一种Low-E磁控溅射镀膜生产装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种Low

【技术实现步骤摘要】
一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置


[0001]本技术涉及一种镀膜生产装置，特别涉及一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，属于磁控溅射镀膜


技术介绍

[0002]Low
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E磁控溅射镀膜是将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池，磁控溅射制备法具有沉积速率高、基片温度低、成膜黏附性好、易控制、成本低、适合大面积制膜，其中申请号为“CN201820135335.8”的一种离线Low
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E镀膜玻璃生产线，能够通过对生产线合理布局与设计，达到适合大面积生产LowE镀膜玻璃的效果，本装置设计紧凑具有检测功能，能够保障产品质量，在进一步检索发现，申请号为“CN201711334377.0”的LOW
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E玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产，但是上述两种类型的Low
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E磁控溅射镀膜生产装置在使用时还存在一定的不足，不便于更好的对被加工物体上的镀膜剂进行多角度刮匀。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，以解决上述
技术介绍
中提出的不便于更好的对被加工物体上的镀膜剂进行多角度刮匀的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，包括密封箱，所述密封箱的顶端固定设有存料箱，所述存料箱底端的中部固定连通有连接管，所述连接管的底端与密封箱顶端的中部固定连通，所述密封箱顶端的一侧固定设有真空泵，所述真空泵的进口端固定连通有C形管，所述C形管的一端与密封箱一侧的顶部固定连通，所述密封箱顶端的另一侧固定设有温湿度计，所述温湿度计的探头固定设置在密封箱内壁顶端的另一侧，所述连接管的底端固定连通有出料喷头，所述密封箱内壁的一侧固定设有滑槽座，所述滑槽座内壁的一侧固定设有纵向电动液压缸，所述纵向电动液压缸的输出端固定连接有滑块，所述滑块滑动设置在滑槽座的内部，所述滑块的一侧固定设有横向电动液压缸，所述横向电动液压缸的输出端固定设有连接块，所述连接块的底端固定设有倒置电动液压缸，所述倒置电动液压缸的输出端固定设有潜水伺服电机，所述潜水伺服电机的输出轴固定套设有刮板，所述密封箱的底端设有底座组件。
[0005]优选的，所述底座组件包括矩形框和升降移动组件，所述矩形框设置在密封箱的底部，所述矩形框的两侧均滑动套设有U型框，两个所述U型框的顶端固定设有支撑板，所述升降移动组件设置在矩形框的顶端和底端。
[0006]优选的，所述升降移动组件包括四个支撑电动液压缸和四个支撑腿，所述支撑板底端的四角分别与相对应的支撑电动液压缸的尾端固定连接，所述矩形框顶端的四角分别与相对应的支撑电动液压缸的输出端固定连接，所述矩形框底端的四角分别与相对应的支
撑腿的顶端固定连接，四个所述支撑腿的底端均固定设有万向轮。
[0007]优选的，所述密封箱顶端的中部固定设有进料斗，所述进料斗的顶端螺纹套设有密封盖。
[0008]优选的，所述连接管的底部固定设有电磁阀，所述密封箱的两侧均固定嵌设有电热丝，所述密封箱的边侧通过两个铰链铰接有密封保温箱门。
[0009]优选的，所述密封保温箱门的顶部固定设有密封防爆观察窗，所述密封箱一侧的底部固定设有蓄电池，所述温湿度计与蓄电池电性连接。
[0010]优选的，所述密封箱的另一侧固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别设有真空泵控制开关、纵向电动液压缸控制开关、横向电动液压缸控制开关、倒置电动液压缸控制开关、潜水伺服电机控制开关、支撑电动液压缸控制开关和电热丝控制开关，所述真空泵通过真空泵控制开关与蓄电池电性连接，所述纵向电动液压缸通过纵向电动液压缸控制开关与蓄电池电性连接，所述横向电动液压缸通过横向电动液压缸控制开关与蓄电池电性连接，所述倒置电动液压缸通过倒置电动液压缸控制开关与蓄电池电性连接，所述潜水伺服电机通过潜水伺服电机控制开关与蓄电池电性连接，四个所述支撑电动液压缸均通过支撑电动液压缸控制开关与蓄电池电性连接，两个所述电磁阀均通过电磁阀控制开关与蓄电池电性连接，两个所述电热丝均通过电热丝控制开关与蓄电池电性连接。
