一种硅片排片自动上下料机构制造技术

本实用新型专利技术涉及自动化机械设备技术领域，具体为一种硅片排片自动上下料机构，包括外框架组件，所述外框架组件的一侧设置有纵向移栽组件，所述纵向移栽组件侧方设置有横向移栽组件，所述横向移栽组件表面设置有抬升组件，所述外框架组件下方框架内安装有二次定位组件,所述二次定位组件的两侧对称安装有料框上料组件。该种硅片排片自动上下料机构，通过设置移栽组件和抬升组件，从而达到解决人工劳动强度大的问题，通过设置二次定位组件和料框上料组件，从而解决工作效率低的问题。从而解决工作效率低的问题。从而解决工作效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片排片自动上下料机构


[0001]本技术涉及自动化机械设备
，具体为一种硅片排片自动上下料机构。

技术介绍

[0002]传统的硅片排片上料方式，采用人工从工装车上取出约20公斤的料框，人工操作清洗机自动对接，完成上下料操作。劳动强度大，每个人负责几台清洗机上料，清洗机同时运行时，人工不能及时更换料框，效率较低。鉴于此，我们专利技术一种硅片排片自动上下料机构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片排片自动上下料机构，以解决上述
技术介绍
中提出的生产过程中存在人工劳动强度大，人工多，工作效率低的需求的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片排片自动上下料机构，包括外框架组件，所述外框架组件的一侧设置有纵向移载组件，所述纵向移载组件侧方设置有横向移载组件，所述横向移载组件表面设置有抬升组件，所述外框架组件下方框架内安装有二次定位组件,所述二次定位组件的两侧对称安装有料框上料组件。
[0005]优选的，所述外框架组件由第一齿条和方通焊接架连接组成。
[0006]优选的，所述纵向移动组件固定于外框架两端，包含固定安装的导轨，所述导轨上表面设置有第二齿条，所述导轨右上方移动安装齿轮，所述齿轮做上侧安装纵向伺服电机。
[0007]优选的，所述横向移动组件滑动安装在纵向移动组件表面，包含顶端的抬升伺服电机，所述抬升伺服电机左下侧安装了横向伺服电机，所述横向伺服电机正对面设置了视觉高清相机。
[0008]优选的，所述抬升组件结合连接在横向移动组件上，包含视觉光源，所述视觉光源下方设置安装夹具旋转气缸,所述夹具旋转气缸下方设置了夹具夹紧气缸，所述夹具夹紧气缸下方安装夹具。
[0009]优选的，所述二次定位组件固定安装于外框架下方框架上，所述框架上表面3侧固定安装定位侧板及移动安装可调节定位板，所述可调节定位板右侧移动安装90度直角定位块，所述90度直角定位块上方设置有二次定位气缸。
[0010]优选的，所述料框上料组件对称安装于二次定位组件两侧，包含底部料框，所述料框右侧滑动安装限位块，所述限位块上方连接连杆，所述连杆顶端设置有连杆机构推动气缸。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种硅片排片自动上下料机构，通过设置移载组件和抬升组件，从而达到解决人工劳动强度大的问题，通过设置二次定位组件和料框上料组件，从而解决工作效率低的问题。
[0012]1、通过设置纵向移载组件，在外框架纵向行走，横向移载组件在纵向移载组件上
运动，再通过抬升组件实现料框在三轴方向上实现相应的位移，最终通抬升组件夹具将料框从工装车中抓取，实现自动化，减少人工，可以一定程度上解决人工下料劳动强度大的问题。
[0013]2、通过设置二次定位组件，将料框放入精确定位，通过纵向移载组件、横向移载组件、抬升组件将料框放置料框上料组件，由料框上料组件实现自动上料与清洗机对接，待料框上料组件上的硅片消耗完后，再将料框取走放置原来的位置，实现自动下料动作，可以一定程度上解决人工下料劳动强度及效率低的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构正等轴测图；
[0015]图2为本技术中外框架组件的结构正等轴测图；
[0016]图3为本技术中纵向移载组件的结构正等轴测图；
[0017]图4为本技术中横向移载组件的结构正等轴测图；
[0018]图5为本技术中抬升组件的结构正等轴测图。
[0019]图6为本技术中二次定位组件的结构正等轴测图；
[0020]图7为本技术中料框上料组件的结构正等轴测图。
