一种磁控溅射镀膜靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板，背板转动连接在两个支架之间，两个L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端，L型板的内侧设置有固定组件，两个靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧，连接轴转动连接在其中一个支架的一侧，背板转轴的一端与连接轴靠近背板的一端固定连接，连接轴的外侧设置有位移组件，位移组件用于固定背板。本实用新型专利技术以解决，现有的背板一般是固定安装在磁控溅射镀膜设备内，从而导致背板只有一个表面能够绑定靶材，在当前靶材消耗完毕，需要花费较长时间来更换靶材，降低了工作效率，使得在生产进度比较紧张时，容易延误加工进度，不利于实际应用的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜靶材


[0001]本技术涉及镀膜靶材领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜靶材。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜是利用离子源产生的离子，在磁场作用下中，轰击靶材表面，使靶材表面的原子离开靶材进而沉积在被镀材表面.
[0003]磁控溅射镀膜作业时，需要将靶材固定在背板上进行磁控溅射镀膜，而现有的背板一般是固定安装在磁控溅射镀膜设备内，从而导致背板只有一个表面能够绑定靶材，在当前靶材消耗完毕，需要花费较长时间来更换靶材，降低了工作效率，使得在生产进度比较紧张时，容易延误加工进度，不利于实际的应用。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板，所述背板转动连接在两个支架之间，两个所述L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端，所述L型板的内侧设置有固定组件，两个所述靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧，所述连接轴转动连接在其中一个支架的一侧，所述背板转轴的一端与连接轴靠近背板的一端固定连接，所述连接轴的外侧设置有位移组件，所述位移组件用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架(1)、背板(2)、两个靶材(4)、连接轴(10)和两个L型板(5)，其特征在于：所述背板(2)转动连接在两个支架(1)之间，两个所述L型板(5)分别固定连接在背板(2)顶部与底部的两端，所述L型板(5)的内侧设置有固定组件，两个所述靶材(4)分别通过固定组件设置在背板(2)的两侧，所述连接轴(10)转动连接在其中一个支架(1)的一侧，所述背板(2)转轴的一端与连接轴(10)靠近背板(2)的一端固定连接，所述连接轴(10)的外侧设置有位移组件，所述位移组件用于固定背板(2)。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜靶材，其特征在于：所述位移组件包括滑槽(15)和两个卡槽(14)，所述滑槽(15)开设在连接轴(10)的顶部，两个所述卡槽(14)分别开设在其中一个支架(1)的一侧，所述滑槽(15)的内部固定连接有固定杆(16)，所述固定杆(16)的外侧滑动连接有卡块(17)，所述卡块(17)的底部与滑槽(15)内壁的底部滑动连接，所述卡块(17)的一侧延伸至卡槽(14)的内部。3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜靶材，其特征在于：所述位移组件还包括限位板(11)和位移板(13)，所述限位板(11)固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，王德苗，顾骏，顾为民，
申请(专利权)人：杭州比凡科电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：