004-9595 专利文献2:日本特开2004-181723 专利文献3:日本特开2007-10758 专利文献4:日本特开2007-219011 专利文献5:日本特开2007-47561如上所说明的那样，以往是利用使搭载有DMD的光学系统整体旋 转，或者是使搭载有基板的台旋转的方法来进行调整，然而，仅进行这 样的机械的角度调整的话，存在不能得到预定精度的问题。为了解决该 问题，还公开了如下方式(文献5):设置两个楔状的棱镜，调整该两个 棱镜的厚度和倾角，由此来对光束的焦点(z方向)和x、 y方向的位置 分别进行调整，然而却不能以足够的精度来调整激光束的间隔。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述现有技术的问题。为了达成上述目的，本专利技术的激光直接绘制装置通过使多条激光束 接通和切断地照射到对象物上，来形成预定图案的潜像，其特征在于， 该激光直接绘制装置具有板状的透射体，其设于所述对象物上，并使 所述多条激光束透射；以及将该板状的透射体的两端向相反方向扭转的 构件，通过调整该扭转构件的扭转角来调整所述多条激光束之间的间隔。本专利技术的激光直接绘制装置具有能够精度良好且简单地进行光束的 投射位置的旋转调整的效果。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的概要图。图2是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图3是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图4是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图5是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图6是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图7是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图8是表示本专利技术的其他实施方式的概要图。图9是表示本专利技术的其他实施方式的概要图。图IO是表示本专利技术的一个实施方式的动作的说明图。图11是现有例的说明图。标号说明1:玻璃板；2:扭转控制装置；5:激光；6:光束放大光学系统；7: DMD; 8:成像光学系统；10:端部；11:角部；20:固定框架；21:压 电元件；22:高度调整螺钉；25:固定框架；26:框体；40:线阵CCD; 50:控制装置；51:布线图案存储装置；52: DMD控制装置；53:台控 制装置；60:台；70: DMD元件；7h DMD元件。具体实施例方式图1是将本专利技术的激光直接绘制装置应用于印刷布线基板的制造的 例子。其构成为在台60上载置基板W，通过台控制装置53使该台60 沿y方向以一定速度移动，并同时利用传感器(未图示)检测出台60的 位置，从布线图案存储装置51中读取与台60的位置对应的布线图案， 通过DMD控制装置52使DMD7的与该图案对应的元件接通，在台60 上的光刻胶上使布线图案存储装置51的布线图案直接曝光。布线图案存储装置51的布线图案在曝光准备阶段基于布线数据生 成。具体来说，将用矢量数据书写的布线数据转换成作为二维图像数据 的位图数据，并将其作为布线图案保存在布线图案存储装置51中。该作 业也可以通过控制装置50进行，也可以利用未图示的其他计算机进行。来自激光5的激光束经由光束放大光学系统6，通过在DMD7上如 前所述地与布线图案对应的接通和切断，只有透射光经由成像光学系统 8，然后透过作为激光束透射体的玻璃板1照射到基板W上。玻璃板1设置于DMD7和基板W之间，但是其只要设置在激光束的光路上，则也 可以设置在其他位置。玻璃板1形成为长方形的板状，其保持在如图2所示地由固定框架 20支撑的压电元件21上。压电元件21设于长方形的玻璃板1的四个角 部11，压电元件21a、 21b之间的间隔与压电元件21c、 21d之间的间隔 相同，且压电元件21a、 21b之间的边与压电元件21c、 21d之间的边平 行。如图2的(B)所示，构成为通过扭转控制装置2的控制，使压电 元件21a、 21b、 21c、 21d分别适当地伸展、縮短，从而使对置的平行的 端部IO、 IO向相反的方向扭转。通过这样使玻璃板1的两端向相反方向扭转，玻璃板1的表面角度 发生改变，从而能够调整透过玻璃板1后照射到基板W上的激光束在基 板W上的照射位置。对此通过图3进行说明。通过扭转玻璃板1，使玻璃板1的某部分倾斜角度e后，透过该部分 的透射光束B偏移Ax。在倾斜角为e时，偏移量Ax用te (l — l/n)来 表示。其中，t为玻璃板l的厚度，n为玻璃板l的折射率。此夕卜，玻璃板1的宽度W和端部的z方向偏移AZ之间存在Az=ew 的关系。例如，在使折射率为1.5、厚度为lmm、宽度为10mm的玻璃板 1倾斜AZ-15pm时，光束偏移(Ax)为0.5^im。接着，通过图4至图6对玻璃板1整体的光束偏移进行说明。当前，如图4所示，在玻璃板1上，在入射有光束a、 b、 c、 d时， 以图示的四条激光束所透射的点a和b、 c和d为例，对它们的位置调整 进行说明。另外，使玻璃板1的中心O与光轴一致，并使玻璃板l的x、 y方向的中心线与扭转的中心轴Tl、 T2—致。换言之，是以玻璃板的x、 y方向的中心线为中心轴来扭转玻璃板1。此时，点a、 b、 c、 d相对中 心O位于对称的位置。即，a、 b和c、 d分别相对于中心轴Tl线对称， a、 c和b、 d分别相对于中心轴T2线对称。在图5中示出了在这样的条 件下将玻璃板1的两个端部10、 10向实线或虚线所示的方向本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种激光直接绘制装置，其通过使多条激光束接通和切断并照射到对象物上，来形成预定图案的潜像，其特征在于， 该激光直接绘制装置具有： 板状的透射体，其设于所述对象物上，用于使所述多条激光束透射；以及 将该板状的透射体的两端向相 反方向扭转的构件， 通过调整该扭转构件的扭转角来调整所述多条激光束之间的间隔。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：安藤护俊，
申请(专利权)人：株式会社阿迪泰克工程，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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