定向声学传感器制造技术

一种定向声学传感器，包括：支撑件，包括彼此分开并且彼此面对的第一支撑部分和第二支撑部分；多个第一谐振器，从支撑件的第一支撑部分沿其长度方向延伸；以及多个第二谐振器，从支撑件的第二支撑部分沿其长度方向延伸并且面对多个第一谐振器，其中，多个第一谐振器中的每个第一谐振器具有第一端，其中，多个第二谐振器中的每个第二谐振器具有第二端，以及其中，在多个第一谐振器与多个第二谐振器彼此面对的区域的第一谐振器布置中，多个第一谐振器的第一端和多个第二谐振器的第二端形成相交结构。交结构。交结构。

【技术实现步骤摘要】
定向声学传感器
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于并且要求于2021年11月12日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
‑
2021
‑
0155987的优先权，该申请的公开通过引用整体并入本文中。


[0003]本公开涉及定向声学传感器，并且更具体地，涉及包括对声学声音中的压力差作出反应的谐振器的定向声学传感器。

技术介绍

[0004]安装在家用电器、视频显示设备、虚拟现实设备、增强现实设备、人工智能扬声器等上的声学传感器用于检测声音的方向并识别语音的可用性正在增加。近来，已经开发了一种通过将由压力差引起的机械运动转换为电信号来检测声学信号的定向声学传感器。

