【技术实现步骤摘要】
一种能够保护轴封的化学气相沉积反应器
[0001]本技术属于化学气相沉积反应器
，具体涉及一种能够保护轴封的化学气相沉积反应器。
技术介绍
[0002]化学气相沉积反应需要高温气相的反应环境，所以对于使用的反应器具有较高的保温要求。而目前大部分化学气相沉积反应器的内部都具有搅拌装置，以促进反应器内部的传质和传热，提高反应效率。搅拌装置的驱动电机普遍安装在反应器的外部，避免高温和气相沉积的固体影响驱动电机的正常工作。搅拌桨需要穿过反应器器壁进入反应器内部，而搅拌桨在穿过反应器器壁的位置设置轴封，保证反应器密闭的同时，也能保证搅拌桨自由转动。
[0003]然而，轴封处要承受高温、密封和转动的考验，需要经常更换轴封，影响生产进度。本技术要解决的技术问题是目前轴封处温度较高而导致轴封易老化的问题。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种能够保护轴封的化学气相沉积反应器，由下至上包括反应区、扩大散热区、隔热区和密封法兰，所述反应区和隔热区的横截面积均小于扩大散热区的横截面积，所述密封法兰的横截面积不小于隔热
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够保护轴封的化学气相沉积反应器，其特征在于，由下至上包括反应区、扩大散热区、隔热区和密封法兰，所述反应区和隔热区的横截面积均小于扩大散热区的横截面积，所述密封法兰的横截面积不小于隔热区的横截面积；搅拌装置的电机设在密封法兰的上方，电机连接的搅拌桨依次贯穿密封法兰、隔热区和扩大散热区，进入反应区，用于搅拌反应区内的物料；搅拌桨在贯穿密封法兰的位置设有轴封。2.根据权利要求1所述的能够保护轴封的化学气相沉积反应器，其特征在于，所述密封法兰的上方且在电机的下方设有冷却夹层，冷却夹层设有介质进口和介质出口，用于通入冷却介质；搅拌桨贯穿冷却夹层。3.根据权利要求1所述的能够保护轴封的化学气相沉积反应器，其特征在于，所述隔热区内装填有隔热材料，所述隔热材料选自保温棉、耐火砖、高铝砖中的一种或几种。4.根据权利要求3所述的能够保护轴封的化学气相沉积反应器，其特征在于，所述...
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