一种传感器腔体结构及光学粒子计数器传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种传感器腔体结构及光学粒子计数器传感器，该传感器腔体结构包括设置有第一采样口的气流承载腔室、第一扩散腔室、第二扩散腔室、第三扩散腔室，第二扩散腔室、第一扩散腔室、气流承载腔室、第三扩散腔室依次连通且共同形成有直线通道，第二扩散腔室设置有第二采样口，第三扩散腔室设置有第三采样口；以及包括上述传感器腔体结构的光学粒子计数器传感器，该腔体结构能够在取样前对高压或高浓度气体进行扩散、降压、控流，可以作为传感器本身的一部分，进而能够使得传感器既能够监测高压气体或者高压管路中的洁净度，又不会对自身使用安全性造成隐患。对自身使用安全性造成隐患。对自身使用安全性造成隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种传感器腔体结构及光学粒子计数器传感器


[0001]本技术涉及传感器
，具体涉及了一种传感器腔体结构及光学粒子计数器传感器。

技术介绍

[0002]半导体行业近年来持续不断地快速发展，半导体行业线宽也越来越窄(半导体线宽指的是IC生产工艺可达到的最小导线宽度，是IC工艺先进水平的主要指标)，未来的半导体产业路线图显示，这一趋势仍在继续，有增无减。更小的半导体线宽意味着更小的临界缺陷尺寸，这反过来又需要更小的颗粒检测，以有效地监测洁净室和产线所用高压气体中的污染物。
[0003]常规的传感器结构只能满足常压下对洁净室环境中颗粒物的监测，如果想要监测高压气体或者高压管路中的洁净度就必须要在管路中串联一台高压扩散器，用来保护传感器不被损坏。但是高压扩散器市面上种类繁多且每家工作原理不一致，这会导致所用不同高压扩散器所测到的结果有偏差，测量的准确度就会下降。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术的一个或多个不足，提供一种新型的传感器腔体结构，该腔体结构能够在取样前对高压或高浓度气体进行扩散、降压、控流，可以作为传感器本身的一部分，进而能够使得传感器既能够监测高压气体或者高压管路中的洁净度，又不会对自身使用安全性造成隐患。
[0005]本技术还提供了一种包含上述传感器腔体结构的光学粒子计数器传感器。
[0006]为达到上述目的，本技术采用的一种技术方案是：
[0007]一种传感器腔体结构，该腔体结构包括设置有第一采样口的气流承载腔室、第一扩散腔室、第二扩散腔室、第三扩散腔室，所述第二扩散腔室、所述第一扩散腔室、所述气流承载腔室、所述第三扩散腔室依次连通且共同形成有直线通道；其中，所述第二扩散腔室设置有第二采样口，所述第三扩散腔室设置有第三采样口。
[0008]根据本技术的一些优选方面，该传感器腔体结构还包括多个通孔，所述第二扩散腔室与所述第一扩散腔室之间、所述第一扩散腔室与所述气流承载腔室之间、所述气流承载腔室与所述第三扩散腔室之间分别通过至少一个所述通孔连通。
[0009]根据本技术的一些优选方面，所述第一扩散腔室的容积、所述第二扩散腔室的容积、所述第三扩散腔室的容积分别大于所述气流承载腔室的容积。
[0010]进一步地，所述第一扩散腔室的容积、所述第二扩散腔室的容积、所述第三扩散腔室的容积分别为所述气流承载腔室的容积的2倍以上。
[0011]根据本技术的一些优选方面，所述第一采样口、所述第二采样口、所述第三采样口分别位于该传感器腔体结构的同一侧。
[0012]根据本技术的一些优选方面，所述气流承载腔室与所述第一扩散腔室之间的
距离小于所述气流承载腔室与所述第三扩散腔室之间的距离。
[0013]根据本技术的一些优选方面，所述气流承载腔室的横向宽度小于其自身纵向高度。
[0014]根据本技术的一些优选方面，所述第一扩散腔室的横向宽度大于其自身纵向高度。
[0015]根据本技术的一些优选方面，该传感器腔体结构还包括位于所述第二扩散腔室内的第一限位凹槽，该第一限位凹槽的开口朝向所述第一扩散腔室且位于所述直线通道的延伸线上。
[0016]根据本技术的一些优选方面，该传感器腔体结构还包括位于所述第三扩散腔室内的第二限位凹槽，该第二限位凹槽的开口朝向所述气流承载腔室且位于所述直线通道的延伸线上。
[0017]本技术提供的又一技术方案：一种光学粒子计数器传感器，其包括进气气嘴、气流传递腔、出气气嘴，所述进气气嘴、所述气流传递腔、所述出气气嘴依次连通，其中，所述气流传递腔为上述所述的传感器腔体结构，所述进气气嘴与所述气流承载腔室连通，所述第一采样口与所述出气气嘴连通。
[0018]由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0019]本技术创新地设置了一种新型的传感器腔体结构，该腔体结构可以直接作为传感器的一部分，如此可直接采用粒子计数器以测量常规环境和高压气体中更小的粒子尺寸，可以省掉在测量高压气体或管路时现有技术中串联高压扩散器的工作步骤；同时各腔体内气体流动通畅，气体混合充分均匀，很少有颗粒在腔体内沉积，使得不同粒径粒子具有较好的一致性，检测结果准确，不会发生加装额外高压扩散器所带来的结果偏差，尤其是还能够有效避免高压对传感器的损坏。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0021]图1为本技术实施例中光学粒子计数器传感器的结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例中包含传感器腔体结构的光学粒子计数器传感器的剖面示意图；
[0023]图3为在图2基础上省略掉部分部件的示意图；
[0024]附图标记中：1、气流承载腔室；11、第一采样口；2、第一扩散腔室；3、第二扩散腔室；31、第二采样口；4、第三扩散腔室；41、第三采样口；5、直线通道；6、第一限位凹槽；7、第二限位凹槽；100、进气气嘴；200、出气气嘴；300、平凹透镜；400、激光发射透镜。
具体实施方式
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图与具体实施方式对本技术做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分
理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]在技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器腔体结构，该传感器腔体结构包括设置有第一采样口的气流承载腔室，其特征在于，该传感器腔体结构还包括第一扩散腔室、第二扩散腔室、第三扩散腔室，所述第二扩散腔室、所述第一扩散腔室、所述气流承载腔室、所述第三扩散腔室依次连通且共同形成有直线通道；其中，所述第二扩散腔室设置有第二采样口，所述第三扩散腔室设置有第三采样口。2.根据权利要求1所述的传感器腔体结构，其特征在于，该传感器腔体结构还包括多个通孔，所述第二扩散腔室与所述第一扩散腔室之间、所述第一扩散腔室与所述气流承载腔室之间、所述气流承载腔室与所述第三扩散腔室之间分别通过至少一个所述通孔连通。3.根据权利要求1所述的传感器腔体结构，其特征在于，所述第一扩散腔室的容积、所述第二扩散腔室的容积、所述第三扩散腔室的容积分别大于所述气流承载腔室的容积。4.根据权利要求3所述的传感器腔体结构，其特征在于，所述第一扩散腔室的容积、所述第二扩散腔室的容积、所述第三扩散腔室的容积分别为所述气流承载腔室的容积的2倍以上。5.根据权利要求1所述的传感器腔体结构，其特征在于，所述第一采样口、所述第二采样口、所述第三采样口分别位于该传感器腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏文龙，陈建，王陈燕，王蓉，陶晓峰，
申请(专利权)人：江苏苏净集团有限公司，
类型：新型
国别省市：