用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法技术

本申请公开了一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法，属于太阳能电池制备技术领域。一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法，所述方法包括：对硅片进行前清洗；对前清洗后的硅片进行吸杂，以去除硅片内部的金属杂质；其中，所述前清洗包括：对硅片进行至少一次清洗；对至少一次清洗后的硅片进行干燥；对干燥后的硅片进行臭氧氧化处理，以使硅片的表面具有亲水性质的界面。本申请可以解决当前对于硅片的吸杂前清洗处理不利于提高吸杂工序涂布的均匀性的问题，通过更适宜的吸杂前清洗方式，提高吸杂工艺涂布的均匀性、沉积速率以及覆盖度，提升吸杂效果，更有效地改善硅片质量，降低方块电阻。降低方块电阻。降低方块电阻。

【技术实现步骤摘要】
用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法


[0001]本申请属于太阳能电池制备
，具体涉及一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法及制备太阳能电池的方法。

技术介绍

[0002]HJT(silicon heterojunction)硅基异质结电池因其工艺制程简洁、较低的工艺温度、较高的光电转换效率、易薄片化、无PID等优点已成为目前主要的高效电池发展方向，已得到了大规模的发展。在太阳能电池比如HJT电池的制备过程中，为了改善硅片质量对电池效率的影响，制备更加高效的太阳能电池，需要在制绒清洗前增加吸杂设备，也即，需要先进行吸杂处理，而后再依次进行制绒清洗、非晶硅/微晶氧化硅薄膜等工序。经研究表明，通过对硅片经过吸杂处理与不经过吸杂处理的工艺相比，吸杂后的硅片最终制得的电池的转换效率可以提高约0.1％左右。
[0003]相关技术中，为了提高吸杂效果，在对硅片进行吸杂处理前，还需要对硅片进行清洗或预处理，吸杂前的清洗对于硅片表面的洁净度与吸杂中磷浆涂布的均匀性起到了关键的决定性作用。若吸杂前的清洗效果不好，则容易出现涂磷不均匀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法，其特征在于，所述方法包括：对硅片进行前清洗；对前清洗后的硅片进行吸杂，以去除硅片内部的金属杂质；其中，所述前清洗包括：对硅片进行至少一次清洗；对至少一次清洗后的硅片进行干燥；对干燥后的硅片进行臭氧氧化处理，以使硅片的表面具有亲水性质的界面。2.根据权利要求1所述的用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法，其特征在于，所述臭氧氧化处理的步骤中，采用臭氧设备进行处理，所述臭氧设备中设有紫外光源，以使O2在所述紫外光源的照射下转化为O3；和/或，所述紫外光源的工作电压为5V
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60V，功率为15W
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500W，处理时间为50s
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720s。3.根据权利要求1所述的用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法，其特征在于，所述臭氧氧化处理的步骤中，采用臭氧设备进行处理，所述臭氧设备中设有臭氧发生器和两个臭氧喷淋板，两个所述臭氧喷淋板通过管路连接所述臭氧发生器，所述硅片置于两个所述臭氧喷淋板之间；和/或，输送至所述臭氧喷淋板的臭氧浓度为20ppm
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500ppm，臭氧流量为2L/min
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6L/min，处理时间为100s
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800s。4.根据权利要求1所述的用于制备太阳能电池的硅片吸杂方法，其特征在于，所述臭氧氧化处理的步骤中，采用臭氧设备和溶解设备进行处理，所述臭氧设备中设有气体组件和高压电路组件，所述气体组件连接所述高压电路组件，由所述高压电路组件产生高压电场，对所供给的气体中的氧气进行分解以产生臭氧；所述臭氧设备连接所述溶解设备，以使所述臭氧设备供给的臭氧和所述溶解设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：王毅，陈贤刚，汤超，樊佳炜，龚庆，
申请(专利权)人：江苏启威星装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：