一种保护气体质量流量控制器的过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅太阳能电池片生产领域，一种保护气体质量流量控制器的过滤装置，包括顺序连接的端头管、端头喇叭管衔接管、中间连接管、尾部喇叭管衔接管、尾管，中间连接管的内径为端头管内径的2

【技术实现步骤摘要】
一种保护气体质量流量控制器的过滤装置


[0001]本技术涉及硅太阳能电池片生产领域，特别涉及在PECVD工艺中气体质量流量控制器保护领域。

技术介绍

[0002]PECVD工艺是硅太阳能电池片生产必不可少的一道工艺，PECVD工艺过程中会使用到SiH4、NH3、N2O等特殊气体，通过气体质量流量控制器MFC控制生产过程中的SiH4、NH3、N2O等特殊气体流量。SiH4极易和空气中的O2反应生成SiO2粉末，外围异常等情况下也容易造成炉管内Si
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粉末倒灌，这些粉末会造成气体质量流量控制器MFC管堵塞，进而使工艺过程中的流量发生异常，导致镀膜后的减反层折射率异常以及外观异常，影响电池片良率和转换效率。
[0003]工艺过程中使用SiH4后，会使用空气对SiH4管路进行吹扫。SiH4气源使用完后会进行更换，这两种情况下，会使SiH4管路中残留少量的氧气，O2与SiH4发生反应生成SiO2粉末， 就会流入气体质量流量控制器MFC中，另外，受外围异常影响的情况下，炉管内粉末倒灌从而造成气体质量流量控制器MFC堵塞。而气体质量流量控制器MFC通过毛细管流通气体来控制气体流量，粉末吸附在毛细管后就会堵塞毛细管，进而造成气体质量流量控制器MFC控制气体流量异常，而这种异常情况下，镀膜后的减反层折射率偏高，而控制页面中SiH4的设定值和实际值却是一致的，对工艺控制和异常排查造成了很大的困扰，只能通过对比相邻炉管的相同气体压强，更换流量计来解决。异常排查和更换流量计的过程会导致生产中断，产能下降，而流量计价格昂贵，频繁更换又增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是设计一种过滤装置，安装于气体质量流量控制器MFC进气口之前，可以有效过滤掉MFC之前的SiH4管路中产生的粉末，安装在气体质量流量控制器MFC进气口之后，能够防止炉管内倒灌产生的粉末。
[0005]本技术所采用的技术方案是：一种保护气体质量流量控制器的过滤装置，包括顺序连接的端头管（1）、端头喇叭管衔接管（2）、中间连接管（3）、尾部喇叭管衔接管（4）、尾管（5），中间连接管（3）的内径为端头管（1）内径的2
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5倍，中间连接管（3）内部安装有柱状的过滤芯（6），中间连接管（3）内部过滤芯（6）的右侧有饼状密封片（8），饼状密封片（8）上有贯通中间连接管（3）和尾部喇叭管衔接管（4）的第一通孔（81）和第二通孔（83），第一通孔（81）口部有使气体从中间连接管（3）的右侧到尾部喇叭管衔接管（4）的左侧单向流动的单向阀（82），第二通孔（83）上有气阀，端头管（1）连接SiH4气体进口或者炉管，尾管（5）连接气体质量流量控制器。
[0006]所述单向阀（82）包括饼状盖、转动连接装置（87）；饼状盖包括圆饼主体（821）和两根平行且固定在圆饼主体（821）的边缘的尾连接端（822），两个尾连接端上各有一个第三通孔（823），两个第三通孔（823）的连线垂直于尾连接端；转动连接装置（87）包括两个凸块连
接座（871）、一端带帽的柱销（872）、带外螺纹的螺栓销（873），两个凸块连接座（871）各有一个第四通孔（874），两个第四通孔（874）的连线平行于饼状密封片（8），柱销（872）的尾端有带内螺纹的第五通孔，使用过程中，两个第三通孔（823）和两个第四通孔（874）被柱销（872）贯穿，螺栓销（873）通过螺纹啮合固定在第五通孔上。
[0007]所述气阀包括处于饼状密封片（8）内部的边缘的且横向贯穿第二通孔（83）的长方体槽（85）、T型滑块（84）、带内螺纹的第六通孔（86），所述T型滑块（84）包括处于长方体槽（85）且沿着长方体槽（85）滑动的直线滑块（841）、螺柱（842）、把柄（846），螺柱（842）与滑块（841）转动连接。
[0008]所述直线滑块（841）固定连接U型卡（843），U型卡（843）中央有一个转孔（845），螺柱（842）的头部有平行的两个凸环（844），转孔（845）卡在两个凸环（844）之间，转孔（845）的内径大于螺柱（842）的内径，转孔（845）的内径小于凸环（844）的外径，螺柱（842）的尾部连接把柄（846）。