[0011]与相关技术相比较，本技术提供的一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置具有如下有益效果：
[0012]1、通过控制设置的纵向电动液压缸的输出端伸缩调节带动滑块进行纵向位移，滑块纵向位移通过横向电动液压缸、连接块、倒置电动液压缸和潜水伺服电机带动刮板进行纵向位移，控制横向电动液压缸的输出端伸缩调节通过连接块、倒置电动液压缸和潜水伺服电机带动刮板进行横向位移，控制倒置电动液压缸的输出端伸缩调节通过潜水伺服电机带动刮板进行上下位移，控制潜水伺服电机的输出轴转动带动刮板进行角度调节，便于更好的对被加工物体上的镀膜剂进行多角度刮匀。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图2为本技术图1的A处放大结构示意图；
[0015]图3为本技术的剖面结构示意图；
[0016]图4为本技术图3的B处放大结构示意图。
[0017]图中：1、密封箱；2、存料箱；3、底座组件；31、矩形框；32、U型框；33、支撑板；4、连接管；5、真空泵；6、升降移动组件；61、支撑电动液压缸；62、支撑腿；63、万向轮；7、C形管；8、温湿度计；9、出料喷头；10、滑槽座；11、纵向电动液压缸；12、滑块；13、横向电动液压缸；14、连接块；15、倒置电动液压缸；16、潜水伺服电机；17、刮板；18、进料斗；19、密封盖；20、电磁阀；21、电热丝；22、密封保温箱门；23、密封防爆观察窗；24、蓄电池；25、开关面板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1：
[0020]请参阅图1
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4，本技术提供了一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，包括密封箱1，密封箱1的顶端固定设有存料箱2，存料箱2底端的中部固定连通有连接管4，连接管4的底端与密封箱1顶端的中部固定连通，密封箱1顶端的一侧固定设有真空泵5，真空泵5的进口端固定连通有C形管7，C形管7的一端与密封箱1一侧的顶部固定连通，密封箱1顶端的另一侧固定设有温湿度计8，温湿度计8的探头固定设置在密封箱1内壁顶端的另一侧，连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，包括密封箱(1)，其特征在于，所述密封箱(1)的顶端固定设有存料箱(2)，所述存料箱(2)底端的中部固定连通有连接管(4)，所述连接管(4)的底端与密封箱(1)顶端的中部固定连通，所述密封箱(1)顶端的一侧固定设有真空泵(5)，所述真空泵(5)的进口端固定连通有C形管(7)，所述C形管(7)的一端与密封箱(1)一侧的顶部固定连通，所述密封箱(1)顶端的另一侧固定设有温湿度计(8)，所述温湿度计(8)的探头固定设置在密封箱(1)内壁顶端的另一侧，所述连接管(4)的底端固定连通有出料喷头(9)，所述密封箱(1)内壁的一侧固定设有滑槽座(10)，所述滑槽座(10)内壁的一侧固定设有纵向电动液压缸(11)，所述纵向电动液压缸(11)的输出端固定连接有滑块(12)，所述滑块(12)滑动设置在滑槽座(10)的内部，所述滑块(12)的一侧固定设有横向电动液压缸(13)，所述横向电动液压缸(13)的输出端固定设有连接块(14)，所述连接块(14)的底端固定设有倒置电动液压缸(15)，所述倒置电动液压缸(15)的输出端固定设有潜水伺服电机(16)，所述潜水伺服电机(16)的输出轴固定套设有刮板(17)，所述密封箱(1)的底端设有底座组件(3)。2.根据权利要求1所述的一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，其特征在于：所述底座组件(3)包括矩形框(31)和升降移动组件(6)，所述矩形框(31)设置在密封箱(1)的底部，所述矩形框(31)的两侧均滑动套设有U型框(32)，两个所述U型框(32)的顶端固定设有支撑板(33)，所述升降移动组件(6)设置在矩形框(31)的顶端和底端。3.根据权利要求2所述的一种Low
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E磁控溅射镀膜生产装置，其特征在于：所述升降移动组件(6)包括四个支撑电动液压缸(61)和四个支撑腿(62)，所述支撑板(33)底端的四角分别与相对应的支撑电动液压缸(61)的尾端固定连接，所述矩形框(31)顶端的四角分别与相对应的支撑电动液压缸(61)的输出端固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王祥，
申请(专利权)人：安徽中凌玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：