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本发明公开的是一种3D打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法，包括以下制备步骤：步骤一，在Si层上沉积一层SiO2；步骤二，在SiO2表面旋涂上光刻胶，并利用MEMS光刻技术刻蚀掉部分光刻胶得到扭转梁平面结构；步骤三，利用3D打印技术，打印浆料填...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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