【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜领域，尤其是镀膜设备及其镀膜方法。
技术介绍
1、真空镀膜机是在一定真空度下进行镀膜的专用设备。
2、现有的真空镀膜机，如授权公告号为cn215713333u、cn218115570u等专利一样，会在箱体上设置箱门来进行上下料操作，而在上下料时，箱体内的真空度会被破坏，这就给箱体内的真空度控制带来不便。
技术实现思路
1、本专利技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种镀膜设备及其镀膜方法。
2、本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：
3、镀膜设备，包括镀膜室和上下料室，所述上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，所述上下料室与所述第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，所述上下料轴的第一端伸入到所述上下料室内且与所述第一进出口位置对应；所述上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，所述直线移动驱动机构位于所述上下料室的外部且可驱动所述上下料轴的第一端伸入到所述镀膜室内；所述上下料轴插接在支撑组件和第一密封组件中，所述支撑组件密封连接所述上下料室，所述第一密封组件密封连接在轴座上且与上下料轴密封连接，所述轴座设置在所述直线移动驱动机构上，所述支撑组件和第一密封组件之间密封设置有围设在上下料轴外周的密封伸缩管。
4、优选的，所述支撑组件中与所述上下料轴的圆周面接触的部件为石墨套。
5、优选的，所述密封伸缩管内
6、优选的，所述支撑套与所述上下料轴接触的部位为聚四氟乙烯材料。
7、优选的，所述上下料轴包括由内至外依次设置的芯轴、中间管及外管，所述芯轴两端设置第一端头和第二端头，所述第一端头与中间管及外管的一端密封连接，所述第二端头与所述中间管及外管的另一端密封连接，所述外管上设置有与外管和中间管之间的间隙连通的第一冷却介质连接孔，所述第二端头上设置有连通所述中间管和芯轴之间的间隙的第二冷却介质连接孔；所述中间管上设置有靠近第一端头的径向通孔。
8、优选的，所述上下料轴与所述第一端相对的第二端连接驱动其自转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述上下料轴同步移动。
9、优选的，所述上下料轴的外周设置有位置固定的第二密封组件，所述第二密封组件包括套装在所述上下料轴外周的衬套，所述衬套上套装有位于其两端的第三轴承，两个所述第三轴承上套设有外接套，所述外接套上设置有径向延伸的第一通孔和第二通孔，所述衬套和外接套之间密封设置有套装在所述衬套外周的第一u形环和第二u形环，所述第一u形环上设置有至少一第三通孔，所述第二u形环上设置有至少一第四通孔，所述衬套上设置有与所述第三通孔连通的第五通孔以及与所述第四通孔连通的第六通孔，所述上下料轴的外管上的第一冷却介质连接孔与所述第五通孔相连通，所述上下料轴的第二端头上设置的第二冷却介质连接孔与所述第六通孔相连通。
10、优选的，所述衬套的外壁设置有耐磨涂层。
11、优选的，所述第一u形环及第二u形环的内径大于上下料轴的外径，位置对应的第五通孔及第一冷却介质连接孔中设置有止转套和/或位置对应的第六通孔及第二冷却介质连接孔中设置有止转套。
12、根据如任一所述镀膜设备的镀膜方法，包括如下步骤：
13、s1,在插板阀保持关闭的状态下，打开上下料室的门，将工件固定在上下料轴上；
14、s2,关闭所述上下料室的门，将所述上下料室内抽真空至其内真空度与镀膜室内的真空度一致；
15、s3,打开插板阀，直线移动驱动机构驱动所述上下料轴向所述镀膜室内移动至上下料轴上的工件移动至所述镀膜室中进行镀膜；
16、s4,镀膜完成后，所述直线移动驱动机构驱动所述上下料轴反向移动使完成镀膜的工件退回到所述上下料室内；
17、s5,所述插板阀关闭，打开所述上下料室的门，将完成镀膜的工件从所述上下料轴上取下。
18、本专利技术技术方案的优点主要体现在：
19、本专利技术设置镀膜室和上下料室，并使两者之间通过插板阀连接，同时，使上下料室连接上下料轴，使上下料轴能够伸入到镀膜室内，从而在上下料时，可以在关闭插板阀后，仅对更小的上下料室进行破真空以进行上下料操作，能够不破坏镀膜室内的真空，更容易进行镀膜室内的真空控制，更有利于保证工艺环境。
20、本专利技术的上下料轴通过密封伸缩管进行密封，从而可以将上下料轴与上下料室之间的动态密封改变为静态密封，极大地改善了密封的稳定性，保证了镀膜时的真空稳定，降低漏真空的风险，有利于提高镀膜质量。
21、本专利技术的支撑组件采用石墨套来支撑上下料轴，能够有效地保证上下料轴的轴线移动和自转运动，减少移动和转动时的轴磨损，保证上下料轴的自身精度，最大程度地降低轴磨损可能造成密封不稳的风险。
22、本专利技术的密封伸缩管内设置有支撑套，能够有效地避免较长的密封伸缩管变形在伸缩过程中损坏及与上下料轴表面摩擦的问题，且支撑套与上下料轴接触的部分为聚四氟乙烯材料，能够充分利用材料的自润滑特性以避免造成上下料轴的表明磨损，保证上下料轴的自身精度。
23、本专利技术的门铰结构能够有效地保证门的安装精度，从而保证上下料室的密封性，有利于保证工艺的真空要求。
24、本专利技术的上下料轴具有冷却结构，且在上下料轴上设置第二密封组件能够有效满足自转中的上下料轴的冷却要求，第二密封组件中设置衬套，且这样使转动过程中的磨损主要是衬套表面的磨损而非上下料轴表面的磨损，能够保证上下料轴的表面精度，改善防水性，避免冷却液滴漏的情况发生；同时衬套表面设置耐磨涂层，能够有效提高耐磨性，延长使用寿命及改善密封稳定性。
