【技术实现步骤摘要】
一种晶圆移动平台及具有其的测量设备
[0001]本技术涉及晶圆量测
，特别涉及一种晶圆移动平台及具有其的测量设备。
技术介绍
[0002]半导体工厂普遍面临制程多，工艺复杂的问题，为保证晶圆的质量，需要对晶圆的关键尺寸参数进行测量，从而能够及时发现到产线是否存在异常。
[0003]现有技术中，通常会设置晶圆移动平台，移动平台包括滑动机构和与滑动机构滑动连接的滑动板，晶圆置于滑动板上，以随其同步移动，从而驱使检测机构对晶圆的多个位置进行测量。晶圆在移动至不同位置时，其待测端面需始终保持一致的角度，以确保测量的准确性。然而现有的移动平台，当滑动板移出滑动机构一定位置后，滑动板受力不均而导致倾斜，从而降低晶圆的测量精度。
[0004]因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆移动平台及具有其的测量设备，以避免滑动板倾斜。
[0006]本技术的目的是通过以下技术方案实现：一种晶圆移动平台，包括：底板；X轴滑动板，设于所述底板上；Y轴滑动板，设于所述X轴滑动板上；第一滑动机构，连接在所述底板和所述X轴滑动板之间，以驱使所述X轴滑动板的第一伸出侧沿着X轴方向滑出所述底板；以及第二滑动机构，连接在所述X轴滑动板和所述Y轴滑动板之间，以驱使所述Y轴滑动板的第二伸出侧沿着Y轴方向滑出所述X轴滑动板；其中，所述Y轴滑动板与所述第一伸出侧相对的一侧设有第一加重件，所述X轴滑动板与所述第二伸出侧相对的一侧设有第二加重件。>[0007]进一步地，所述第一滑动机构包括：第一导轨，沿着X轴方向固定在所述底板上；第二导轨，与所述第一导轨平行设置；以及第一滚柱结构，承接在所述第一导轨和所述第二导轨之间，以使第二导轨可相对所述第一导轨滑动；其中，所述X轴滑动板与所述第二导轨相接。
[0008]进一步地，所述第二滑动机构包括：第三导轨，沿着Y轴方向固定在所述X轴滑动板上；第四导轨，与所述第三导轨平行设置；以及第二滚柱结构，承接在所述第三导轨和所述第四导轨之间，以使所述第四导轨可相对所述第三导轨滑动；其中，所述Y轴滑动板与所述第四导轨相接。
[0009]进一步地，所述Y轴滑动板与所述第一伸出侧相对的一侧为第一加重侧，所述第一加重侧与所述X轴滑动板之间具有容纳所述第一加重件的第一容纳空间。
[0010]进一步地，所述移动平台包括固定在所述X轴滑动板上、且位于所述第一容纳空间处的第一引导块，所述第一引导块设有第一导槽，所述第一加重件固定在所述第一加重侧上，所述第一导槽可引导所述第一加重件沿Y轴方向滑动。
[0011]进一步地，所述X轴滑动板与所述第二伸出侧相对的一侧为第二加重侧，所述第二加重侧延伸出所述底板，以形成容纳所述第二加重件的第二容纳空间。
[0012]进一步地，所述移动平台包括固定在所述底板上、且位于所述第二容纳空间处的第二引导块，所述第二引导块设有第二导槽，所述第二加重件固定在所述第二加重侧上，所述第二导槽可引导所述第二加重件沿X轴方向滑动。
[0013]进一步地，所述第一滑动机构数量为两组，且分别位于所述X轴滑动板的两侧，所述第二滑动机构数量为两组，且分别位于所述Y轴滑动板的两侧。
[0014]进一步地，所述第一滑动机构和所述第二滑动机构均设有驱动件，以分别驱动所述X轴滑动板和所述Y轴滑动板滑动。
[0015]此外，本技术还提供一种测量设备，包括：前述所述的晶圆移动平台；晶圆载台，设于所述Y轴滑动板上，并用于容置和定位晶圆；以及量测机构，位于所述晶圆载台上方，并朝向所述晶圆载台设置。
[0016]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：本技术通过在Y轴滑动板上设置第一加重件，当X轴滑动板带动Y轴滑动板沿X轴方向部分伸出底板时，第一加重件能够提高X轴滑动板在远离第一伸出侧处的重量，避免因X轴滑动板伸出底板的部分未受承载而造成移动平台不稳定；通过在X轴滑动板上设置第二加重件，当Y轴滑动板沿Y轴方向部分伸出X轴滑动板时，第二加重件能够提高Y轴滑动板在远离第二伸出侧处的重量，避免因Y轴滑动板伸出X轴滑动板的部分未受承载而造成移动平台不稳定。
附图说明
[0017]图1是本技术移动平台的结构示意图。
[0018]图2是本技术移动平台的分解结构示意图。
[0019]图3是本技术中第一滑动机构的结构示意图。
