【技术实现步骤摘要】
生成工艺流程的方法、存储介质及电子设备
[0001]本申请属于半导体工艺
,具体涉及一种生成工艺流程的方法、存储介质及电子设备。
技术介绍
[0002]目前在半导体加工领域,尤其是光伏行业,通常使用槽式湿法清洗,通常槽式清洗机通过机械手将花篮在各个槽体中搬运,来控制工艺流程。
[0003]槽式清洗机的工艺流程的设定,一般先是由需求方提交工艺流程需求,然后按照需求设计功能,再由电气人员进行调试,最后交付给需求方,由需求方进行验收。但需求方在验收或后续使用过程中不一定会用之前设计的工艺流程,很有可能做出改变,但在改变工艺流程之后,需要电气人员重新对工艺流程进行调试,降低了验收效率,进而延长了槽式清洗机的交付,在后续使用过程中也带来诸多不便。
技术实现思路
[0004]鉴于存在的上述问题,本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本专利技术提供一种生成工艺流程的方法、存储介质及电子设备,主要用于缓解当前槽式清洗工艺流程无法灵活调整的问题。
[0005]根据本公开的一个方 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种生成工艺流程的方法,应用于槽式清洗机,所述槽式清洗机包括多个槽体,每个所述槽体具有对应的工艺,其特征在于,所述方法包括:接收用户给出的初始编码串,所述初始编码串由多位编码构成,每位所述编码对应一个所述槽体;根据多个所述编码及其在所述初始编码串中的顺序,判断所述初始编码串是否符合预设标准;若符合,则根据所述初始编码串生成最终编码串;若不符合,则发出修改初始编码串的提醒,以使所述用户做出修改,并返回至所述接收用户给出的初始编码串的步骤。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据多个所述编码及其在所述初始编码串中的顺序,判断所述初始编码串是否符合预设标准的步骤,包括:判断所述初始编码串中首位置编码值是否为第一预设值,且其他位置编码值与末尾编码值是否相同,其中首位置编码对应上料台,末位置编码对应下料台;若是,输出错误提示信息;若否,继续判断所述初始编码串中除首末位置外,其他位置是否存在连续相同的两个编码值;若是,输出错误提示信息;若否,继续判断所述初始编码串中编码值的个数是否小于第二预设值;若是,使用特殊编码在所述初始编码串尾端继续填充所述初始编码串使其编码值个数等于所述第二预设值,并将填充后的编码串作为最终编码串;若否,将所述初始编码串作为最终编码串。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,按照所述最终编码串中所述编码的顺序自动生成工艺流程,包括:设置通行参数,所述通行参数用于表示相邻槽体之间的通行状态,所述通行状态包括开放、禁用和可变;判断所述最终编码串中是否有重复的编码值;若否,在工艺流程中设置所有通行参数为开放状态,允许多台运行设备同时运行所述工艺流程;若是,设置所有通行参数为可变状态且默认为禁用状态,同...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋红杰,龚庆,冯素刚,徐小刚,
申请(专利权)人:江苏启威星装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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