旋转阴极的进水连接组件制造技术

本实用新型专利技术属于磁控溅射设备领域，特别涉及旋转阴极的进水连接组件；其包括进水端板以及进水端板的侧面上设有进水轴杆，进水轴杆通过轴承支撑连接在轴向安装孔内，进水轴杆内沿轴向设有进水轴孔，进水端板上设有与进水轴孔连通的端板通孔，进水轴孔内通过轴承连接与冷却轴杆，冷却轴杆内沿轴向设有冷却轴孔，冷却轴杆与进水轴杆之间形成有一个腔体，进水轴杆与冷却轴杆之间的轴承将腔体分为进水腔和回水腔，所述的进水轴杆上设有与进水腔连接的第一进水孔，冷却轴杆上设有连通进水腔和冷却轴孔的第二进水孔，所述的进水轴杆上还设有与回水腔连通的回水孔，本实用新型专利技术设计了一种水路结构简单合理，壳体不参与到水路结构中，大大简化壳体的结构。简化壳体的结构。简化壳体的结构。

【技术实现步骤摘要】
旋转阴极的进水连接组件


[0001]本技术属于磁控溅射设备领域，特别涉及旋转阴极的进水连接组件。

技术介绍

[0002]真空磁控溅射镀膜是当今大面积薄膜沉积领域中镀膜质量最好，应用范围最广的镀膜沉积工艺，在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，在磁控溅射镀膜设备中，磁控溅射阴极尤为重要。
[0003]中国专利CN201510969754.2，技术名称：磁控溅射旋转阴极支撑端头，其公开了一种端头结构，其中的外壳上设有多个水孔，并参与到这个水流过程中，造成外壳上的结构复杂，加工成本较高，进一步的，皮带轮为设计在支撑轴承的内侧，当需要维修时，需要将整个设备拆解开才可以维修，维修困难，故现有技术的结构设计并不合理，故需要改进。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术设计了一种水路结构简单合理，壳体不参与到水路结构中，大大简化壳体的结构，降低了制造成本，同时，本技术的第二竖向通孔用于安装驱动带的穿过，且位于靠近轴向安装孔的端部密封盖板处，仅需拆卸密封盖板即可对驱动进水轴杆转动的驱动带进行维护，方便维护，降低了设备维护的困难。
[0005]本技术的具体方案如下：
[0006]旋转阴极的进水连接组件，其包括一个连接壳体，其特征在于：所述的连接壳体的下部设有贯通的轴向安装孔，连接壳体从上端向下设有与轴向安装孔连通的竖向安装孔，还包括阴极组件的进水端板，进水端板位于连接壳体的外侧，进水端板的侧面上设有进水轴杆，进水轴杆通过轴承支撑连接在轴向安装孔内，进水轴杆内沿轴向设有进水轴孔，进水端板上设有与进水轴孔连通的端板通孔，进水轴孔内通过轴承连接与冷却轴杆，冷却轴杆内沿轴向设有冷却轴孔，冷却轴杆与进水轴杆之间形成有一个腔体，进水轴杆与冷却轴杆之间的轴承将腔体分为进水腔和回水腔，所述的进水轴杆上设有与进水腔连接的第一进水孔，冷却轴杆上设有连通进水腔和冷却轴孔的第二进水孔，所述的进水轴杆上还设有与回水腔连通的回水孔，还包括设置在轴向安装孔内与第一进水孔和回水孔连通的进出组件，在远离进水端板的轴向安装孔的一端还设有密封盖板。
[0007]进一步的说，所述的第一进水孔和回水孔对应的进水轴杆的外表面均设有下凹的环槽，第一进水孔和回水孔设置在对应的环槽的底部。
[0008]进一步的说，在进水轴孔相对的进水端板的另一侧面上设有安装槽，安装槽内固定有支撑板，支撑板的中心设有对阴极中心管进行支撑的端部轴承，阴极中心管与冷却轴杆连接，所述的进水端板的表面均布多个连通回水腔和进水端板另一侧的连通槽。
[0009]进一步的说，所述连通槽的末端形成有圆弧部，所述的支撑板的边缘设有与圆弧部对应的弧形凹槽。
[0010]进一步的说，所述的连接壳体上还设有与轴向安装孔连通的第二竖向通孔，且第
二竖向通孔靠近密封盖板一侧。
[0011]进一步的说，所述的连接壳体包括第一连接壳体和第二连接壳体，第一连接壳体的上端向下形成有第一竖向安装孔，第一竖向安装孔底部的两侧设有与第一连接壳体一体成型的连接边，连接边上设有连接孔，第二连接壳体连接在第一连接壳体的下端并通过紧固件穿过连接孔实现紧固，第二连接壳体上设有与轴向安装孔连通的第二竖向安装孔，第二竖向安装孔与轴向安装孔连通处形成有固定平面，固定平面上设有进出孔，进出组件设置在进出孔内并与固定平面固定，第二竖向通孔设置在进出孔一侧的固定平面上。
[0012]进一步的说，所述的进出组件包括一个进出本体，进出本体内开设有进水管路和出水管路，进出本体的两端延伸有连接块，连接块与固定平面相抵并连接在一起。
[0013]进一步的说，所述的轴向安装孔内设有辅助安装轴套，进水轴杆通过轴承连接在辅助安装轴套内，所述的辅助安装轴套的上端形成有一个安装平面，安装平面上设有进水通孔和回水通孔，进水通孔和回水通孔分别与第一进水孔和回水孔连通，进出组件的下端与固定平面紧靠并密封。
[0014]进一步的说，所述的冷却轴杆与进水轴杆的连接处设有第一密封圈。
