一种磁场角度可调节的旋转阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述第二端盖内侧轴承连接角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接，所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，本实用新型专利技术解决了现有旋转阴极中磁场角度不能够转动的问题，通过花键将过渡轴与空心轴连接，且空心轴上固定有磁铁组，通过转动过渡轴就能够使磁铁组发生角度的变化，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求。够满足不同基材的生产工艺需求。够满足不同基材的生产工艺需求。

【技术实现步骤摘要】
一种磁场角度可调节的旋转阴极


[0001]本技术涉及磁控溅射
，具体为一种磁场角度可调节的旋转阴极。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜是在低气压下电子对阴极靶材进行高速撞击，与靶材发生反应产生金属物质溅射到基面上，对基面进行镀膜的生产过程，在磁控溅射镀膜过程中，因为磁铁的磁场分布不均匀，会导致金属物质的溅射路径与工件形成夹角，从而影响镀膜的均匀性；
[0003]而现有的旋转阴极在镀膜过程中，一般都只能够使靶管均匀旋转从而保证镀膜的均匀性，并不能改变磁铁的朝向来改变磁场的分布，而不同的基材，放置的位置不同就需要对磁场进行调整，从而使金属物质的溅射角度尽可能的与工件的法线一致，因此需要对磁场的角度进行调节来满足生产工艺需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种磁场角度可调节的旋转阴极，通过转动端板使空心轴转动，进一步改变磁铁的朝向，改变磁场的方向，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求，从而保证镀膜的均匀性。
[0005]本技术提供如下技术方案：一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述第二固定座的内壁上固定有轴套，所述轴套套接在第二端盖的外侧，轴套与第二端盖之间轴承连接，其特征在于：所述轴套的外侧连接有角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接；
[0006]所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，所述空心轴上还固定有磁铁固定板，所述磁铁固定板上固定有磁铁组，所述空心轴的外侧套设有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间；
[0007]所述角度调节机构包括连接板，所述连接板固定在轴套的端面上，所述连接板的外表面上连接有端板，所述端板内侧连接有过渡轴，过渡轴位于空心轴的一端，且位于第二端盖内侧，过渡轴与第二端盖轴承连接，过渡轴穿过连接板，且与连接板能够发生相对转动，所述过渡轴的末端成型有花键用于与空心轴连接；
[0008]所述端板上还开设有弧形腰孔，所述连接板上在弧形腰孔的对应位置上开设有连接孔，连接孔内螺纹连接有螺钉。
[0009]根据上述技术方案，所述端板的背面上开设有腰型槽，过渡轴的端部成型有腰型轴头，所述腰型轴头嵌合在腰型槽内，所述端板的表面中心开设有锥形孔，腰型轴头与锥形孔通过连接扣连接。
[0010]根据上述技术方案，所述端板表面的两端上刻有刻度，所述连接板上开设有标尺线，标尺线位于刻度的外侧用于对标调节旋转角度。
[0011]根据上述技术方案，所述弧形腰孔的数量为两个，且对称设置，所述弧形腰孔与刻
度在同一圆心上，并开设在刻度的内侧，所述刻度位于连接板的边缘，所述标尺线穿过弧形腰孔的中心在刻度的两端呈现。
[0012]根据上述技术方案，所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有至少两个环形夹板，环形夹板连接构成环形套，环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，所述靶管组件的两端上开设有嵌槽，嵌槽内嵌入有钢圈，钢圈位于凹槽内对环形夹板进行限位。
[0013]根据上述技术方案，所述环形夹板外表面的两端开设有安装槽，所述安装槽内开设有圆孔，所述圆孔内穿过紧固件将环形夹板连接。
[0014]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0015]（1）通过花键将过渡轴与空心轴连接，且过渡轴与端板连接，端板转动能够带动过渡轴转动，空心轴上固定有磁铁组，通过转动过渡轴就能够使磁铁组发生角度的变化，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求；
[0016]（2）在连接板上开设标尺线，在端板上刻有刻度，利用标尺线与刻度的对标来控制磁铁组的旋转角度，使角度控制更加直观和便捷。
附图说明
[0017]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0018]图1是本技术的主视图；
[0019]图2是本技术的侧视图；
[0020]图3是本技术的图2中B
‑
B的剖面图；
[0021]图4是本技术的图2中A
‑
A的剖面图
[0022]图5是本技术的角度调节机构的结构示意图；
[0023]图6是本技术的角度调节机构的爆炸结构的正面示意图；
[0024]图7是本技术的角度调节机构的爆炸结构的背面示意图；
[0025]图8是本技术的图3中C区域的局部放大示意图；
[0026]图9是本技术的环形夹板的结构示意图；
[0027]图中：1、第一固定座；2、第一端盖；21、凸起；3、靶管组件；31、空心轴；32、磁铁固定板；33、磁铁组；34、靶管；4、第二端盖；5、第二固定座；6、环形夹板；61、凹槽；62、安装槽；63、圆孔；64、钢圈；7、角度调节机构；71、端板；711、弧形腰孔；712、锥形孔；713、腰型槽；714、刻度；72、连接板；721、连接孔；722、通孔；723、标尺线；73、过渡轴；731、花键；732、腰型轴头；74、连接扣；8、轴套。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0029]请参阅图1至图5，本技术提供技术方案：一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座1和第二固定座5，第一固定座1的内侧连接有第一端盖2，第二固定座5的内侧连接有第二端盖4，第一端盖2和第二端盖4之间连接有靶管组件3，第二固定座5的内壁上固定有轴套8，轴套8套接在第二端盖4的外侧，轴套8与第二端盖4之间轴承连接，其特征在于：轴套8的外侧连接有角度调节机构7，角度调节机构7与靶管组件3的一端连接；
[0030]靶管组件3包括空心轴31，空心轴31位于第一端盖2和第二端盖4之间，且与第一端盖2和第二端盖4均为轴承连接，空心轴31上还固定有磁铁固定板32，磁铁固定板32上固定有磁铁组33，空心轴31的外侧套设有靶管34，靶管34固定在第一端盖2和第二端盖4之间，空心轴31的转动能够带动磁铁固定板32转动，进一步使磁铁组33发生转动，改变磁场的角度，满足不同生产工艺的需求；
[0031]角度调节机构7包括连接板72，连接板72固定在轴套8的端面上，连接板72的外表面上连接有端板71，端板71内侧连接有过渡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述第二固定座的内壁上固定有轴套，所述轴套套接在第二端盖的外侧，轴套与第二端盖之间轴承连接，其特征在于：所述轴套的外侧连接有角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接；所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，所述空心轴上还固定有磁铁固定板，所述磁铁固定板上固定有磁铁组，所述空心轴的外侧套设有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间；所述角度调节机构包括连接板，所述连接板固定在轴套的端面上，所述连接板的外表面上连接有端板，所述端板内侧连接有过渡轴，过渡轴位于空心轴的一端，且位于第二端盖内侧，过渡轴与第二端盖轴承连接，过渡轴穿过连接板，且与连接板能够发生相对转动，所述过渡轴的末端成型有花键用于与空心轴连接；所述端板上还开设有弧形腰孔，所述连接板上在弧形腰孔的对应位置上开设有连接孔，连接孔内螺纹连接有螺钉。2.根据权利要求1所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述端板的背面上开设有腰型槽，过渡轴的端...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘燕萍，
申请(专利权)人：江苏乐萌精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：