一种真空干泵转子型线制造技术

本发明专利技术公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明专利技术可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。故障停机。故障停机。

【技术实现步骤摘要】
一种真空干泵转子型线


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体为一种真空干泵转子型线。

技术介绍

[0002]真空干泵是一种通过电机驱动转子旋转，通过转子周期性旋转，将气体由泵进气口的低压侧输送到排气口的高压区域，从而在干泵进气口处形成真空的机械设备，真空干泵做为集成电路领域生产芯片所用到的关键零部件，为芯片制造过程中机台设备所需要的真空环境提供了保障。
[0003]按照对真空干泵挑战的大小，可将集成电路工艺分为清洁工艺，中等工艺，苛刻工艺，苛刻工艺通常会有较大流量的具体腐蚀性的清洁气体，或有较多粉尘及液体、固体副产物产生，有些粉尘是随着在芯片机台腔室内制作过程中产生，随着反应气体一同被真空干泵抽走，如SiO2，有些固体、液体沉积，是由于本身工艺气体中含有易凝结发生气液转化或气固转化的此类物质，如TEOS工艺。
[0004]现有技术的不足：目前应用在集成电路苛刻工艺下的真空干泵最常用的转子形式罗茨转子和爪型转子，为了使真空干泵能更好的应对苛刻工艺的挑战，需要对罗茨转子和爪型转子型线进行特殊设计，在保证良好抽气性能的前提下，还能提高真空干泵对于粉尘的耐受性。
[0005]由于真空干泵要兼顾良好的抽气性能，减少气体在真空干泵内的返流，在两根相互同步运转的一对转子间，回转转子和固定腔体间都要设置较小的间隙，当粉尘进入到真空干泵泵体内，或在真空干泵腔体形成粉尘时，粉尘会填充在以上所提间隙中，当粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机，特别是在粉尘量大的工艺，此现象及故障的速度会加快；目前对爪型转子型线进行排粉尘通道设计，此通道分别设置在一对爪型转子的两个转子外圆径向方向上，且规定了成对的两个转子排粉尘通道形状。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种真空干泵转子型线，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述轴向排粉槽包括若干个轴向非贯通槽。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述径向排粉槽包括若干个径向贯通槽和若干个径向
非贯通槽。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述一级转子和六级转子均为五叶罗茨转子或者二叶罗茨转子中的一种。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述二级转子、三级转子、四级转子和五级转子均为爪型转子。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述主动转子结构和从动转子结构中二级转子、三级转子、四级转子和五级转子的轴向排粉槽相互配合形成连通区域。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述腔体包括有一级腔、二级腔、三级腔、四级腔、五级腔和六级腔，所述一级腔、二级腔、三级腔、四级腔、五级腔和六级腔分别与一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子相对应。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述主动转子结构和从动转子结构还包括有主动轴和从动轴，所述主动轴和从动轴均与一级转子一体设置。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述主动轴和从动轴分别通过轴承和轴封部件与腔体连接，所述主动轴和从动轴之间通过齿轮啮合反向转动。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，所述主动转子结构和从动转子结构中的六级转子分别通过设置圆键与主动轴和从动轴连接。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术中设置一级转子和六级转子，一级转子和六级转子均为五叶罗茨转子或者二叶罗茨转子中的一种，在罗茨转子型线上增加轴向和径向的排粉尘通道，提升罗茨转子排粉尘能力。罗茨转子径向排粉尘可采用贯通及非贯通形式，轴向增加排粉尘通道后，可将容易残留在轴向较小间隙处粉尘排放出；2、本专利技术中设置二级转子、三级转子、四级转子和五级转子，二级转子、三级转子、四级转子和五级转子均为爪型转子，优化爪型转子径向排粉尘通道，进一步减小粉尘在爪型转子径向方向存在粉尘堆积，在一对共轭的转子其中一个径向增加排粉尘结构，另外一个转子仍为标准转子，能够更好的提高排粉尘能力，同时振动更加平稳，加工成本更低；3、本专利技术中在爪型转子型线上增加轴向排粉尘通道，将成对使用的两个转型转子在某些区域连同，能更好的将两个转子的轴向间隙处粉尘全部转移到排气一侧转子端面，并在转子出口打开时，将粉尘全部排出。解决粉尘在爪型转子轴向方向堆积问题，全面的提升爪型转子排粉尘能力。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一种真空干泵转子型线整体结构示意图；图2为本专利技术一种真空干泵转子型线气体流通示意图；图3为本专利技术一种真空干泵转子型线五叶罗茨转子示意图；图4为本专利技术一种真空干泵转子型线二叶罗茨转子示意图；图5为本专利技术一种真空干泵转子型线五叶罗茨转子轴向和径向排粉槽贯通示意图；图6为本专利技术一种真空干泵转子型线二叶罗茨转子径向排粉槽贯通示意图；图7为本专利技术一种真空干泵转子型线爪型转子立体图；
图8为本专利技术一种真空干泵转子型线五叶罗茨转子径向排粉槽非贯通示意图；图9为本专利技术一种真空干泵转子型线二叶罗茨转子径向排粉槽非贯通示意图。
[0019]图中：1、腔体；101、一级腔；102、二级腔；103、三级腔；104、四级腔；105、五级腔；106、六级腔；2、主动转子结构；21、一级转子；22、二级转子；23、三级转子；24、四级转子；25、五级转子；26、六级转子；27、主动轴；28、从动轴；3、从动转子结构；4、轴向排粉槽；5、径向排粉槽。
具体实施方式
[0020]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0021]需要说明的是，当元件被称为“固定”、“安装”、“连接”或“设置”有另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上的。需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有说明 书特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0022]作为本专利技术的进一步改进，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0023]实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干泵转子型线，包括腔体（1），其特征在于：所述腔体（1）的内部设置有主动转子结构（2）和从动转子结构（3），所述主动转子结构（2）和从动转子结构（3）均包括有一级转子（21）、二级转子（22）、三级转子（23）、四级转子（24）、五级转子（25）和六级转子（26），所述一级转子（21）、二级转子（22）、三级转子（23）、四级转子（24）、五级转子（25）和六级转子（26）上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽（4）和径向排粉槽（5）。2.根据权利要求1所述的真空干泵转子型线，其特征在于：所述轴向排粉槽（4）包括若干个轴向非贯通槽。3.根据权利要求1所述的真空干泵转子型线，其特征在于：所述径向排粉槽（5）包括若干个径向贯通槽和若干个径向非贯通槽。4.根据权利要求1所述的真空干泵转子型线，其特征在于：所述一级转子（21）和六级转子（26）均为五叶罗茨转子或者二叶罗茨转子中的一种。5.根据权利要求1所述的真空干泵转子型线，其特征在于：所述二级转子（22）、三级转子（23）、四级转子（24）和五级转子（25）均为爪型转子。6.根据权利要求1所述的真空干泵转子型线，其特征在于：所述主动转子结构（2）和从动转子结构（3）中二级转子（22）、三级转子（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光玉，孔祥玲，李昌龙，刘云鹏，徐静怡，周亚芹，麻方宇，彭阳，杜添贺，于录，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：