一种用于真空镀膜机的加热装置制造方法及图纸

本申请涉及一种用于真空镀膜机的加热装置，包括导热板体，所述导热板体包括铝壳、位于铝壳内的导热铝板、水平加强钢构、铜板和加热丝，所述导热铝板的表面与铜板相贴合，所述导热铝板贯穿开设有蛇形安装槽，加热丝布设于安装槽内，加热丝的外周面与安装槽的槽壁相抵接，所述加热丝外周面、安装槽的槽壁和所述铜板的表面所合围形成的腔室内填充有铜砂。本申请通过设置水平加强钢构，以提高导热铝板的抗弯曲形变能力，并且利用铜砂和铜板，以提高加热丝与导热铝板的接触面积和导热效果，从而提高加热效果。高加热效果。高加热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的加热装置


[0001]本申请涉及加热设备的领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜机的加热装置。

技术介绍

[0002]当前，在半导体器件、OLED柔性显示屏、光学器件、太阳能电池等器件功能薄膜制备领域，电子束蒸发真空镀膜、激光真空镀膜、磁控溅射镀和CVD化学气相沉积等设备得到了广泛运用，其中真空镀膜机在运行中，其加热装置主要起到加热，利用真空中的热辐射以实现镀膜。
[0003]目前加热装置包括导热板，导热板上开设有蛇形安装槽，安装槽内设有加热丝，利用加热丝的热传导使得导热板发热，导热板的热辐射至传播至工件上，以进行加热，其中导热板为铝材质，以起到耐腐蚀的作用。
[0004]但是，由于铝材质较软，因此为了减少因弯曲形变而导致加热丝与导热板之间的接触不稳的情况发生，铝材质的导热板往往会进行加厚以减少弯曲形变，但是加厚的导热板导热效果较差，影响加热效果。

