一种涡旋盘及真空泵制造技术

本实用新型专利技术涉及真空泵领域，具体是一种涡旋盘及真空泵，包括彼此配合安装的静涡旋盘以及动涡旋盘，静涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线、第一齿端修正型线以及第一外涡旋型线；动涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线、第二齿端修正型线以及第二外涡旋型线；所述第一内涡旋型线与第二外涡旋型线啮合，第一外涡旋型线与第二内涡旋型线啮合，第一齿端修正型线与第二齿端修正型线啮合；本实用新型专利技术通过对静涡旋盘和动涡旋盘型线的合理优化，保证了涡旋真空泵工作抽气时无余隙产生，大幅提高了真空泵的抽气真空度，同时降低了型线的加工难度。降低了型线的加工难度。降低了型线的加工难度。

【技术实现步骤摘要】
一种涡旋盘及真空泵


[0001]本技术涉及真空泵领域，具体是一种涡旋盘及真空泵。

技术介绍

[0002]涡旋真空泵是目前一种较为新颖的干式真空泵，因其无油清洁、抽速范围宽、能耗低、结构简单易于维护、工作可靠性高寿命长等诸多优点，已被广泛应用于半导体、科学仪器、机械设备、医疗设备等行业。
[0003]涡旋真空泵的工作腔如专利CN103133346A所示，由一对涡旋盘副构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘围合形成月牙形腔体，随着动涡旋盘转动，月牙形腔体不断向里旋转压缩，最后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口进入，由出气口排出，从而形成真空。受动涡旋盘和静涡旋盘的型线设计影响，涡旋真空泵工作抽气时存在较大余隙，影响真空泵的抽气真空度，因此亟待解决。

