一种靶材生产后密度测试工装制造技术

一种靶材生产后密度测试工装，属于靶材密度测试技术领域，为了解决传统的靶材密度测试工装不便于对靶材进行输送式的密度测试，且传统的靶材密度测试工装不便于在进行靶材的输送时，顶升结构伸出，避免靶材位置输送错误，在不需要顶升结构时，其自动收缩，减小了整个过程中结构所占的体积，传统的靶材密度测试工装不便于在输送过程中即对靶材质量进行称量的问题；本申请通过输送组件将生产后的靶材输送过来，在输送中对靶材的质量进行记录为M，进入到一组的翻转条箱内部，此时翻转条箱内部存在清水，体积已被记录，为V1，靶材进入到此组翻转条箱内部后，通过翻转条箱记录此时清水加靶材的体积，为V2，根据密度等于M/V2

【技术实现步骤摘要】
一种靶材生产后密度测试工装


[0001]本专利技术涉及靶材密度测试
，具体为一种靶材生产后密度测试工装。

技术介绍

[0002]靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好，因此在进行生产之后需要对靶材进行密度的测试，靶材最通用的检测方式即是通过密度测试仪器或浮力法对单个的靶材进行一对一的检测，且检测时需要人工进行参与，因此在对于多组或流线型生产的靶材面前此种的检测方法效率过慢，在申请号为CN202022123632.0的专利中，该专利涉及一种靶材密度测量装置，包括液体槽、与液体槽连通的细管、安装在液体槽内的载物台、主处理器和测距装置，测距装置安装在细管顶端，细管内设置有用于配合测距装置测距的塑料浮片，液体槽内盛装有液面高度高于载物台的液体，主处理器包括称重器以及用于接收称重器反馈的靶材重量数据和用于接收测量装置反馈的液面高度数据并依此计算出靶材密度的计算装置，计算装置分别与称重器、测距装置电联接。该装置设置有与液体槽连通的细管，采用测距装置在细管上测量靶材放入液体槽前后的液面高度差，从而计算出靶材密度，该装置在测量过程中液面的晃动少，稳定性好，能够缩短测量时间，提高测量效率，且操作简单，测量准确，在该专利中即存在人工一对一进行靶材密度测试，进而导致效率过慢的情况。
[0003]另外，传统的靶材密度测试工装不便于对靶材进行输送式的密度测试，以达到更加快速高效的针对多数的靶材进行密度测试，且传统的靶材密度测试工装不便于通过设置自动的顶升结构，在进行靶材的输送时，顶升结构伸出，避免靶材位置输送错误，在不需要顶升结构时，其自动收缩，减小了整个过程中结构所占的体积，传统的靶材密度测试工装不便于在输送过程中即对靶材质量进行称量。
[0004]针对上述问题，为此，提出一种靶材生产后密度测试工装。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种靶材生产后密度测试工装，解决了
技术介绍
中传统的靶材密度测试工装不便于对靶材进行输送式的密度测试，已达到更加快速高效的针对多数的靶材进行密度测试，且传统的靶材密度测试工装不便于通过设置自动的顶升结构，在进行靶材的输送时，顶升结构伸出，避免靶材位置输送错误，在不需要顶升结构时，其自动收缩，减小了整个过程中结构所占的体积，传统的靶材密度测试工装不便于在输送过程中即对靶材质量进行称量的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种靶材生产后密度测试工装，包括输送箱和设置在输送箱一侧的输送组件，输送组件的下端设置有固定支架，且固定支架底端与输送箱的底端处于同一水平位置，输送箱的内部活动设置有翻转条箱，且翻转条箱至
