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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜靶材,包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板,背板转动连接在两个支架之间,两个L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端,L型板的内侧设置有固定组件,两个靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧,连接轴转...该专利属于杭州比凡科电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州比凡科电子科技有限公司授权不得商用。
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