技术实现思路

[0005]为了提高加热效果，本申请提供一种用于真空镀膜机的加热装置。
[0006]本申请提供的一种用于真空镀膜机的加热装置，采用如下的技术方案：一种用于真空镀膜机的加热装置，包括导热板体，所述导热板体包括铝壳、位于铝壳内的导热铝板、水平加强钢构、铜板和加热丝，所述导热铝板的表面与铜板相贴合，所述导热铝板贯穿开设有蛇形安装槽，加热丝布设于安装槽内，加热丝的外周面与安装槽的槽壁相抵接，所述加热丝外周面、安装槽的槽壁和所述铜板的表面所合围形成的腔室内填充有铜砂。
[0007]通过采用上述技术方案，首先，通过设置水平加强钢构，以提高导热铝板的抗弯曲形变能力，使得加热丝与导热铝板之间的位置相对稳定，其次，通过填充铜砂，铜砂的导热效果强，且铜砂分别与加热丝和导热铝板的接触面积较大，因此铜砂能够及时将加热丝的热量传递至导热铝板和铜板上，从而提高加热效果。
[0008]最后，铝壳能够对其内的结构进行保护，以减少内部结构的腐蚀情况。
[0009]可选的，所述铝壳包括上铝板、下铝板和四个C型铝边，所述下铝板贴合于所述铜板的下表面，所述上铝板位于所述导热铝板的上方，所述C型铝边的开口处两侧分别抵接于上铝板和下铝板的相背面；所述水平加强钢构位于上铝板和导热铝板之间，所述水平加强钢构抵接于所述上铝板的下表面，所述水平加强钢构上螺纹连接有竖向设置的第一抵接柱，第一抵接柱的下端抵接于所述加热丝上，所述第一抵接柱的上端穿过所述上铝板。
[0010]通过采用上述技术方案，一来，通过第一抵接柱对于加热丝的抵接，使得加热丝更加紧密嵌在安装槽内，以提高加热丝与导热铝板之间的连接稳固性，以减少因导热铝板高温负压时形变而将加热丝挤压出安装槽外的情况发生，即提高导热的稳定性，同时也迫使
加热丝下移以紧实铜砂，同时提高热传导的接触面积和热传导效果。
[0011]二来，第一抵接柱的抵接反作用力迫使上铝板和水平加强钢构上移，而由于C型铝边的夹持，以阻碍该上移趋势，从而使得整体结构具有内应力，从而提高整体结构的刚性，以减少因整体结构过于扁平而导致弯曲形变的情况发生，同时也提高C型铝边、上铝板和下铝板之间的连接稳固性。
[0012]可选的，所述上铝板的下表面、所述C型铝边的内表面均设有镜面层。
[0013]通过采用上述技术方案，通过设置镜面层，对导热铝板的热辐射进行反射，以复射至导热铝板上，从而减少热量散失的情况。
[0014]可选的，所述导热铝板呈正方形，所述安装槽由多个依次连接的平直部和弯弧部组成，所述平直部平行于所述导热铝板的边长，所述安装槽的相对槽壁之间的距离沿远离所述铜板方向逐渐增加；所述水平加强钢构包括两根沿导热铝板的对角线设置的第一钢管，两个第一钢管的中部通过竖向设置的转动柱转动连接，相邻两个第一钢管之间固定连接有第一加强杆；所述第一钢管的位于所述平直部正上方的部位固定有第一内螺纹套，所述第一抵接柱与所述第一内螺纹套螺纹连接，且所述第一抵接柱的下端抵接于所述安装槽的槽口处。
[0015]通过采用上述技术方案，导热铝板受热膨胀形变时，以导热铝板的中心开始向外膨胀延伸，即导热铝板上的安装槽位置会向外偏移，安装槽的槽壁则对第一抵接柱施加对角线方向上向外的作用力，以迫使第一抵接柱沿安装槽长度方向移动，从而带动第一钢管朝向另一第一钢管正向偏转，而该偏转力通过第一加强杆也传递至另一第一钢管，迫使该第一钢管正向偏转，但是该第一钢管所受的来自导热铝板的热膨胀作用力为反向偏转的扭矩，因此正反两种扭矩相抵消，从而减少导热铝板的形变程度，以减少导热铝板和加热丝因热膨胀形变程度不同而导致加热丝被挤出的情况发生，从而提高了加热丝的热传导稳定性。
[0016]即抑制导热铝板的形变，确保加热丝与导热铝板的安装稳定性和接触面稳定性。
[0017]并且，由于安装槽的槽面为斜面，因此第一抵接柱的抵接力将通过加热丝施加于导热铝板上，使得导热铝板上有多个施力点，以提高导热铝板的刚性，即减少弯曲形变的可能性，并且提高导热铝板与水平加强钢构的连接稳固性，以提高整体结构的抗弯曲能力。
[0018]可选的，所述第一抵接柱的下端固定有条形块，条形块平行于所述平直部，且条形块与所述平直部的槽壁贴合设置。
[0019]通过采用上述技术方案，当导热铝板受热膨胀形变时，即导热铝板上的安装槽位置会向外偏移时，第一钢管发生偏转，第一钢管与安装槽之间的夹角发生变化，而条形块与安装槽相适配，因此条形块相对第一钢管发生角度的偏转，即进一步旋紧第一抵接柱，从而迫使第一抵接柱更加紧密抵紧加热丝，从而增大对导热铝板的摩擦力，即提高对导热铝板的限位效果，以减少导热铝板的形变程度。
[0020]可选的，所述铝壳包括上铝板、下铝板和四个C型铝边，所述导热铝板为正方形，所述导热铝板、所述加热丝和所述铜板均设为两个，两个导热铝板以所述水平加强钢构为中心上下对称设置，两个所述铜板分别贴合导热铝板的相背面，所述上铝板贴合于上方的铜板的上表面，所述下铝板贴合于下方的铜板的下表面，所述C型铝边包括两个上下分离设置的对半件，对半件之间通过竖向设置的螺栓固定连接，两个对半件分别抵接于上铝板和下