少设置一组，输送箱的一侧设置有网状输送机架，且网状输送机架部分位置设置在输送箱内部下端，输送箱的内部活动设置有翻转筒，且翻转条箱位置处于翻转筒外侧，输送箱的内壁还固定设置有第一固定轮和第二固定轮，且第一固定轮和第二固定轮为相同构造制成的构件，翻转条箱的内部设置有顶升组件，输送组件将生产后的靶材输送过来，在输送中对靶材的质量进行记录为M，进入到一组的翻转条箱内部，此时翻转条箱内部存在清水，通过翻转条箱使得此清水的体积已被记录，为V1，靶材进入到此组翻转条箱内部后，通过翻转条箱记录此时清水加靶材的体积，为V2，根据密度等于M/V2
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V1的公式对靶材密度进行测试，测试完毕之后装载靶材的翻转条箱继续旋转，直至靶材掉落到网状输送机架上传输走。
[0007]进一步地，翻转条箱举例设置有四组，且四组所述的翻转条箱一端均固定设置在翻转筒外侧，且呈均匀设置，第一固定轮和第二固定轮均设置在输送箱内壁上端位置，且第一固定轮和第二固定轮处于同一水平位置。
[0008]进一步地，输送箱的内部上端设置有翻转腔，且翻转腔上端内壁一侧设置有摄像组件，输送箱的内部下端设置有蓄水腔，且蓄水腔和翻转腔为相同构造制成的构件，蓄水腔与翻转腔的分界处设置有隔绝过滤网，且隔绝过滤网位置处于四组的翻转条箱下端，隔绝过滤网一侧设置有杂质L型过滤网，且隔绝过滤网和杂质L型过滤网均与输送箱内壁固定连接，杂质L型过滤网位置处于网状输送机架正下方位置。
[0009]进一步地，翻转筒内部开设有内腔，内腔外侧设置有连通管，且连通管设置四组，四组所述的连通管与四组的翻转条箱相对应。
[0010]进一步地，翻转筒一端通过轴连接设置有电机，且电机与输送箱固定设置，翻转筒外侧开设有连通槽，且连通槽设置四组，四组所述的连通管一端位置处于相对应四组所述的连通槽内部，翻转筒另一端设置活动空心轴，且活动空心轴与输送箱活动连接，活动空心轴内部设置有进水管，且进水管一端与翻转筒内部相连通，且位置处于翻转筒的圆心位置，进水管另一端与蓄水腔内部相连通。
[0011]进一步地，翻转条箱一侧设置有透明显示条，透明显示条一侧设置有数值条，翻转条箱的一侧内部设置有从动组件，且从动组件朝向第一固定轮和第二固定轮位置设置，透明显示条和数值条朝向摄像组件位置设置。
[0012]进一步地，顶升组件包括开设在翻转条箱一端的嵌合槽，嵌合槽内部嵌合设置有弧形条，弧形条一端下侧与从动组件相连接，另一端下侧通过导柱与翻转条箱相连接。
[0013]进一步地，从动组件包括活动设置在翻转条箱内部的啮合轮和通过轴连接设置在啮合轮一侧的第一端面齿轮，啮合轮部分位置处于翻转条箱外侧，第一端面齿轮一侧啮合设置有第二端面齿轮，第二端面齿轮一侧设置有固定块，固定块与翻转条箱内部固定连接，第二端面齿轮通过轴连接设置有转动轴，且此轴贯穿固定块，转动轴一侧活动设置有往复空心条，往复空心条一侧设置有往复条，且往复条一端与弧形条底端相连接，啮合轮与第一固定轮和第二固定轮相匹配。
[0014]进一步地，输送组件内部一端设置有第一输送带，内部另一端设置有第二输送带，第一输送带和第二输送带的间隙位置设置有第三输送带，且第三输送带设置两组，两组的第三输送带与输送组件的内壁两侧活动连接，两组的第三输送带之间设置有称重组件，称重组件与固定支架固定连接。
[0015]进一步地，称重组件包括与固定支架相连接的连接块，连接块两侧开设有轴槽，用
于配合两组的第三输送带传动，连接块内部设置有顶升柱，且顶升柱设置两组，连接块内部嵌合设置有称重机构，顶升柱一端与称重机构相连接，第二输送带、第一输送带和第三输送带处于同一水平位置。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术提供的一种靶材生产后密度测试工装，本申请通过输送组件将生产后的靶材输送过来，在输送中对靶材的质量进行记录为M，进入到一组的翻转条箱内部，此时翻转条箱内部存在清水，通过翻转条箱使得此清水的体积已被记录，为V1，靶材进入到此组翻转条箱内部后，通过翻转条箱记录此时清水加靶材的体积，为V2，根据密度等于M/V2
