一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法技术

本发明专利技术公开的是一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法，包括以下制备步骤：步骤一，在Si层上沉积一层SiO2；步骤二，在SiO2表面旋涂上光刻胶，并利用MEMS光刻技术刻蚀掉部分光刻胶得到扭转梁平面结构；步骤三，利用3D打印技术，打印浆料填充光刻胶的空隙；步骤四，去除打印材料中的溶剂,留下浆料中的加强材料；步骤五，加强材料上利用CVD添加涂层使扭转梁结构致密化；步骤六，反向刻蚀掉扭转梁底层，利用HF刻蚀二氧化硅，释放器件层单晶硅微机械结构，留下微镜扭转梁；步骤七，刻蚀去除剩余光刻胶材料；步骤八，激光修饰器打断支撑梁，剩余所需扭转梁。需扭转梁。需扭转梁。

【技术实现步骤摘要】
一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法


[0001]本专利技术涉及3D打印
，尤其涉及一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法。

技术介绍

[0002]扭转微镜是近年来随着MEMS技术的发展而逐渐得到广泛应用的一种微型光学器件，在现代光学通讯、空间光调制器、投影显示、生化分析等方面有着十分广泛的应用。它通常是用机械性能良好的硅作结构材料，集微机械、微电子和微光学三种技术相互交叉融合得到的微光机电系统，可以获得相对高的工作频率和较大的扫描角度。微镜要求能够能快速旋转到一定的范围内，角变量是控制微镜工作精度的一个重要因素。扭转梁则是控制角变量的直接条件，是微镜能够真正投入使用的关键。目前，微镜扭转梁的高效制作已经成为MEMS微镜的研究热点和重要的发展方向之一。
[0003]以SOI为衬底的微镜扭转梁的制作，虽然能提供足够强度供微镜适当角度扭转，但是其SOI层价格昂贵，当需要大量制备扭转梁时，会产生极大的成本带来负担。除此之外，通过SOI制造的微镜需要将扭转梁长度设计得足够长才能满足大扭转角的使用需求，而硅微加工工艺及其容易带来表面缺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法，其特征在于，包括以下制备步骤：步骤一，在Si层上沉积一层SiO2；步骤二，在SiO2表面旋涂上光刻胶，并利用MEMS光刻技术刻蚀掉部分光刻胶得到扭转梁平面结构；步骤三，利用3D打印技术，打印浆料填充光刻胶的空隙；步骤四，去除打印材料中的溶剂,留下浆料中的加强材料；步骤五，加强材料上利用CVD添加涂层使扭转梁结构致密化；步骤六，反向刻蚀掉扭转梁底层，利用HF刻蚀二氧化硅，释放器件层单晶硅微机械结构，留下微镜扭转梁；步骤七，刻蚀去除剩余光刻胶材料；步骤八，激光修饰器打断支撑梁，剩余所需扭转梁。2.根据权利要求1所述的一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法，其特征在于，所述步骤三中，3D打印浆料制备方法如下：第一步，将溶剂溶解到蒸馏水中...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘媛，夏园林，钟磊，夏操，王竹卿，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：