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本实用新型涉及一种能够保护轴封的化学气相沉积反应器，由下至上包括反应区、扩大散热区、隔热区和密封法兰，所述反应区和隔热区的横截面积均小于扩大散热区的横截面积，所述密封法兰的横截面积不小于隔热区的横截面积；搅拌装置的电机设在密封法兰的上方，电...
该专利属于赵社涛所有，仅供学习研究参考，未经过赵社涛授权不得商用。

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