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本实用新型公开了一种用于化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备，包括反应腔体，所述反应腔体上方设有石英窗口，所述反应腔体上方和下方均设有若干安装孔，所述反应腔体上对称连接设有两个水平观察窗，所述反应腔体上连接设有斜观察口和测温窗口，所述斜观...
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