技术实现思路

[0004]为了避免和克服现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种涡旋盘及真空泵。本技术通过对动涡旋盘和静涡旋盘型线的优化，大幅提高了真空泵的抽气真空度。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种涡旋盘，包括彼此配合安装的静涡旋盘以及动涡旋盘，静涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线、第一齿端修正型线以及第一外涡旋型线；动涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线、第二齿端修正型线以及第二外涡旋型线；所述第一内涡旋型线与第二外涡旋型线啮合，第一外涡旋型线与第二内涡旋型线啮合，第一齿端修正型线与第二齿端修正型线啮合；
[0007]第一内涡旋型线、第一外涡旋型线、第二内涡旋型线以及第二外涡旋型线均为圆的渐开线，第一齿端修正型线以及第二齿端修正型线为圆弧线；所述第一齿端修正型线的两端分别与第一内涡旋型线以及第一外涡旋型线相切，第二齿端修正型线的两端分别与第二内涡旋型线以及第二外涡旋型线相切。
[0008]作为本技术进一步的方案：以涡旋盘的排气口为圆心建立直角坐标系，第一外涡旋型线的型线方程如下：
[0009]X1＝15.35/2π
×
cos(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)+t1×
15.35/2π
×
sin(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
[0010]Y1＝15.35/2π
×
sin(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t1×
15.35/2π
×
cos(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
[0011]其中，X1为第一外涡旋型线的型线横坐标；
[0012]Y1为第一外涡旋型线的型线纵坐标；
[0013]t1∈[0,50]，t1为第一外涡旋型线的展角；
[0014]第一内涡旋型线的型线方程如下：
[0015]X2＝15.35/2π
×
cos(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)+t2×
15.35/2π
×
sin(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)
[0016]Y2＝15.35/2π
×
sin(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t2×
15.35/2π
×
cos(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)
[0017]其中，X2为第一内涡旋型线的型线横坐标；
[0018]Y2为第一内涡旋型线的型线纵坐标；
[0019]t2∈[0,50]，t2为第一内涡旋型线的展角；
[0020]第一齿端修正型线的型线方程如下：
[0021]X3＝
‑
3.32+5.925
×
cosβ1[0022]Y3＝
‑
7.63+5.925
×
sinβ1[0023]其中，X3为第一齿端修正型线的型线横坐标；
[0024]Y3为第一齿端修正型线的型线纵坐标；
[0025]β1∈[
‑
1.683,1.459]，β1为第一齿端修正型线的起止角度；
[0026]第二外涡旋型线的型线方程如下：
[0027]X4＝
‑
[15.35/2π
×
cos(t3‑
3.5
×
π/15.35+π/2)+t3×
15.35/2π
×
sin(t3‑
3.5
×
π/15.35+π/2)][0028]Y4＝15.35/2π
×
sin(t3‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t3×
15.35/2π
×
cos(t3‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
[0029]其中，X4为第二外涡旋型线的型线横坐标；
[0030]Y4为第二外涡旋型线的型线纵坐标；
[0031]t3∈[0,50]，t3为第二外涡旋型线的展角；
[0032]第二内涡旋型线的型线方程如下：
[0033]X5＝
‑
[15.35/2π
×
cos(t4+3.5
×
π/15.35+π/2)+t4×
15.35/2π
×
sin(t4+3.5
×
π/15.35+π/2)][0034]Y5＝15.35/2π
×
sin(t4+3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t4×
15.35/2π
×
cos(t4+3.5
×
π/15.35+π/2)
[0035]其中，X5为第二内涡旋型线的型线横坐标；
[0036]Y5为第二内涡旋型线的型线纵坐标；
[0037]t4∈[0,50]，t4为第二内涡旋型线的展角；
[0038]第二齿端修正型线的型线方程如下：
[0039]X6＝
‑‑
2.1+1.75
×
cosβ2[0040]Y6＝
‑
3.76+1.75
×
sinβ2[0041]其中，X6为第二齿端修正型线的型线横坐标；
[0042]Y6为第二齿端修正型线的型线纵坐标；
[0043]β2∈[
‑
1.692,1.351]，β2为第二齿端修正型线的起止角度。
[0044]一种真空泵，具有所述的一种涡旋盘。
[0045]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0046]1、本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涡旋盘，其特征在于，包括彼此配合安装的静涡旋盘(1)以及动涡旋盘(2)，静涡旋盘(1)的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线(11)、第一齿端修正型线(13)以及第一外涡旋型线(12)；动涡旋盘(2)的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线(21)、第二齿端修正型线(23)以及第二外涡旋型线(22)；所述第一内涡旋型线(11)与第二外涡旋型线(22)啮合，第一外涡旋型线(12)与第二内涡旋型线(21)啮合，第一齿端修正型线(13)与第二齿端修正型线(23)啮合；第一内涡旋型线(11)、第一外涡旋型线(12)、第二内涡旋型线(21)以及第二外涡旋型线(22)均为圆的渐开线，第一齿端修正型线(13)以及第二齿端修正型线(23)为圆弧线；所述第一齿端修正型线(13)的两端分别与第一内涡旋型线(11)以及第一外涡旋型线(12)相切，第二齿端修正型线(23)的两端分别与第二内涡旋型线(21)以及第二外涡旋型线(22)相切。2.根据权利要求1所述的一种涡旋盘，其特征在于，以涡旋盘的排气口(3)为圆心建立直角坐标系，第一外涡旋型线(12)的型线方程如下：X1＝15.35/2π
×
cos(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)+t1×
15.35/2π
×
sin(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)Y1＝15.35/2π
×
sin(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t1×
15.35/2π
×
cos(t1‑
3.5
×
π/15.35+π/2)其中，X1为第一外涡旋型线(12)的型线横坐标；Y1为第一外涡旋型线(12)的型线纵坐标；t1∈[0,50]，t1为第一外涡旋型线(12)的展角；第一内涡旋型线(11)的型线方程如下：X2＝15.35/2π
×
cos(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)+t2×
15.35/2π
×
sin(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)Y2＝15.35/2π
×
sin(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)
‑
t2×
15.35/2π
×
cos(t2+3.5
×
π/15.35+π/2)其中，X2为第一内涡旋型线(11)的型线横坐标；Y2为第一内涡旋型线(11)的型线纵坐标；t2∈[0,50]，t2为第一内涡旋型线(11)的展角；第一齿端修正型线(13)的型线方程如下：X3＝

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鑫，周良峰，张大海，
申请(专利权)人：安徽斯凡克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：