声波传感器制造技术

一种声波传感器可具有：可通过待检测的声波偏转的连续的膜片和压电层，该压电层设置在膜片上并且具有多个压电层部段，这些压电层部段分别配有至少两个独立的电接触结构，这些电接触结构设置用于与相应的压电层部段电接触。对应于不同压电层部段的电接触结构可彼此分开。开。开。

【技术实现步骤摘要】
声波传感器
[0001]本申请是2017年08月17日提交的201710707737.0号的专利技术专利申请(名称为“声波传感器”)的分案申请。


[0002]各种实施方式总体上涉及一种声波传感器以及一种制造声波传感器的方法。

技术介绍

[0003]声波传感器在当今变得非常重要，其或者作为语音传输装置的一部分或者能作为在用于分析气体、例如环境空气的气体分析仪中的光声传感器的一部分来使用。
[0004]常用的声波传感器构造为电容式传感器，其具有两个彼此有间距的限定电容器的膜片。膜片的其中一个是固定的并且另一个可通过待检测的声波发生位移。可移动的膜片的位移决定了电容器的电容变化，该电容变化可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，由该电信号可推断出待检测的声波的特性，例如声压。
[0005]尽管电容声波传感器的特征在于灵敏度高，但其具有主要由其复杂结构导致的许多缺点。
[0006]常用的电容声波传感器在其复杂结构方面的缺点可通过压电声波传感器来消除。这种传感器使用由压电材料制造的薄膜，该薄膜可通过待检测的声波发生形变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声波传感器，具有：能够通过待检测的声波偏转的连续的膜片，以及在膜片上提供的压电层，所述压电层具有多个压电层部段，所述压电层部段分别配置有至少两个各自的电接触结构，所述电接触结构设置用于与相应的所述压电层部段电接触，其中对应于不同压电层部段的电接触结构彼此分开，其中至少一个压电层部段或所有压电层部段具有多个在所述膜片周向上依次布置的压电层部段区段。2.根据权利要求1所述的声波传感器，其中所述多个压电层部段具有内压电层部段和外压电层部段，其中所述外压电层部段比所述内压电层部段布置在更接近所述膜片的外周处，其中所述内压电层部段可选地大致布置在所述膜片的中间部段中。3.根据权利要求1或2中任一项所述的声波传感器，其中所述内压电层部段和所述外压电层部段中的至少一者或两者具有实质上旋转对称的形状。4.根据权利要求1至3中任一项所述的声波传感器，其中所述内压电层部段和所述外压电层部段中的至少一者或两者具有环形的形状。5.根据权利要求1至4中任一项所述的声波传感器，其中所述压电层部段中的至少两个彼此电串联连接；或/和其中压电层部段的多个压电层部段区段中的至少两个或全部彼此电串联连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的声波传感器，其中至少一个压电层部段的电接触结构具有电极对，所述电极对对应于用于与所述压电层部段电接触的所述压电层部段。7.根据权利要求6所述的声波传感器，其中所述电极对具有上电极和下电极，其中对应于所述上电极和所述下电极的压电层部段在与所述膜片的厚度方向平行的方向上至少部分地布置在所述上电极和所述下电极之间。8.根据权利要求1和7所述的声波传感器，其中所述上电极和所述下电极具有对应于相应的所述压电层部段区段的上电极区段或下电极区段，其中所述压电层部段区段在与所述膜片的厚度方向平行的方向上布置在相应的所述上电极区段和所述下电极区段之间。9.根据权利要求5和8所述的声波传感器，其中在所述膜片周向上布置在两个紧邻的压电层部段区段之间的压电层部段区段的所述下电极区段与所述相邻压电层部段区段中的一个压电层部段区段的上电极区段电连接，并且所述压电层部段区段的所述上电极区段与相应的所述相邻压电层部段区段中的另一个压电层部段区段的下电极区段电连接。10.根据权利要求1至9中任一项所述的声波传感器，还具有：支撑所述膜片的保持件。11.根据权利要求10所述的声波传感器，其中所述保持件凸出超过所述膜片的与所述压电层对置的面。12.根据权利要求11所述的声波传感器，其中所述保持件与所述膜片的外周处于物理接触，其中所述保持件可选地在所述膜片的周向上与所述膜片的超过50％的外周处于连续物理接触，其中所述保持件进一步可选地在所述膜片的周向上与所述膜片的超过75％的外周处...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：