一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空泵领域，具体是一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，泵体内包括如下组成部分：排气口；阀腔，布置在排气口的下游端，阀腔的一端封闭，另一端与排气口连通；阀芯，布置在阀腔内并受阀腔内的弹性件作用从而与排气口抵接以封闭排气口，弹性件的弹性力方向与排气口处的排气流向相对；排气管路，布置在阀腔内并与阀芯的运动轨迹位置避让。本实用新型专利技术大幅降低了真空泵排气口处的噪音。音。音。

【技术实现步骤摘要】
一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构


[0001]本技术涉及真空泵领域，具体是一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构。

技术介绍

[0002]涡旋真空泵是目前一种较为新颖的干式真空泵，因其无油清洁、抽速范围宽、能耗低、结构简单易于维护、工作可靠性高寿命长等诸多优点，已被广泛应用于半导体、科学仪器、机械设备、医疗设备等行业。
[0003]涡旋真空泵是一种变容积式真空泵，其工作腔由一对型线共轭的涡旋盘副构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘，如专利号CN201428596Y所示，动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便围合形成月牙形腔体。随着动涡旋盘转动，气体由月牙形腔体不断向里旋转压缩，最后从中间排出至排气口。动涡旋盘连续运转，气体就从进气口进入，经过一个个月牙形腔体，由排气口排出，形成真空。因各个月牙形腔体是间断排布的，因此真空泵亦处于间断排气状态，相邻两次排气进程的间的不排气进程极短，但在极短的不排气进程中，排气口处会产生受压强差影响会产生回流现象，而受回流气体的影响，排气口处会产生较大的振动和噪音，因此亟待解决。

