微镜器件及光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术的微镜器件具有第1支承部(21)，第1支承部(21)在位于包含反射镜部(20)静止时的反射面的平面内的第1轴(a1)上与反射镜部(20)连接，且将反射镜部(20)支承为能够绕第1轴(a1)摆动。第1支承部(21)由沿第1轴(a1)延伸的主轴(21A)及隔着第1轴(a1)对称地配置于主轴(21a)的两侧且沿第1轴(a1)延伸的多个副轴(60A、60B、60C)构成，第1支承部(21)具备折叠结构，该折叠结构具有通过多个副轴(60A、60B、60C)连接而形成的三个以上的折叠部(61、62、63)，当设折叠部(61、62、63)内侧的曲率半径从离第1轴(a1)近的一侧起依次为R1、R2、R3……

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微镜器件及光扫描装置


[0001]本专利技术的技术涉及微镜器件及光扫描装置。

技术介绍

[0002]作为使用硅(Si)的细微加工技术来制作的微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems：MEMS)器件之一已知有微镜器件(也被称为微型扫描仪。)。该微镜器件为小型且低耗电量，因此可期待对激光显示器、激光投影仪、光学相干断层扫描仪等的广泛应用。
[0003]微镜器件的驱动方式有多种方式，但利用了压电体变形的压电驱动方式与其他方式相比所产生的扭矩高且获得高扫描角而被认为很有前途。尤其，当如激光显示器需要大的扫描角时，通过以谐振驱动来驱动压电驱动方式的微镜器件，获得更高的扫描角。
[0004]激光显示器中所使用的常规的微镜器件具备反射镜部及压电方式的致动器(例如，参考日本特开2017
‑
132281号公报)。反射镜部绕彼此正交的第1轴及第2轴摆动自如。致动器根据从外部供给的驱动电压，使反射镜部绕第1轴及第2轴摆动。上述扫描角与反射镜部的偏转角的最大值(以下，称为最大偏转角。)对应。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微镜器件，其具备：反射镜部，其具有反射入射光的反射面；第1支承部，其在位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内的第1轴上与所述反射镜部连接，且将所述反射镜部支承为能够绕所述第1轴摆动；一对可动框，其与所述第1支承部连接，并且隔着所述第1轴对置；第2支承部，其在位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内且与所述第1轴正交的第2轴上与所述可动框连接，且将所述反射镜部、所述第1支承部及所述可动框支承为能够绕所述第2轴摆动；以及一对第1致动器，其与所述第2支承部连接，并且隔着所述第2轴对置，所述第1致动器具有压电元件，所述微镜器件中，所述第1支承部由沿所述第1轴延伸的主轴及隔着所述第1轴对称地配置于所述主轴的两侧且沿所述第1轴延伸的多个副轴构成，所述第1支承部具备折叠结构，该折叠结构具有通过所述多个副轴连接而形成的三个以上的折叠部，当设所述折叠部内侧的曲率半径从离所述第1轴近的一侧起依次为R1、R2、R3……
时，满足0.73≤R
k+1
/R
k
≤0.9的关系，其中k＝1、2、
……
。2.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，所述主轴及所述多个副轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：青岛圭佑，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：