铝板的相背面；所述安装槽的相对槽壁之间的距离沿远离所述铜板方向逐渐增加，所述安装槽由多个依次连接的平直部和弯弧部组成，所述平直部平行于所述导热铝板的边长，两个导热铝板的安装槽的平直部相垂直；所述水平加强钢构包括多根沿导热铝板的中心放射状排布的第二钢管，各第二钢管的端部相互固定连接，相邻两个第二钢管之间固定连接有第二加强杆；所述第二钢管的位于两个导热铝板的所述平直部之间的相交投影位置处固定有第二抵接柱，第二抵接柱的上端和下端分别抵接于两个导热铝板的加热丝上。
[0021]通过采用上述技术方案，一来，采用双加热丝的设置，能够极大提高发热效果，以提高加热效率。
[0022]二来，旋紧螺栓，带动两个对半件相互靠近，以迫使上铝板和下铝板相互靠近，并迫使两个导热铝板靠近以夹持水平加强钢构，此时第二抵接柱与加热丝的抵接更加紧密，该抵接力还通过安装槽的倾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：包括导热板体（10），所述导热板体（10）包括铝壳（1）、位于铝壳（1）内的导热铝板（2）、水平加强钢构（4）、铜板（3）和加热丝（23），所述导热铝板（2）的表面与铜板（3）相贴合，所述导热铝板（2）贯穿开设有蛇形安装槽（22），加热丝（23）布设于安装槽（22）内，加热丝（23）的外周面与安装槽（22）的槽壁相抵接，所述加热丝（23）外周面、安装槽（22）的槽壁和所述铜板（3）的表面所合围形成的腔室内填充有铜砂（20）。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：所述铝壳（1）包括上铝板（12）、下铝板（13）和四个C型铝边（11），所述下铝板（13）贴合于所述铜板（3）的下表面，所述上铝板（12）位于所述导热铝板（2）的上方，所述C型铝边（11）的开口处两侧分别抵接于上铝板（12）和下铝板（13）的相背面；所述水平加强钢构（4）位于上铝板（12）和导热铝板（2）之间，所述水平加强钢构（4）抵接于所述上铝板（12）的下表面，所述水平加强钢构（4）上螺纹连接有竖向设置的第一抵接柱（102），第一抵接柱（102）的下端抵接于所述加热丝（23）上，所述第一抵接柱（102）的上端穿过所述上铝板（12）。3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：所述上铝板（12）的下表面、所述C型铝边（11）的内表面均设有镜面层。4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：所述导热铝板（2）呈正方形，所述安装槽（22）由多个依次连接的平直部（221）和弯弧部（222）组成，所述平直部（221）平行于所述导热铝板（2）的边长，所述安装槽（22）的相对槽壁之间的距离沿远离所述铜板（3）方向逐渐增加；所述水平加强钢构（4）包括两根沿导热铝板（2）的对角线设置的第一钢管（41），两个第一钢管（41）的中部通过竖向设置的转动柱（411）转动连接，相邻两个第一钢管（41）之间固定连接有第一加强杆（42）；所述第一钢管（41）的位于所述平直部（221）正上方的部位固定有第一内螺纹套（412），所述第一抵接柱（102）与所述第一内螺纹套（412）螺纹连接，且所述第一抵接柱（102）的下端抵接于所述安装槽（22）的槽口处。5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：所述第一抵接柱（102）的下端固定有条形块（24），条形块（24）平行于所述平直部（221），且条形块（24）与所述平直部（221）的槽壁贴合设置。6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的加热装置，其特征在于：所述铝壳（1）包括上铝板（12）、下铝板（13）和四个C型铝边（11），所述导热铝板（2）为正方形，所述导热铝板（2）、所述加热丝（23）和所述铜板（3）均设为两个，两个导热铝板（2）以所述水平加强钢构（4）为中心上下对称设置，两个所述铜板（3）分别贴合导热铝板（2）的相背面，所述上铝板（12）贴合于上方的铜板（3）的上表面，所述下铝板（13）贴合于下方的铜板（3）的下表面，所述C型铝边（11）包括两个上下分离设置的对半件（111），对半件（...

【专利技术属性】
技术研发人员：马尚忠，鲁继浩，杨忠新，郁永兵，刘英俊，肖荣军，徐明照，李坤，
申请(专利权)人：上海欧展电器有限公司，
类型：发明
国别省市：