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1.镀膜设备，其特征在于：包括镀膜室和上下料室，所述上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，所述上下料室与所述第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，所述上下料轴的第一端伸入到所述上下料室内且与所述第一进出口位置对应；所述上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，所述直线移动驱动机构位于所述上下料室的外部且可驱动所述上下料轴的第一端伸入到所述镀膜室内；所述上下料轴插接在支撑组件和第一密封组件中，所述支撑组件密封连接所述上下料室，所述第一密封组件密封连接在轴座上且与上下料轴密封连接，所述轴座设置在所述直线移动驱动机构上，所述支撑组件和第一密封组件之间密封设置有围设在上下料轴外周的密封伸缩管。
2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述支撑组件中与所述上下料轴的圆周面接触的部件为石墨套。
3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述密封伸缩管内同心设置有支撑套，所述支撑套套装在所述上下料轴的外周并与所述上下料轴抵接。
4.根据权利要求3所述的镀膜设备，
5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述上下料轴包括由内至外依次设置的芯轴、中间管及外管，所述芯轴两端设置第一端头和第二端头，所述第一端头与中间管及外管的一端密封连接，所述第二端头与所述中间管及外管的另一端密封连接，所述外管上设置有与外管和中间管之间的间隙连通的第一冷却介质连接孔，所述第二端头上设置有连通所述中间管和芯轴之间的间隙的第二冷却介质连接孔；所述中间管上设置有靠近第一端头的径向通孔。
6.根据权利要求1-5任一所述的镀膜设备，其特征在于：所述上下料轴与所述第一端相对的第二端连接驱动其自转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述上下料轴同步移动。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于：所述上下料轴的外周设置有位置固定的第二密封组件，所述第二密封组件包括套装在所述上下料轴外周的衬套，所述衬套上套装有位于其两端的第三轴承，两个所述第三轴承上套设有外接套，所述外接套上设置有径向延伸的第一通孔和第二通孔，所述衬套和外接套之间密封设置有套装在所述衬套外周的第一U形环和第二U形环，所述第一U形环上设置有至少一第三通孔，所述第二U形环上设置有至少一第四通孔，所述衬套上设置有与所述第三通孔连通的第五通孔以及与所述第四通孔连通的第六通孔，所述上下料轴的外管上的第一冷却介质连接孔与所述第五通孔相连通，所述上下料轴的第二端头上设置的第二冷却介质连接孔与所述第六通孔相连通。
8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于：所述衬套的外壁设置有耐磨涂层。
9.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一U形环及第二U形环的内径大于上下料轴的外径，位置对应的第五通孔及第一冷却介质连接孔中设置有止转套和/或位置对应的第六通孔及第二冷却介质连接孔中设置有止转套。
10.根据权利要求1-9任一所述镀膜设备的镀膜方法，其特征在于：包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.镀膜设备，其特征在于：包括镀膜室和上下料室，所述上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，所述上下料室与所述第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，所述上下料轴的第一端伸入到所述上下料室内且与所述第一进出口位置对应；所述上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，所述直线移动驱动机构位于所述上下料室的外部且可驱动所述上下料轴的第一端伸入到所述镀膜室内；所述上下料轴插接在支撑组件和第一密封组件中，所述支撑组件密封连接所述上下料室，所述第一密封组件密封连接在轴座上且与上下料轴密封连接，所述轴座设置在所述直线移动驱动机构上，所述支撑组件和第一密封组件之间密封设置有围设在上下料轴外周的密封伸缩管。
2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述支撑组件中与所述上下料轴的圆周面接触的部件为石墨套。
3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述密封伸缩管内同心设置有支撑套，所述支撑套套装在所述上下料轴的外周并与所述上下料轴抵接。
4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于：所述支撑套与所述上下料轴接触的部位为聚四氟乙烯材料。
5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述上下料轴包括由内至外依次设置的芯轴、中间管及外管，所述芯轴两端设置第一端头和第二端头，所述第一端头与中间管及外管的一端密封连接，所述第二端头与所述中间管及外管的另一端密封连接，所述外管上设置有与外管和中间管之间的间隙连通的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱政羽，王冬冬，钱涛，
申请(专利权)人：星弧涂层新材料科技苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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