一种高性能Cu靶材制备模具制造技术

本技术公开了一种高性能Cu靶材制备模具，涉及到磁控溅射靶材应用技术领域，本技术公开了一种连续挤压机，所述连续挤压机上设有挤压轮和压实轮，所述挤压轮和压实轮转动安装在所述连续挤压机上，挤压轮和压实轮之间构成孔型轧制区域；压实轮侧面接触有槽封块，槽封块内设有摩擦区域、墩粗区域；槽封块下端固定连接有挤压模具，挤压模具内设有模具孔和腔体，槽封块和腔体之间构成粘连剪切区，腔体和模具孔构成直角转弯区；胚料经过孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成Cu靶材。相较于现有技术，本申请通过设置多个区域，每个区域对胚料实现不同的功能最后达到产品精粒细化的要求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及磁控溅射靶材制备模具，特别涉及一种高性能cu靶材制备模具。

技术介绍

1、传统新型显示产业使用cu靶材，采用单独熔炼，铸锭后，再采用轧制设备，单片轧制的方法进行制备，制备过程中需要退火、加热、酸洗、切边等其他辅助设备，制备流程长效率低，片与片之间稳定性差；退火、加热过程需要热量，能耗高，压余、切边过程会产生工艺废料，材料利用率低，酸洗过程会产生污染，现有利用连铸连轧的方法，需要配合精粒细化模具及工艺设计，实现连续铸造轧制，效率高，批次间稳定性好，因此，急需设计一种高性能cu靶材制备模具来满足精粒细化的需求。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种高性能cu靶材制备模具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高性能cu靶材制备模具，包括连续挤压机和胚料，所述连续挤压机上设有挤压轮和压实轮，所述挤压轮和压实轮转动安装在所述连续挤压机上，所述挤压轮和所述压实轮之间构成孔型轧制区域；所述压实轮侧面接触有槽封块，所述槽封块内设有摩擦区域、墩粗区域；所述槽封块下端固定连接有挤压模具，所述挤压模具内设有模具孔和腔体，所述槽封块和所述腔体之间构成粘连剪切区，所述腔体和所述模具孔构成直角转弯区；所述胚料经过所述孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成cu靶材。

3、优选地，所述挤压轮轮缘上开设有凹型沟槽，所述压实轮位于所述挤压轮的正上方且和所述凹型沟槽相抵触，所述挤压轮和所述压实轮之间构成孔型轧制区域。

4、优选地，所述槽封块和所述压实轮的包角为度，用于封闭所述压实轮的凹型沟槽构成挤压型腔实现摩擦区。

5、优选地，所述槽封块的底端开设有型腔和扁形出口，所述型腔构成墩粗区域；所述扁形出口和所述腔体构成粘连剪切区。

6、优选地，所述挤压模具上设有所述腔体，所述挤压模具中间开设有所述模具孔，所述腔体和模具孔构成直角转弯区。

7、本技术的技术效果和优点：

8、1、本技术结构合理，通过挤压轮和压实轮转动将胚料带入到孔形轧制和摩擦区拉长晶粒、在墩粗区形成晶胞、在粘连剪切区形成晶核，最后在直角转弯区形成晶粒从模具孔挤出，通过设置多个区域确保了在高温下挤出的产品有最佳的成型精度和良好的截面形状，整个挤压过程中材料的密实度增加，晶粒均匀致密，从而使电阻率降低，提高了导电性能，产品质量更加完美。

9、2、本技术中，通过设置孔形轧制绩进行去皮和进一步挤圆，摩擦区进行拉长晶粒控制氧气含量；墩粗区将晶粒压扁形成包装晶，并且挤出氧气；粘连剪切区粘连剪切晶胞形成晶核；直角转弯区将胚料在巨大的挤压和摩擦力下产生足够的温度达到状态50～80um状态再次形成晶粒；实现胚料的精粒细化。

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【技术保护点】

1.一种高性能Cu靶材制备模具，其特征在于所述模具包括挤压轮(1)和压实轮(2)，所述挤压轮(1)和压实轮(2)转动安装在连续挤压机上，所述挤压轮(1)和所述压实轮(2)之间构成孔型轧制区域；所述挤压轮(1)侧面设有槽封块(3)，所述槽封块(3)内设有摩擦区域、墩粗区域；所述槽封块(3)下端固定连接有挤压模具(4)，所述挤压模具(4)内设有模具孔(7)和腔体(8)，所述槽封块(3)和所述腔体(8)之间构成粘连剪切区，所述腔体(8)和所述模具孔(7)构成直角转弯区；胚料(5)经过所述孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成Cu靶材(6)。

2.根据权利要求1所述的一种高性能Cu靶材制备模具，其特征在于所述挤压轮(1)轮缘上开设有凹型沟槽，所述压实轮(2)位于所述挤压轮(1)的正上方且和所述凹型沟槽相抵触。

3.根据权利要求2所述的一种高性能Cu靶材制备模具，其特征在于：所述槽封块(3)和所述压实轮(2)的包角为90度。

4.根据权利要求3所述的一种高性能Cu靶材制备模具，其特征在于：所述槽封块(3)的底端开设有型腔和扁形出口，所述型腔构成墩粗区域；所述扁形出口和所述腔体(8)构成粘连剪切区。

5.根据权利要求4所述的一种高性能Cu靶材制备模具，其特征在于：所述挤压模具(4)中间开设有所述模具孔(7)。

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【技术特征摘要】

1.一种高性能cu靶材制备模具，其特征在于所述模具包括挤压轮(1)和压实轮(2)，所述挤压轮(1)和压实轮(2)转动安装在连续挤压机上，所述挤压轮(1)和所述压实轮(2)之间构成孔型轧制区域；所述挤压轮(1)侧面设有槽封块(3)，所述槽封块(3)内设有摩擦区域、墩粗区域；所述槽封块(3)下端固定连接有挤压模具(4)，所述挤压模具(4)内设有模具孔(7)和腔体(8)，所述槽封块(3)和所述腔体(8)之间构成粘连剪切区，所述腔体(8)和所述模具孔(7)构成直角转弯区；胚料(5)经过所述孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成cu靶材(6)。

2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：张信征，石煜，费唐兴，刘明，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：