一种深紫外偏振棱镜制造技术

本发明专利技术涉及一种深紫外偏振棱镜，包括两个直角棱镜，两个所述棱镜分别为四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体，两个所述直角棱镜具有相同切割角，两个所述棱镜晶体光轴方向平行，同时，两个晶轴方向与棱镜的入射面和出射面平行，两个所述棱镜通过空气隙、光胶或者胶水配合在一起，所述振棱镜用于深紫外波段到180nm，尤其是可以用于ArF光刻使用的193.368nm波长下，同时也可以用于可见光和近红外波段。该深紫外偏振棱镜，通过四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体这两种材料设计新型的深紫外偏振棱镜，满足深紫外波段尤其是光刻波段193nm的使用，同时该棱镜还兼具可以在紫外、可见光和近红外使用，可以双通道使用，大视场角，具有较高透过率的技术特点，还具有高性价比的经济特点。性价比的经济特点。

【技术实现步骤摘要】
一种深紫外偏振棱镜


[0001]本专利技术涉及偏振棱镜
，具体为一种深紫外偏振棱镜。

技术介绍

[0002]偏振棱镜已经广泛使用在偏振光学相关的科研以及工业领域，在深紫外尤其是于ArF光刻使用的193.368nm下的深紫外偏振棱镜，由于材料的限制，常用的材料有氟化镁晶体、石英晶体、alpha BBO晶体等少数晶体材料，氟化镁晶体以及石英晶体在193nm下的双折射率差非常小，约为0.013，一般不用于深紫外偏振棱镜的制作，Alpha BBO在深紫外波段的透射截止波长为189nm，如专利“深紫外、可见、近红外偏振器（200510018753.6）”使用的就是材料就是alpha BBO晶体，覆盖波长为190
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3300nm，在193nm下的双折射率差为0.21，但由于接近截止波长，棱镜的整体透过率在193nm波长下较低，专利“一种真空紫外偏振棱镜（201811546276.4）”，提到了一种新型的基于CLBO晶体的偏振棱镜，由于该材料在180
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200nm都具有良好的透过率和较高的双折射率差0.05@193n本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种深紫外偏振棱镜，其特征在于，包括两个直角棱镜，两个所述棱镜分别为四硼酸锂Li2B4O7晶体和石英SiO2晶体，两个所述直角棱镜具有相同切割角，两个所述棱镜晶体光轴方向平行，同时，两个晶轴方向与棱镜的入射面和出射面平行，两个所述棱...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄素美，
申请(专利权)人：福州美扬光电有限公司，
类型：发明
国别省市：