[0020]图4是本技术中第一加重件与第一引导块的分解结构示意图。
[0021]图5是本技术测量设备的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本申请的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]本申请中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0024]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和
隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0025]请参阅图1至图4所示，对应于本技术一种较佳实施例的晶圆移动平台，包括：底板10；X轴滑动板20，设于底板10上；Y轴滑动板30，设于X轴滑动板20上；第一滑动机构40，连接在底板10和X轴滑动板20之间，以驱使X轴滑动板20的第一伸出侧21沿着X轴方向滑出底板10；以及第二滑动机构50，连接在X轴滑动板20和Y轴滑动板30之间，以驱使Y轴滑动板30的第二伸出侧31沿着Y轴方向滑出X轴滑动板20；其中，Y轴滑动板30与第一伸出侧21相对的一侧设有第一加重件60，X轴滑动板20与第二伸出侧31相对的一侧设有第二加重件70。
[0026]本技术通过在Y轴滑动板30上设置第一加重件60，当X轴滑动板20带动Y轴滑动板30沿X轴方向部分伸出底板10时，第一加重件60能够提高X轴滑动板20在远离第一伸出侧21处的重量，避免因X轴滑动板20伸出底板10的部分未受承载而造成移动平台不稳定；通过在X轴滑动板20上设置第二加重件70，当Y轴滑动板30沿Y轴方向部分伸出X轴滑动板20时，第二加重件70能够提高Y轴滑动板30在远离第二伸出侧31处的重量，避免因Y轴滑动板30伸本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆移动平台，其特征在于，包括：底板(10)；X轴滑动板(20)，设于所述底板(10)上；Y轴滑动板(30)，设于所述X轴滑动板(20)上；第一滑动机构(40)，连接在所述底板(10)和所述X轴滑动板(20)之间，以驱使所述X轴滑动板(20)的第一伸出侧(21)沿着X轴方向滑出所述底板(10)；以及第二滑动机构(50)，连接在所述X轴滑动板(20)和所述Y轴滑动板(30)之间，以驱使所述Y轴滑动板(30)的第二伸出侧(31)沿着Y轴方向滑出所述X轴滑动板(20)；其中，所述Y轴滑动板(30)与所述第一伸出侧(21)相对的一侧设有第一加重件(60)，所述X轴滑动板(20)与所述第二伸出侧(31)相对的一侧设有第二加重件(70)。2.如权利要求1所述的晶圆移动平台，其特征在于，所述第一滑动机构(40)包括：第一导轨(41)，沿着X轴方向固定在所述底板(10)上；第二导轨(42)，与所述第一导轨(41)平行设置；以及第一滚柱结构(43)，承接在所述第一导轨(41)和所述第二导轨(42)之间，以使第二导轨(42)可相对所述第一导轨(41)滑动；其中，所述X轴滑动板(20)与所述第二导轨(42)相接。3.如权利要求1所述的晶圆移动平台，其特征在于，所述第二滑动机构(50)包括：第三导轨(51)，沿着Y轴方向固定在所述X轴滑动板(20)上；第四导轨(52)，与所述第三导轨(51)平行设置；以及第二滚柱结构，承接在所述第三导轨(51)和所述第四导轨(52)之间，以使所述第四导轨(52)可相对所述第三导轨(51)滑动；其中，所述Y轴滑动板(30)与所述第四导轨(52)相接。4.如权利要求1所述的晶圆移动平台，其特征在于，所述Y轴滑动板(30)与所述第一伸出侧(21)相对的一侧为第一加重侧(32)，所述第一加重侧(32)与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘钦源，郑少宇，
申请(专利权)人：普雷赛斯苏州智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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