[0015]进一步的说，所述的辅助安装轴套与进水轴杆之间设有第二密封圈。
[0016]综上所述，本技术具有以下有益效果：
[0017]1、本技术的旋转阴极的进水连接组件的水路通过进出组件进入第一进水孔，然后冷却水进入进水轴杆和冷却轴杆之间的进水腔，然后穿过冷却轴杆的第二进水孔，进入冷却轴杆的冷却轴孔内，并沿着冷却轴孔进入阴极耙管组件内，最后从进水端板回流到回水腔内，最后从回水孔进入进出组件中流出，本技术的水路结构设计合计，连接壳体不参与到水流循环中，大大缩减了连接壳体中水路结构加工的困难性，降低了设备的生产成本，同时，也方便加工制造，提高了产品的生产效率。
[0018]2、本技术的连接壳体采用分体式的结构设计，简化了各个部件的结构，从而方便加工制造，进一步的，也方便后续维护，降低维护成本。
附图说明
[0019]图1为本技术的立体示意图；
[0020]图2为实施例1的剖视示意图；
[0021]图3为图2中A处的放大示意图；
[0022]图4为进水端板和进水轴杆的立体示意图；
[0023]图5为进水端板和进水轴杆的另一个视角的立体示意图；
[0024]图6为实施例1的剖视示意图；
[0025]图7为实施例2的剖视示意图；
[0026]图8为进出组件的立体示意图；
[0027]图中1为连接壳体，10为轴向安装孔，11为竖向安装孔，12为第二竖向通孔，13为第一连接壳体，14为第二连接壳体，130为第一竖向安装孔，131为连接边，140为第二竖向安装孔，141为固定平面，142为进出孔， 2为进水端板，21为安装槽，22为支撑板，23为端部轴承，24为连通槽，240 为圆弧部，
[0028]3为进水轴杆，30为进水轴孔，31为第一进水孔，32为回水孔，33为环槽， 4为冷却
轴杆，40为冷却轴孔，41为第二进水孔，
[0029]5为腔体，50为进水腔，51为回水腔，
[0030]6为进出组件，60为进出本体，601为进水管路，602为出水管路，61为连接块， 7为密封盖板，
[0031]8为辅助安装轴套，80为安装平面，801为进水通孔，802为回水通孔。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0033]需要说明的是，当元件被称为“设置于”、“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当元件被称为“固设于”另一个元件，或与另一个元件“固定连接”，它们之间可以是可拆卸固定方式也可以是不可拆卸的固定方式。当一个元件被认为是“连接”、“转动连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。所使用的术语“垂直的”、“水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.旋转阴极的进水连接组件，其包括一个连接壳体，其特征在于：所述的连接壳体的下部设有贯通的轴向安装孔，连接壳体从上端向下设有与轴向安装孔连通的竖向安装孔，还包括阴极组件的进水端板，进水端板位于连接壳体的外侧，进水端板的侧面上设有进水轴杆，进水轴杆通过轴承支撑连接在轴向安装孔内，进水轴杆内沿轴向设有进水轴孔，进水端板上设有与进水轴孔连通的端板通孔，进水轴孔内通过轴承连接与冷却轴杆，冷却轴杆内沿轴向设有冷却轴孔，冷却轴杆与进水轴杆之间形成有一个腔体，进水轴杆与冷却轴杆之间的轴承将腔体分为进水腔和回水腔，所述的进水轴杆上设有与进水腔连接的第一进水孔，冷却轴杆上设有连通进水腔和冷却轴孔的第二进水孔，所述的进水轴杆上还设有与回水腔连通的回水孔，还包括设置在轴向安装孔内与第一进水孔和回水孔连通的进出组件，在远离进水端板的轴向安装孔的一端还设有密封盖板。2.根据权利要求1所述的旋转阴极的进水连接组件，其特征在于：所述的第一进水孔和回水孔对应的进水轴杆的外表面均设有下凹的环槽，第一进水孔和回水孔设置在对应的环槽的底部。3.根据权利要求1所述的旋转阴极的进水连接组件，其特征在于：在进水轴杆相对的进水端板的另一侧面上设有安装槽，安装槽内固定有支撑板，支撑板的中心设有对阴极中心管进行支撑的端部轴承，阴极中心管与冷却轴杆连接，所述的进水端板的表面均布多个连通回水腔和进水端板另一侧的连通槽。4.根据权利要求3所述的旋转阴极的进水连接组件，其特征在于：所述连通槽的末端形成有圆弧部，所述的支撑板的边缘设有与圆弧部对应的弧形凹槽。5.根据权利要求1所述的旋转阴极的进水连接组...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘燕萍，
申请(专利权)人：江苏乐萌精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：