一种砷化镓外延衬底的回收方法技术

本发明专利技术公开了一种砷化镓外延衬底的回收方法，涉及光伏技术领域，旨在解决现有技术中，衬底厚度会随打磨处理而逐渐减薄，直至不适合重复利用，成为废料的问题。其技术方案要点是包括步骤：将两片砷化镓衬底的任一面同时进行表面抛光处理，处理后使用去离子水清洗；将上述处理后的两片砷化镓衬底移入甲醛溶液进行保护，同时，使两片衬底的抛光面接触并对准贴合；将贴合的衬底经过高纯氮气进行吹干，装入衬底卡槽并移入退火炉进行高温退火；退火结束后，对衬底进行降温处理，直到温度降低至50℃后，取出衬底，完成回收。本发明专利技术通过键合两个砷化镓衬底，延长其循环使用次数，达到了减少砷化镓固废处理量和控制生产成本的效果。化镓固废处理量和控制生产成本的效果。化镓固废处理量和控制生产成本的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓外延衬底的回收方法


[0001]本专利技术涉及光伏
，尤其是涉及一种砷化镓外延衬底的回收方法。

技术介绍

[0002]砷化镓柔性电池的制备通常是在砷化镓衬底上外延电池层，然后通过刻蚀的方式将外延层剥离下来，从而获得柔性可弯曲的电池。同时，刻蚀分离后的衬底经过表面打磨处理重新进入外延生长流程，凭借这种方式，降低了砷化镓柔性电池的原材料成本。但是，当前的表面打磨处理会逐渐将衬底减薄，当衬底厚度减薄到一定厚度时，其整体机械性能会明显下降，在工艺处理过程中易发生碎片现象。此时的衬底由于已不再适合重复利用，进而流入固废处理的环节，这些衬底如果不作回收利用，生产成本无法控制，并且砷化镓固废处理量较大，也会加大废料处理的投入，不利于产量化生产，该问题有待解决。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种砷化镓外延衬底的回收方法，令产线晶片固废量显著减少，控制生产和废物处理成本。
[0004]本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种砷化镓外延衬底的回收方法，包括以下步骤：步骤1、将两片砷化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种砷化镓外延衬底的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将两片砷化镓衬底的任一面同时进行表面抛光处理，处理后使用去离子水清洗；步骤2、将步骤1处理后的两片砷化镓衬底移入甲醛溶液进行保护，同时，使两片衬底的抛光面接触并对准贴合；步骤3、将贴合的衬底经过高纯氮气进行吹干，装入衬底卡槽并移入退火炉进行高温退火；步骤4、退火结束后，对衬底进行降温处理，直到温度降低至50℃后，取出衬底，完成回收。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓外延衬底的回收方法，其特征在于：在步骤1中，抛光处理后的砷化镓衬底表面平整度小于15μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：张英，
申请(专利权)人：南京中科河途智能物联网科技研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：