技术实现思路

[0005]提供了一种可以通过增加声阻来改进灵敏度的定向声学传感器。
[0006]附加方面部分地将在接下来的描述中阐述，且部分地将通过该描述而变得清楚明白，或者可以通过实践本公开所呈现的实施例而获知。
[0007]根据示例实施例的一方面，一种定向声学传感器包括：支撑件，包括彼此分开并且彼此面对的第一支撑部分和第二支撑部分；多个第一谐振器，从支撑件的第一支撑部分沿其长度方向延伸；以及多个第二谐振器，从支撑件的第二支撑部分沿其长度方向延伸并且面对多个第一谐振器，其中，多个第一谐振器中的每个第一谐振器具有第一端，其中，多个第二谐振器中的每个第二谐振器具有第二端，以及其中，在多个第一谐振器与多个第二谐振器彼此面对的区域的第一谐振器布置中，多个第一谐振器的第一端和多个第二谐振器的第二端形成相交结构。
[0008]多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端可以具有其中每个第一谐振器的局部宽度部分沿其长度方向延伸的结构，多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端可以具有其中每个第二谐振器的不与对应的第一谐振器的局部宽度部分面对的局部宽度部分沿其长度方向延伸的结构，以及第二谐振器布置可以以如下结构形成在多个第一谐振器与多个第二谐振器彼此面对的区域中：多个第一谐振器的第一端分别与多个第二谐振器的第二端相交。
[0009]多个第一谐振器的第一端与多个第二谐振器的第二端可以分别彼此接合。
[0010]多个第一谐振器的第一端与多个第二谐振器的第二端可以分别以凸或凹形式彼此接合。
[0011]多个第一谐振器的第一端与多个第二谐振器的第二端可以分别以边缘形状彼此接合。
[0012]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可
以包括基底以及从基底突出并沿其长度方向延伸的框架。
[0013]框架可以与基底一体地形成。
[0014]基底和框架中的每一个可以包括硅。
[0015]框架可以设置在基底的两侧和内侧中的至少一个上。
[0016]多个第一谐振器的第一端和多个第二谐振器的第二端中的每一个都可以具有多达框架的高度的板形状。
[0017]基底和框架可以延伸到多个第一谐振器的第一端中的每一个和多个第二谐振器的第二端中的每一个。
[0018]多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端可以具有其中每个第一谐振器的第一侧的宽度部分沿其长度方向延伸的结构，多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端可以具有其中每个第二谐振器的第二侧的宽度部分沿其长度方向延伸的结构，以及框架可以延伸到第一端和第二端的端部。
[0019]多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端可以具有其中每个第一谐振器的第一侧的宽度部分沿其长度方向延伸的结构，多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端可以具有其中第二谐振器的不与第一谐振器的第一侧的宽度部分面对的第二侧的宽度部分沿其长度方向延伸的结构，以及框架可以延伸到第一端和第二端的周边。
[0020]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括基底以及在基底中形成到预定深度的凹槽图案。
[0021]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括基底以及形成在基底中并且具有小于可听频带的波长的大小的多个穿孔。
[0022]定向声学传感器还可以包括至少一个第三谐振器，该至少一个第三谐振器从支撑件的第一支撑部分或第二支撑部分沿其长度方向延伸并且不面对多个第一谐振器或多个第二谐振器。
[0023]至少一个第三谐振器可以包括基底以及从基底突出并沿其长度方向延伸的框架。
[0024]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括：驱动部分，被配置为响应于输入声音信号而移动；以及感测部分，被配置为检测驱动部分的移动。
[0025]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括悬臂梁，该悬臂梁具有固定到第一支撑部分和第二支撑部分的第一端以及自由移动的第二端。
[0026]多个第一谐振器和多个第二谐振器可以具有彼此不同的谐振频率。
[0027]根据示例实施例的一方面，提供了一种包括定向声学传感器的电子设备，该定向声学传感器包括：支撑件，包括彼此分开并且彼此面对的第一支撑部分和第二支撑部分；多个第一谐振器，从支撑件的第一支撑部分沿其长度方向延伸；以及多个第二谐振器，从支撑件的第二支撑部分沿其长度方向延伸并且面对多个第一谐振器，其中，多个第一谐振器中的每个第一谐振器具有第一端，其中，多个第二谐振器中的每个第二谐振器具有第二端，以及其中，在多个第一谐振器与多个第二谐振器彼此面对的区域的第一谐振器布置中，多个第一谐振器的第一端和多个第二谐振器的第二端形成相交结构。
[0028]定向声学传感器还可以包括至少一个第三谐振器，该至少一个第三谐振器从支撑
件的第一支撑部分或第二支撑部分沿其长度方向延伸并且不面对多个第一谐振器或多个第二谐振器。
[0029]至少一个第三谐振器可以包括基底以及从基底突出并沿其长度方向延伸的框架。
[0030]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括：驱动部分，被配置为响应于输入声音信号而移动；以及感测部分，被配置为检测驱动部分的移动。
[0031]多个第一谐振器中的每个第一谐振器和多个第二谐振器中的每个第二谐振器可以包括悬臂梁，该悬臂梁具有固定到第一支撑部分和第二支撑部分的第一端以及自由移动的第二端。
[0032]多个第一谐振器和多个第二谐振器可以具有彼此不同的谐振频率。
附图说明
[0033]根据以下结合附图的描述，本公开的一些示例实施例的上述和其它方面、特征以及优点将更清楚，在附图中：
[0034]图1是示例性地示出了根据示例实施例的定向声学传感器的透视图；
[0035]图2是根据示例实施例的图1的定向声学传感器的平面图；
[0036]图3A、图3B和图3C是根据示例实施例的适用于图1和图2的第一谐振器和第二谐振器的谐振器的图；
[0037]图3D是根据示例实施例的适用于图1和图2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定向声学传感器，包括：支撑件，包括彼此分开并且彼此面对的第一支撑部分和第二支撑部分；多个第一谐振器，从所述支撑件的所述第一支撑部分沿所述第一谐振器的长度方向延伸；以及多个第二谐振器，从所述支撑件的所述第二支撑部分沿所述第二谐振器的长度方向延伸并且面对所述多个第一谐振器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器具有第一端，其中，所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器具有第二端，以及其中，在所述多个第一谐振器与所述多个第二谐振器彼此面对的区域的第一谐振器布置中，所述多个第一谐振器的第一端和所述多个第二谐振器的第二端形成相交结构。2.根据权利要求1所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端具有每个第一谐振器的局部宽度部分沿所述第一谐振器的长度方向延伸的结构，所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端具有每个第二谐振器的不与对应的第一谐振器的局部宽度部分面对的局部宽度部分沿所述第二谐振器的长度方向延伸的结构，以及第二谐振器布置以如下结构形成在所述多个第一谐振器与所述多个第二谐振器彼此面对的区域中：所述多个第一谐振器的第一端分别与所述多个第二谐振器的第二端相交。3.根据权利要求2所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器的第一端与所述多个第二谐振器的第二端分别彼此接合。4.根据权利要求2所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器的第一端与所述多个第二谐振器的第二端分别以凸或凹形式彼此接合。5.根据权利要求1所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器的第一端与所述多个第二谐振器的第二端分别以边缘形状彼此接合。6.根据权利要求1所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器和所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器包括：基底；以及框架，从所述基底突出并沿所述框架的长度方向延伸。7.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述框架与所述基底一体地形成。8.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述基底和所述框架中的每一个都包括硅。9.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述框架设置在所述基底的两侧和内侧中的至少一个上。10.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器的第一端和所述多个第二谐振器的第二端中的每一个具有直到所述框架的高度的板形状。11.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述基底和所述框架延伸到所述多个第一谐振器的第一端中的每一个和所述多个第二谐振器的第二端中的每一个。12.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端具有每个第一谐振器的第一侧的宽度部分沿所述第一谐振器的长度方向
延伸的结构，所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端具有每个第二谐振器的第二侧的宽度部分沿所述第二谐振器的长度方向延伸的结构，以及所述框架延伸到所述第一端和所述第二端的端部。13.根据权利要求6所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器的第一端具有每个第一谐振器的第一侧的宽度部分沿所述第一谐振器的长度方向延伸的结构，所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器的第二端具有所述第二谐振器的不与所述第一谐振器的第一侧的宽度部分面对的第二侧的宽度部分沿所述第二谐振器的长度方向延伸的结构，以及所述框架延伸到所述第一端和所述第二端的周边。14.根据权利要求1所述的定向声学传感器，其中，所述多个第一谐振器中的每个第一谐振器和所述多个第二谐振器中的每个第二谐振器包括：基底；以及凹槽图案，在所述基底中...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜诚赞，金载兴，李忠镐，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：