【技术实现步骤摘要】
磁耦合驱动装置及磁耦合传动器
[0001]本技术涉及连接装置领域,尤其是磁耦合驱动装置及磁耦合传动器。
技术介绍
[0002]磁耦合密封杯用于沉积炉等设备中以使沉积炉内能够获得需要的真空环境。
[0003]如授权公告号为CN206918256U的中国技术专利,其揭示了一种超高真空磁耦合密封,但是这种结构中,采用端面相对的第一磁体和第二磁体配合实现同步转动。
[0004]这种结构存在的不足在于:由于第一磁体和第二磁体的相对端的磁吸较小,这就导致其扭矩传递能力受限,当第一磁体和第二磁体的数量均为10个左右时,这种结构能够传递的扭矩仅能达到4Nm。
技术实现思路
[0005]本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种磁耦合驱动装置及磁耦合传动器。
[0006]本技术的目的通过以下技术方案来实现:
[0007]磁耦合驱动装置,包括外壳,所述外壳内可自转地设置有第一转子,所述第一转子连接驱动其自转的驱动器,所述驱动器设置在所述外壳的第一端外,所述第一转子中共轴设置有密封壳体, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.磁耦合驱动装置,包括外壳,所述外壳内可自转地设置有第一转子,所述第一转子连接驱动其自转的驱动器,所述驱动器设置在所述外壳的第一端外,其特征在于:所述第一转子中共轴设置有密封壳体,所述密封壳体与第一转子之间具有相对旋转运动,所述密封壳体内共轴且可相对其自转地设置有第二转子,所述第二转子的圆周面处设置有一圈内磁体,所述第一转子上设置有一圈围设在所述内磁体外围的外磁体,所述内磁体与外磁体一一对应,位置正对的一对内磁体和外磁体的相对侧的磁极相反,所述密封壳体包括位于所述外壳的第二端外的密封法兰。2.根据权利要求1所述的磁耦合驱动装置,其特征在于:所述内磁体和外磁体的数量均大于四个。3.根据权利要求2所述的磁耦合驱动装置,其特征在于:位置正对的所述内磁体和外磁体的相对面的长度为30mm,宽度为10mm。4.根据权利要求1所述的磁耦合驱动装置,其特征在于:所述第一转子包括共轴的第一安装槽及第一凸部,所述第一安装槽的内径大于所述第一凸部的直径,所述第一凸部通过第一轴承连接所述外壳的内壁,所述密封壳体可自转地设置在所第一安装槽内。5.根据权利要求4所述的磁耦合驱动装置,其特征在于:所述密封壳体的第二凸部通过第二轴承连接所述第一安装槽的内壁,所述第二轴承与所述第一轴承共轴且外径相同。6.根据权利要求1
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5任一所述的磁耦合驱动装置,其特征在于:所述第二转...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱涛,钱政羽,王冬冬,
申请(专利权)人:星弧涂层新材料科技苏州股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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