一种磁控溅射镀膜靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板，背板转动连接在两个支架之间，两个L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端，L型板的内侧设置有固定组件，两个靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧，连接轴转动连接在其中一个支架的一侧，背板转轴的一端与连接轴靠近背板的一端固定连接，连接轴的外侧设置有位移组件，位移组件用于固定背板。本实用新型专利技术以解决，现有的背板一般是固定安装在磁控溅射镀膜设备内，从而导致背板只有一个表面能够绑定靶材，在当前靶材消耗完毕，需要花费较长时间来更换靶材，降低了工作效率，使得在生产进度比较紧张时，容易延误加工进度，不利于实际应用的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜靶材


[0001]本技术涉及镀膜靶材领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜靶材。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜是利用离子源产生的离子，在磁场作用下中，轰击靶材表面，使靶材表面的原子离开靶材进而沉积在被镀材表面.
[0003]磁控溅射镀膜作业时，需要将靶材固定在背板上进行磁控溅射镀膜，而现有的背板一般是固定安装在磁控溅射镀膜设备内，从而导致背板只有一个表面能够绑定靶材，在当前靶材消耗完毕，需要花费较长时间来更换靶材，降低了工作效率，使得在生产进度比较紧张时，容易延误加工进度，不利于实际的应用。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板，所述背板转动连接在两个支架之间，两个所述L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端，所述L型板的内侧设置有固定组件，两个所述靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧，所述连接轴转动连接在其中一个支架的一侧，所述背板转轴的一端与连接轴靠近背板的一端固定连接，所述连接轴的外侧设置有位移组件，所述位移组件用于固定背板。
[0005]优选的：所述位移组件包括滑槽和两个卡槽，所述滑槽开设在连接轴的顶部，两个所述卡槽分别开设在其中一个支架的一侧，所述滑槽的内部固定连接有固定杆，所述固定杆的外侧滑动连接有卡块，所述卡块的底部与滑槽内壁的底部滑动连接，所述卡块的一侧延伸至卡槽的内部。
[0006]优选的：所述位移组件还包括限位板和位移板，所述限位板固定连接在连接轴远离支架的一端，所述位移板滑动连接在连接轴的外侧，所述卡块远离支架的一侧与位移板远离限位板的一侧之间固定连接有连接杆，所述连接轴的外侧且位于位移板与限位板之间套有弹簧。
[0007]优选的：所述固定组件包括螺纹杆，所述螺纹杆转动连接在背板的一侧与L型板之间，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有挤压板，所述挤压板靠近支架的一侧与L型板的一侧滑动连接，所述挤压板靠近背板的一侧与靶材的一侧相抵触，所述螺纹杆的一端延伸至L型板的顶部且固定连接有六角转盘。
[0008]优选的：所述背板的两侧均开设有安装槽，所述靶材靠近背板的一侧与安装槽的内壁相接触。
[0009]优选的：所述背板的内部等距固定连接有散热板，所述背板的两侧均等距开设有散热槽，所述支架底部的一侧均固定连接有安装板。
[0010]本技术的技术效果和优点：
[0011]通过拉动位移组件，使得背板可以转动，从而可以使另一个靶材转动至原先靶材
的位置，然后通过位移组件对背板进行固定，进而使得能够快速生产，在一定程度上降低了更换靶材的时间，提高工作效率，进一步提高生产产能，同时利用固定组件方便对靶材进行固定，增强装置的实用性。
附图说明
[0012]图1为本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材的主视剖视图；
[0013]图2为本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材的转动背板卡块移动后状态示意图；
[0014]图3为本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材的背板转动后卡块与卡槽14结合后状态示意图；
[0015]图4为本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材的背板、安装槽和散热槽结构示意图；
[0016]图5为本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材的图1中A处的放大图。
