一种靶管快速装夹的旋转阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，本实用新型专利技术将多块环形夹板组成的圆环分别扣合在两端的端盖上，夹板向下压紧的同时夹板的斜面会产生轴向的推力，使端盖向内侧移动将靶管夹紧在端盖之间，方便对靶管进行安装和固定，对现有的旋转阴极中的靶管安装结构进行了改善，解决了安装困难、操作不方便的问题。作不方便的问题。作不方便的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种靶管快速装夹的旋转阴极


[0001]本技术涉及磁控溅射
，具体为一种靶管快速装夹的旋转阴极。

技术介绍

[0002]磁控溅射旋转阴极是目前大面积真空镀膜的重要设备之一，磁控溅射的原理：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
[0003]传统的旋转阴极的靶管在安装时都是通过法兰和螺钉将其固定，法兰式的安装结构安装效率慢，且靶管的长度有1
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2米，这样靶管安装时需要将靶管穿过法兰，操作困难。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种靶管快速装夹的旋转阴极，利用装夹组件，装夹组件为组装式，能够直接扣合在靶管的端口部，扣合的同时将第一端盖和第二端盖向内侧推动，将靶管固定在第一端盖和第二端盖之间，安装方便快速。
[0005]本技术提供如下技术方案：一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，所述装夹组件包括至少两个的环形夹板，环形夹板连接构成环形套将靶管组件的端部包裹，所述环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，凸起的内侧端面为竖直面用于与靶管组件的端面贴合，所述靶管组件的两端上套接有限位环，所述限位环位于凹槽内对环形夹板进行限位。
[0006]根据上述技术方案，所述环形夹板的横截面上在凹槽的两端成型有第一凸台和第二凸台，所述第二凸台为带斜面的凸台，所述第二凸台的高度大于第一凸台的高度，所述第一凸台与靶管组件的外壁贴合。
[0007]根据上述技术方案，所述环形夹板为半圆形，环形夹板数量为两个。
[0008]根据上述技术方案，所述限位环为环形凸台，限位环与靶管组件为一体成型。
[0009]根据上述技术方案，所述限位环为钢圈，靶管组件的两端开设有嵌槽，钢圈嵌在嵌槽内
[0010]根据上述技术方案，所述环形夹板外表面的两端开设有紧固件安装槽，所述紧固件安装槽内开设有连接孔，所述连接孔内穿过紧固件将环形夹板连接。
[0011]根据上述技术方案，所述靶管组件包括空心轴，所述空心轴的上端固定有磁极固定板，所述磁极固定板上固定有磁极，所述空心轴和磁极的外侧套接有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间。
[0012]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0013]（1）通过装夹组件内的环形夹板分别扣合在第一端盖和第二端盖上，夹板向下压紧的同时环形夹板内侧的斜面上会产生轴向的推力，使第一端盖和第二端盖向内侧移动将靶管夹紧在第一端盖和第二端盖之间，只需向下压紧环形夹板就能固定靶管，安装完成就能够将靶管固定；
[0014]（2）装夹组件由多块环形夹板连接构成，这样环形夹板只需直接扣合在靶管组件的端部，再用紧固件将环形夹板连接，就能将环形夹板固定在端盖上，而法兰式的需要将靶管穿过法兰，靶管长度长，操作困难，相对与法兰式的安装结构，该结构安装快速方便。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1是本技术的夹装组件安装结构示意图；
[0017]图2是本技术的剖面结构示意图；
[0018]图3是本技术的图2中A区域的局部放大示意图；
[0019]图4是本技术的夹板结构示意图；
[0020]图中：1、第一固定座；2、第一端盖；21、凸起；3、靶管组件；31、空心轴；32、磁极固定板；33、磁极；34、靶管；4、第二端盖；5、第二固定座； 6、装夹组件；61、环形夹板；611、凹槽；612、第一凸台；613、第二凸台；614、紧固件安装槽；615、连接孔；62、限位环。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0022]请参阅图1至3，本技术提供技术方案：一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座1和第二固定座5，第一固定座1的内侧连接有第一端盖2，第二固定座5的内侧连接有第二端盖4，第一端盖2和第二端盖4之间连接有靶管组件3，其特征在于：靶管组件3和第一端盖2以及和第二端盖4的交界处上均套接有装夹组件6，装夹组件6将靶管组件3固定在第一端盖2和第二端盖4之间，装夹组件6包括至少两个的环形夹板61，环形夹板61连接构成环形套将靶管组件3的端部包裹，环形夹板61的内壁上开设有环形的凹槽611，凹槽611的一内壁为斜面，第一端盖2和第二端盖4的外缘上均成型有凸起21，凸起21的外侧端面为倾斜面用于与凹槽611内壁的斜面贴合，斜面贴合后环形夹板61向下压紧会使斜面上产生轴向的推力，将第一端盖2和第二端盖4向内侧移动将靶管组件3锁紧，凸起21的内侧端面为竖直面用于与靶管组件3的端面贴合，靶管组件3的两端上套接有限位环62，限位环62位于凹槽611内对环形夹板61进行限位，使环形夹板61下压的同时在轴向方向移动，当环形夹板61被限位环62抵住时，环形夹板61刚好将靶管组件3固定。
[0023]如图3所示，环形夹板61的横截面上在凹槽611的两端成型有第一凸台612和第二凸台613，第二凸台613为带斜面的凸台，第二凸台613的高度大于第一凸台612的高度，第一凸台612与靶管组件3的外壁贴合，第一凸台612会被限位环62抵住，从而将环形夹板61固定，同时第一凸台612会对环形夹板61在靶管组件3上的滑动进行导向。
[0024]环形夹板61为半圆形，环形夹板61数量为两个，环形夹板61的数量由环形夹板61的圆弧角度决定，多个环形夹板61组成圆环将靶管组件3的两端套接，组装式的环形夹板61，方便将环形夹板61固定在第一端盖2或第二端盖4上。
[0025]限位环62为环形凸台，限位环62与靶管组件3为一体成型，环形凸台通过机床加工得到，加工方便，生产成本低。
[0026]如图4所示，环形夹板61外表面的两端开设有紧固件安装槽614，紧固件安装槽614内开设有连接孔615，连接孔615内穿过紧固件将环形夹板61连接。
[0027]如图2所示，靶管组件3包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，所述装夹组件包括至少两个的环形夹板，环形夹板连接构成环形套将靶管组件的端部包裹，所述环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，凸起的内侧端面为竖直面用于与靶管组件的端面贴合，所述靶管组件的两端上套接有限位环，所述限位环位于凹槽内对环形夹板进行限位。2.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述环形夹板的横截面上在凹槽的两端成型有第一凸台和第二凸台，所述第二凸台为带斜面的凸台，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘燕萍，
申请(专利权)人：江苏乐萌精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：