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本发明属于气相沉积金刚石涂层技术领域，特别涉及C23C16/54领域，具体涉及一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备。本发明提供了一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，包括钟罩和底板，所述钟罩设置为底部开孔的空心腔体结构，所述底板与所述钟...
该专利属于上海东贝真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海东贝真空设备有限公司授权不得商用。

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