[0017]图中：1、支架；2、背板；3、散热板；4、靶材；5、L型板；6、螺纹杆；7、挤压板；8、六角转盘；9、安装板；10、连接轴；11、限位板；12、弹簧；13、位移板；14、卡槽；15、滑槽；16、固定杆；17、卡块；18、连接杆；19、散热槽；20、安装槽。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0019]实施例1
[0020]请参阅图1～5，在本实施例中提供一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架1、背板2、两个靶材4、连接轴10和两个L型板5，背板2转动连接在两个支架1之间，两个L型板5分别固定连接在背板2顶部与底部的两端，L型板5的内侧设置有固定组件，两个靶材4分别通过固定组件设置在背板2的两侧，连接轴10转动连接在其中一个支架1的一侧，背板2转轴的一端与连接轴10靠近背板2的一端固定连接，连接轴10的外侧设置有位移组件，位移组件用于固定背板2。
[0021]在本实施例中，当背板2一侧的靶材4使用结束后，需要转动背板2时，通过拉动位移组件，使得背板2可以转动，从而可以使另一个靶材4转动至原先靶材4的位置，然后通过位移组件对背板2进行固定，进而使得能够快速生产，在一定程度上降低了更换靶材4的时间，提高工作效率，进一步提高生产产能。
[0022]实施例2
[0023]请参阅图1～5，在本实施例中，位移组件包括滑槽15和两个卡槽14，滑槽15开设在连接轴10的顶部，两个卡槽14分别开设在其中一个支架1的一侧，滑槽15的内部固定连接有固定杆16，固定杆16的外侧滑动连接有卡块17，卡块17的底部与滑槽15内壁的底部滑动连接，卡块17的一侧延伸至卡槽14的内部，当需要翻转背板2时，通过移动卡块17，使其卡块17
的一侧从卡槽14的内部脱离，然后转动连接轴10，在将另一侧的靶材4转至原先靶材4的位置后，再移动卡块17，使其卡块17的一侧进入另一个卡槽14的内部，从而对转动后的背板2进行固定。
[0024]其中，位移组件还包括限位板11和位移板13，限位板11固定连接在连接轴10远离支架1的一端，位移板13滑动连接在连接轴10的外侧，卡块17远离支架1的一侧与位移板13远离限位板11的一侧之间固定连接有连接杆18，连接轴10的外侧且位于位移板13与限位板11之间套有弹簧12，通过拉动位移板13，并压缩弹簧12，从而带动连接杆18向远离支架1的一侧移动，进而带动卡块17移动。
[0025]其中，固定组件包括螺纹杆6，螺纹杆6转动连接在背板2的一侧与L型板5之间，螺纹杆6的外侧螺纹连接有挤压板7，挤压板7靠近支架1的一侧与L型板5的一侧滑动连接，挤压板7靠近背板2的一侧与靶材4的一侧相抵触，螺纹杆6的一端延伸至L型板5的顶部且固定连接有六角转盘8，当需要对靶材4进行固定时，通过转动螺纹杆6，从而带动挤压板7向远离背板2的一侧移动，然后将靶材4放在背板2的一侧，接着再反转螺纹杆6，从而带动挤压板7向靠近背板2的一侧移动，使其挤压板7的一侧与靶材4的外侧相抵触，进而可以对靶材4进行固定。
[0026]其中，背板2的两侧均开设有安装槽20，靶材4靠近背板2的一侧与安装槽20的内壁相接触，通过设置安装槽20，使其靶材4放置在安装槽20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架(1)、背板(2)、两个靶材(4)、连接轴(10)和两个L型板(5)，其特征在于：所述背板(2)转动连接在两个支架(1)之间，两个所述L型板(5)分别固定连接在背板(2)顶部与底部的两端，所述L型板(5)的内侧设置有固定组件，两个所述靶材(4)分别通过固定组件设置在背板(2)的两侧，所述连接轴(10)转动连接在其中一个支架(1)的一侧，所述背板(2)转轴的一端与连接轴(10)靠近背板(2)的一端固定连接，所述连接轴(10)的外侧设置有位移组件，所述位移组件用于固定背板(2)。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜靶材，其特征在于：所述位移组件包括滑槽(15)和两个卡槽(14)，所述滑槽(15)开设在连接轴(10)的顶部，两个所述卡槽(14)分别开设在其中一个支架(1)的一侧，所述滑槽(15)的内部固定连接有固定杆(16)，所述固定杆(16)的外侧滑动连接有卡块(17)，所述卡块(17)的底部与滑槽(15)内壁的底部滑动连接，所述卡块(17)的一侧延伸至卡槽(14)的内部。3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜靶材，其特征在于：所述位移组件还包括限位板(11)和位移板(13)，所述限位板(11)固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，王德苗，顾骏，顾为民，
申请(专利权)人：杭州比凡科电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：