[0009]中间连接管（3）由两个相同的半圆管构成，两个半圆管一侧通过销轴转动连接另一侧通过连接销固定连接；饼状密封片（8）由两个半圆片构成，每个半圆片与一个半圆管固定在一起。
[0010]本技术的有益效果是：本技术装置安装于气体质量流量控制器MFC的进口和出口，可以有效过滤掉MFC之前的SiH4管路中产生的粉末以及防止炉管内倒灌产生的粉末。本技术装置还可以拆开更换内部滤芯，也可以整体拆除进行清洗和更换滤芯。过滤装置部分直径比管路大，防止在原有管路直径条件下增加滤芯后导致的气体流量下降的问题。
附图说明
[0011]图1是本技术的整体结构示意图；
[0012]图2是饼状密封片结构示意图；
[0013]图3是图2的A处放大示意图；
[0014]图4是T型滑块结构示意图；
[0015]图5是饼状盖结构示意图；
[0016]图6是两个相同的半圆管构成的中间连接管结构示意图；
[0017]其中，1、端头管，2、端头喇叭管衔接管，3、中间连接管，4、尾部喇叭管衔接管，5、尾管，6、过滤芯，7、销轴转动连接，8、饼状密封片，81、第一通孔，82、单向阀，83、第二通孔，84、T型滑块，85、长方体槽，86、第六通孔，87、转动连接装置，821、圆饼主体，822、尾连接端，823、第三通孔，841、直线滑块，842、螺柱，843、U型卡，844、凸环，845、转孔，846、把柄，871、凸块连接座，872、柱销，873、螺栓销，874、第四通孔。
具体实施方式
[0018]如图1
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6所示，一种保护气体质量流量控制器的过滤装置，包括顺序连接的端头管1、端头喇叭管衔接管2、中间连接管3、尾部喇叭管衔接管4、尾管5。
[0019]中间连接管3的内径为端头管1内径的3倍，中间连接管3内部安装有柱状的过滤芯6，中间连接管3内部过滤芯6的右侧有饼状密封片8，饼状密封片8上有贯通中间连接管3和
尾部喇叭管衔接管4的第一通孔81和第二通孔83，第一通孔81口部有使气体从中间连接管3的右侧到尾部喇叭管衔接管4的左侧单向流动的单向阀82，第二通孔83上有气阀。
[0020]端头管1连接SiH4气体进口或者炉管，尾管5连接气体质量流量控制器。安装于气体质量流量控制器MFC进气口之前，可以有效过滤掉MFC之前的SiH4管路中产生的粉末，安装在气体质量流量控制器MFC进气口之后，能够防止炉管内倒灌产生的粉末。
[0021]一个实施例中，所述单向阀82包括饼状盖、转动连接装置87；饼状盖包括圆饼主体821和两根平行且固定在圆饼主体821的边缘的尾连接端822，两个尾连接端上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护气体质量流量控制器的过滤装置，其特征在于：包括顺序连接的端头管（1）、端头喇叭管衔接管（2）、中间连接管（3）、尾部喇叭管衔接管（4）、尾管（5），中间连接管（3）的内径为端头管（1）内径的2
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5倍，中间连接管（3）内部安装有柱状的过滤芯（6），中间连接管（3）内部过滤芯（6）的右侧有饼状密封片（8），饼状密封片（8）上有贯通中间连接管（3）和尾部喇叭管衔接管（4）的第一通孔（81）和第二通孔（83），第一通孔（81）口部有使气体从中间连接管（3）的右侧到尾部喇叭管衔接管（4）的左侧单向流动的单向阀（82），第二通孔（83）上有气阀，端头管（1）连接SiH4气体进口或者炉管，尾管（5）连接气体质量流量控制器。2.根据权利要求1所述的一种保护气体质量流量控制器的过滤装置，其特征在于：所述单向阀（82）包括饼状盖、转动连接装置（87）；饼状盖包括圆饼主体（821）和两根平行且固定在圆饼主体（821）的边缘的尾连接端，两个尾连接端上各有一个第三通孔（823），两个第三通孔（823）的连线垂直于尾连接端；转动连接装置（87）包括两个凸块连接座（871）、一端带帽的柱销（872）、带外螺纹的螺栓销（873），两个凸块连接座（871）各有一个第四通孔（874），两个第四通孔（874）的连线平行于饼状密封片（8），柱销（87...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭卫，吕涛，杨旭彪，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：