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本发明公开了一种砷化镓外延衬底的回收方法，涉及光伏技术领域，旨在解决现有技术中，衬底厚度会随打磨处理而逐渐减薄，直至不适合重复利用，成为废料的问题。其技术方案要点是包括步骤：将两片砷化镓衬底的任一面同时进行表面抛光处理，处理后使用去离子水清...
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