一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备及生长工艺制造技术

本发明专利技术属于气相沉积金刚石涂层技术领域，特别涉及C23C16/54领域，具体涉及一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备。本发明专利技术提供了一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，包括钟罩和底板，所述钟罩设置为底部开孔的空心腔体结构，所述底板与所述钟罩配合设置，所述钟罩为可升降结构；能够实现在复杂形状硬质合金基体表面沉积高质量大面积金刚石薄膜，本设备可以同时沉积大批量经过预处理的硬质合金刀具作为底材，获取具有一定沉积厚度和质量均匀、耐磨损性能优异的金刚石涂层，大幅度提高硬质合金刀具的使用寿命和可靠性。硬质合金刀具的使用寿命和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备及生长工艺


[0001]本专利技术属于气相沉积金刚石涂层
，特别涉及C23C16/54领域，具体涉及一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备及生长工艺。

技术介绍

[0002]自从20世纪60年代以来，经过近半个世纪的发展，刀具表面涂层技术已经成为提升刀具性能的主要方法。刀具表面涂层，主要通过提高刀具表面硬度，热稳定性，降低摩擦系数等方法来提升切削速度，提高进给速度，从而提高切削效率，并大幅提升刀具寿命。
[0003]公开号为CN111349906A的中国专利公开了一种热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备，该专利技术设置的热丝承载架可以方便金属热丝的更换操作，并且水雾发射器可以对装置外体进行快速降温，提高了效率。
[0004]与上述专利类似，目前的金刚石薄膜沉积设备还存在以下可以改进的空间：(1)同时沉积大批量刀具；(2)沉积厚度和质量更加均匀；(3)提升金刚石涂层的耐磨损性能；(4)大幅度提高硬质合金刀具的使用寿命。

技术实现思路

[0005]针对上述问题，本专利技术提供了一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，其特征在于，包括钟罩(1)和底板(2)，所述钟罩(1)设置为底部开孔的空心腔体结构，所述底板(2)与所述钟罩(1)配合设置，所述底板(2)设置在所述钟罩(1)的底部开口处；所述钟罩(1)为可升降结构。2.根据权利要求1所述的硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，其特征在于，所述钟罩(1)的内部空间内设置有工作台(3)，所述工作台(3)内设置有配重式拉丝机构、整体拉丝机构、弹簧拉丝机构；所述钟罩(1)侧壁设置有石英观察窗(11)，所述石英观察窗(11)的朝向指向斜上方；所述底板(2)上设置有冷却水通道、气体入口、气体出口。3.根据权利要求2所述的硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，其特征在于，所述钟罩(1)和所述底板(2)之间设置有第一升降机构(4)，所述第一升降机构(4)在竖直方向带动所述钟罩(1)和所述底板(2)的开启和关闭；所述第一升降机构(4)的形成设置为300～500毫米；所述工作台(3)上设置有第二升降机构，所述第二升降机构在竖直方向上带动所述工作台(3)的移动。4.根据权利要求2或3所述的硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，其特征在于，还包括骨架(5)，所述骨架(5)采用方钢制作，所述钟罩(1)和所述底板(2)与所述骨架(5)连接；还包括控制系统，所述控制系统包括气体控制模块、电气控制模块、热丝加热控制模块、压力控制模块。5.根据权利要求4所述的硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，其特征在于，所述控制系统采用PLC进行逻辑控制；所述热丝加热控制模块采用热电偶和钽丝进行加热；所述热丝加热系统还包括设置在所述工作台(3)内的弹片式热丝装夹装置，弹簧式热丝装夹装置；所述压力控...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金朋，袁强，景晓妮，韩斌，林思莹，姜伟，霍瑞豪，
申请(专利权)人：上海东贝真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：