技术实现思路

[0004]为了避免和克服现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构。本技术大幅降低了真空泵排气口处的噪音。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，泵体内包括如下组成部分：
[0007]排气口；
[0008]阀腔，布置在排气口的下游端，阀腔的一端封闭，另一端与排气口连通；
[0009]阀芯，布置在阀腔内并受阀腔内的弹性件作用从而与排气口抵接以封闭排气口，弹性件的弹性力方向与排气口处的排气流向相对；
[0010]排气管路，布置在阀腔内并与阀芯的运动轨迹位置避让。
[0011]作为本技术进一步的方案：所述阀腔的一端通过阀座封闭，阀芯向阀座方向凸设有定位凸台，弹性件为套设在定位凸台上的弹簧，弹簧的两端分别与阀芯以及阀座抵接。
[0012]作为本技术再进一步的方案：阀座上朝向阀芯的方向凸设有与定位凸台同轴布置的定位座，定位座呈沿靠近阀芯方向直径逐渐缩小的圆锥台状构造，弹簧套设在定位座上并与定位座抵接。
[0013]作为本技术再进一步的方案：所述定位座端部沿轴向凸设有导向座，定位凸台上开设有与导向座位置及形状对应的导向腔，导向座插入导向腔内并与导向腔滑动配合。
[0014]作为本技术再进一步的方案：所述阀座与泵体螺纹配合固定，阀座与泵体的对接面处设置有密封圈。
[0015]作为本技术再进一步的方案：所述阀腔以及排气口均为柱状腔体且阀腔直径大于排气口直径，所述阀芯上开设有供气流通过的缺口，缺口与排气口位置错开。
[0016]作为本技术再进一步的方案：所述排气管路内沿径向均匀布置有整流板，相邻整流板与排气管路的管壁围合形成整流腔供气流向外排出。
[0017]作为本技术再进一步的方案：各所述整流腔的腔壁上均贴设有吸音棉，且整流腔弯折处的吸音棉采用圆角平滑过渡。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0019]1、本技术在阀腔内设置弹性件，使弹性件的弹性力方向保持与排气口的排气流向对立，在排气口的正常排气过程中，阀芯被气流推开从而与排气口分离，此时排气口的排出气体可正常通过排气管路向外排出；在相邻两个排气过程的间隙时间，受弹性件作用，阀芯始终与排气口抵接，从而避免排气口处产生回流现象，大幅降低了真空泵排气口处的噪音。
[0020]2、本技术选择弹簧作为弹性件，其两端分别与定位凸台和定位座抵接，以保证安装位置以及弹性力方向准确，由于定位座设计为圆锥台状，可匹配不同直径的弹簧使用。
[0021]3、本技术通过导向腔和导向座的插接配合，可确保阀芯始终沿直线方向运动，避免阀芯发生震动；阀座与本体采用螺纹配合固定，方便拆卸更换，且密封性好。
[0022]4、本技术在排气管路上均匀开设整流板，使得排气管路的管腔被划分为多段整流腔，对排出气体产生整流效果，降低气体的扰流噪声；整流腔的弯折处采用圆角平滑过渡，通过整流腔的腔壁上贴设吸音棉，将排气管内的噪声降至最低限度。
附图说明
[0023]图1为本技术的结构示意图。
[0024]图2为本技术中排气口处的结构示意图。
[0025]图3为本技术中排气管路的结构示意图。
[0026]图中：
[0027]1、泵体；11、排气口；12、排气管路；
[0028]121、整流板；122、整流腔；123、吸音棉；13、阀腔；
[0029]2、阀座；21、定位座；22、导向座；23、密封圈；
[0030]3、阀芯；31、导向腔；32、定位凸台；
[0031]4、弹性件。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]请参阅图1～3，本技术实施例中，一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，泵体1的排气口11与阀腔13连通，阀腔13为柱状腔体，阀腔13的其中一端与排气口11连通，另一端被阀座2封闭。阀座2与泵体1螺纹配合固定，螺纹朝向与排气口11排气方向相对。
[0034]阀座2在相邻排气口11的一端设置有密封圈23，以使得阀座2与泵体1固定后，接触面可通过密封圈23实现密封以防止气体泄漏。
[0035]阀腔13的直径大于排气口11直径，阀腔13内布置有阀芯3，阀芯3可沿排气口11的排气方向往复直线运动，从而封堵或让出排气口11。
[0036]阀芯3上沿排气口11的排气方向开设有缺口，缺口的位置与排气口11位置错开，阀芯3抵接封堵排气口11时，缺口与阀腔13的腔壁抵接，此时无气流通过缺口。
[0037]阀腔13内设置有排气管路12，排气管路12的位置与阀芯3的往复移动路径位置避让。
[0038]排气管路12内沿径向均匀布置有整流板121，相邻两组整流板121与排气管路12的管壁围合形成扇形的整流腔122。各整流腔122的腔壁上均预贴设固定有吸音棉123，吸音棉123在整流腔122的弯折处采用圆角平滑过渡。
[0039]在相邻排气进程的间隔时间，为保证排气口11处不会发生气体回流现象，阀座2上向阀芯3方向凸设有定位凸台32，阀芯3上向阀座2方向凸设有定位座21，定位座21与定位凸台32同轴布置，选用弹簧作为弹性件4套设在定位座21和定位凸台32上，弹簧的直径与定位凸台32直径吻合。定位座21呈圆锥台状，沿靠近阀芯3方向直径逐渐缩小，弹簧其中一端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，其特征在于，泵体(1)内包括如下组成部分：排气口(11)；阀腔(13)，布置在排气口(11)的下游端，阀腔(13)的一端封闭，另一端与排气口(11)连通；阀芯(3)，布置在阀腔(13)内并受阀腔(13)内的弹性件(4)作用从而与排气口(11)抵接以封闭排气口(11)，弹性件(4)的弹性力方向与排气口(11)处的排气流向相对；排气管路(12)，布置在阀腔(13)内并与阀芯(3)的运动轨迹位置避让。2.根据权利要求1所述的一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，其特征在于，所述阀腔(13)的一端通过阀座(2)封闭，阀芯(3)向阀座(2)方向凸设有定位凸台(32)，弹性件(4)为套设在定位凸台(32)上的弹簧，弹簧的两端分别与阀芯(3)以及阀座(2)抵接。3.根据权利要求2所述的一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，其特征在于，阀座(2)上朝向阀芯(3)的方向凸设有与定位凸台(32)同轴布置的定位座(21)，定位座(21)呈沿靠近阀芯(3)方向直径逐渐缩小的圆锥台状构造，弹簧套设在定位座(21)上并与定位座(21)抵接。4.根据权利要求3所述的一种带逆止消音功能的涡旋真空泵排气口结构，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周良峰，黄鑫，张大海，
申请(专利权)人：安徽斯凡克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：