一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备，包括反应腔体，所述反应腔体上方设有石英窗口，所述反应腔体上方和下方均设有若干安装孔，所述反应腔体上对称连接设有两个水平观察窗，所述反应腔体上连接设有斜观察口和测温窗口，所述斜观察口和测温窗口呈轴对称结构，所述反应腔体上方连接设有进气管，所述反应腔体内活动连接设有基片台，所述基片台上放置有衬底，所述基片台上连接设有屏蔽挡块，所述反应腔体下方设有取放料口，所述取放料口内连接设有门板挡块，所述反应腔体底部连接设有真空管。本实用新型专利技术与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、取料方便、生长均匀、观测方便。观测方便。观测方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备


[0001]本技术涉及金刚石生产
，具体是指一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备。

技术介绍

[0002]金刚石，俗称“金刚钻”，它是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，化学式为C，也是常见的钻石的原身，金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质，石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石，金刚石的用途非常广泛，例如：工艺品、工业中的切割工具，也是一种贵重宝石。
[0003]金刚石不仅可以作为一种具有收藏价值的宝石，由于具有高强度、高硬度、热膨胀系数小、高导热性、高化学稳定性和优越的透光性和半导体的特性，在不同的领域具有非常高的应用价值。当前人工合成金刚石的方法有直流电弧等离子体喷射法，高温高压法，热丝化学气相沉积法，微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)等，由于微波激发的等离子体易于控制、等离子体密度高和无电机污染等一系列优点，使得微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)成为合成金刚石的首选方法。
[0004]目前，现有微波等离子体反应腔采用开合腔室的方式取放料，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备，包括反应腔体(1)，其特征在于：所述反应腔体(1)上方设有石英窗口(2)，所述反应腔体(1)上方和下方均设有若干安装孔(3)，所述反应腔体(1)上对称连接设有两个水平观察窗(4)，所述反应腔体(1)上连接设有斜观察口(5)和测温窗口(6)，所述斜观察口(5)和测温窗口(6)呈轴对称结构，所述反应腔体(1)上方连接设有进气管(7)，所述反应腔体(1)内活动连接设有基片台(8)，所述基片台(8)上放置有衬底(9)，所述基片台(8)上连接设有屏蔽挡块(10)，所述反应腔体(1)下方设有取放料口(11)，所述取放料口(11)内连接设有门板挡块(12)，所述反应腔体(1)底部连接设有真空管(13)。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备，其特征在于：所述反应腔体(1)与水平观察窗(4)、斜观察口(5)、测温窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永超，张坤锋，张粉红，
申请(专利权)人：化合积电厦门半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：