[0021]图中：1、外框架组件；2、纵向移载组件；3、横向移载组件；4、抬升组件；5、二次定位组件；6、料框上料组件；7、第一齿条；8、方通焊接架；9、纵向伺服电机；10、齿轮；11、导轨；12、第二齿条；13、抬升伺服电机；14、横向伺服电机；15、视觉高清相机；16、视觉光源；17、夹具旋转气缸；18、夹具夹紧气缸；19、夹具；20、框架；21、定位侧板；22、
[0022]可调节定位板；23、90度直角定位块；24、二次定位气缸；25、连杆机构推动气缸；26、连杆；27、限位块；28、料框。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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7，本技术提供的一种实施例：
[0025]一种硅片排片自动上下料机构，外框架组件(1)一侧设置有纵向移载组件(2)，所述纵向移载组件(2)侧方设置有横向移载组件(3)，所述横向移载组件(3)表面设置有抬升组件(4)，所述外框架组件(1)下方框架并列安装有二次定位组件(5),所述二次定位组件(5)的两侧对称安装有料框上料组件(6)；
[0026]进一步的，外框架组件(1)由第一齿条(7)和方通焊接架(8)连接组成，是整个机构的主要承重部件。
[0027]进一步的，纵向移载组件(2)固定于外框架(1)两端，包含固定安装的导轨(11)，导轨(11)上表面设置有第二齿条(12)，导轨(11)右上方移动安装齿轮(10)，齿轮(10)左上侧安装纵向伺服电机(9)，纵向伺服电机(9)驱动齿轮(10)，在外框架(1)中的第一齿条(7)上平稳行走，使其实现纵向方向的位移，导轨(11)和第二齿条(12)为横向移载组件(3)提供平
稳可行走的轨道。
[0028]进一步的，横向移载组件(3)滑动安装在纵向移载组件(2)表面，包含顶端设置的抬升伺服电机(13)，抬升伺服电机(13)左下侧安装了横向伺服电机(14)，横向伺服电机(14)正对面设置了视觉高清相机(15)，通过移动横向伺服电机(14)，实现横向方向的位移，通过视觉高清相机(15)来确定具体位置。
[0029]进一步的，抬升组件(4)连接在横向移动组件(3)上，视觉光源(16)与视觉高清相机(15)对料框进行高精度定位，视觉光源(16)下方设置夹具旋转气缸(17),通过夹具旋转气缸(17)配合下方安装的夹具夹紧气缸(18)，夹具夹紧气缸(18)下方安装的夹具(19)对料框的精准抓取。
[0030]进一步的，二次定位组件(5)固定安装于外框架(1)下方框架(20)上，框架(20)上表面3侧固定安装定位侧板(21)及移动安装可调节定位板(22)，可调节定位板(22)右侧移动安装90度直角定位块(23)，90度直角定位块(23)上方设置有二次定位气缸(24)。通过二次定位气缸(24)带动90度直角定位块(23)动作，使料框运动，再通过移动可调节定位板(22)及固定的3块定位侧板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片排片自动上下料机构，包括外框架组件(1)，其特征在于：所述外框架组件(1)一侧设置有纵向移载组件(2)，所述纵向移载组件(2)侧方移动设置有横向移载组件(3)，所述横向移载组件(3)表面安装有抬升组件(4)，所述外框架组件(1)下方框架水槽内并列安装有二次定位组件(5),所述二次定位组件(5)的两侧对称安装料框上料组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片排片自动上下料机构，其特征在于：所述外框架组件(1)由第一齿条(7)和方通焊接架(8)固定连接组成。3.根据权利要求1所述的一种硅片排片自动上下料机构，其特征在于：所述纵向移载组件(2)固定于外框架组件(1)两端，包含固定安装的导轨(11)，所述导轨(11)上表面设置有第二齿条(12)，所述导轨(11)右上方移动安装齿轮(10)，所述齿轮(10)左上侧滑动安装纵向伺服电机(9)。4.根据权利要求1所述的一种硅片排片自动上下料机构，其特征在于：所述横向移载组件(3)滑动安装在纵向移载组件(2)表面，包含顶端设置的抬升伺服电机(13)，所述抬升伺服电机(13)左下侧移动设置了横向伺服电机(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：易厚诚，吴志平，
申请(专利权)人：珠海市枫杨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：