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V1的公式对靶材密度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材生产后密度测试工装，包括输送箱（1）和设置在输送箱（1）一侧的输送组件（4），输送组件（4）的下端设置有固定支架（5），且固定支架（5）底端与输送箱（1）的底端处于同一水平位置，其特征在于：输送箱（1）的内部活动设置有翻转条箱（2），且翻转条箱（2）至少设置一组，输送箱（1）的一侧设置有网状输送机架（3），且网状输送机架（3）部分位置设置在输送箱（1）内部下端，输送箱（1）的内部活动设置有翻转筒（6），且翻转条箱（2）位置处于翻转筒（6）外侧，输送箱（1）的内壁还固定设置有第一固定轮（7）和第二固定轮（8），且第一固定轮（7）和第二固定轮（8）为相同构造制成的构件，翻转条箱（2）的内部设置有顶升组件（9），输送组件（4）将生产后的靶材输送过来，在输送中对靶材的质量进行记录为M，进入到一组的翻转条箱（2）内部，此时翻转条箱（2）内部存在清水，通过翻转条箱（2）使得此清水的体积已被记录，为V1，靶材进入到此组翻转条箱（2）内部后，通过翻转条箱（2）记录此时清水加靶材的体积，为V2，根据密度等于M/（V2
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V1）的公式对靶材密度进行测试，测试完毕之后装载靶材的翻转条箱（2）继续旋转，直至靶材掉落到网状输送机架（3）上传输走。2.根据权利要求1所述的一种靶材生产后密度测试工装，其特征在于：翻转条箱（2）举例设置有四组，且四组所述的翻转条箱（2）一端均固定设置在翻转筒（6）外侧，且呈均匀设置，第一固定轮（7）和第二固定轮（8）均设置在输送箱（1）内壁上端位置，且第一固定轮（7）和第二固定轮（8）处于同一水平位置。3.根据权利要求1所述的一种靶材生产后密度测试工装，其特征在于：输送箱（1）的内部上端设置有翻转腔（15），且翻转腔（15）上端内壁一侧设置有摄像组件（11），输送箱（1）的内部下端设置有蓄水腔（12），且蓄水腔（12）和翻转腔（15）为相同构造制成的构件，蓄水腔（12）与翻转腔（15）的分界处设置有隔绝过滤网（13），且隔绝过滤网（13）位置处于四组的翻转条箱（2）下端，隔绝过滤网（13）一侧设置有杂质L型过滤网（14），且隔绝过滤网（13）和杂质L型过滤网（14）均与输送箱（1）内壁固定连接，杂质L型过滤网（14）位置处于网状输送机架（3）正下方位置。4.根据权利要求1所述的一种靶材生产后密度测试工装，其特征在于：翻转筒（6）内部开设有内腔（63），内腔（63）外侧设置有连通管（62），且连通管（62）设置四组，四组所述的连通管（62）与四组的翻转条箱（2）相对应。5.根据权利要求3所述的一种靶材生产后密度测试工装，其特征在于：翻转筒（6）一端通过轴连接设置有电机（66），且电机（66）与输送箱（1）固定设置，翻转筒（6）外侧开设有连通槽（65），且连通槽（65）设置四组，四组所述的连通管（62）一端位置处于相对应四组所述的连通槽（65）内部，翻转筒（6）另一端设置活动空心轴（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，曾墩风，黄剑，石煜，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：