光扫描装置及微镜器件的驱动方法制造方法及图纸

微镜器件具有如下特性：当将绕第1轴的共振频率设为f1，且将绕第2轴的共振频率设为f2时，满足f1＜f2的关系，当绕第1轴及绕第2轴同时驱动了反射镜部时，绕第1轴的共振频率从f1变化Δf。通过对第1致动器及第2致动器分别施加具有满足f1‑

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描装置及微镜器件的驱动方法


[0001]本专利技术的技术涉及一种光扫描装置及微镜器件的驱动方法。

技术介绍

[0002]作为使用硅(Si)的细微加工技术制作的微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems：MEMS)器件之一已知有微镜器件(也被称为微型扫描仪。)。微镜器件由设置于光扫描装置的驱动控制部驱动。驱动控制部通过驱动微镜器件的反射镜部，使由反射镜部反射的光束对对象物进行二维扫描。
[0003]由微镜器件进行的光扫描方式与以往的由多角反射镜进行的光扫描方式相比，在小型、轻量且低耗电量等点上优异。因此，微镜器件对LiDAR(Light Detection and Ranging：激光雷达)装置或扫描光束显示器等的适用受到关注。
[0004]在微镜器件的驱动方式中有静电驱动方式、电磁驱动方式或压电驱动方式等。压电驱动方式的扭矩大，另一方面，器件结构及驱动电路简单，因此小型且扫描角度大。并且，微镜器件以由质量、结构及弹簧常数确定的固有振动频率产生共振。通过以共振频率来驱动微镜器件，可获得更大的扫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描装置，其具备：微镜器件，其具备：反射镜部，其具有反射入射光的反射面；第1支承部，其将所述反射镜部支承为能够绕第1轴摆动，所述第1轴位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内；第1致动器，其经由所述第1支承部与所述反射镜部连接，且使所述反射镜部绕所述第1轴摆动；第2支承部，其将所述反射镜部支承为能够绕第2轴摆动，所述第2轴在所述平面内与所述第1轴正交；及第2致动器，其经由所述第2支承部与所述第1致动器连接，且使所述反射镜部绕所述第2轴摆动；及处理器，其通过对所述第1致动器及所述第2致动器分别施加具有相同的驱动频率的第1驱动信号及第2驱动信号，使所述反射镜部进行岁差运动，在所述光扫描装置中，所述微镜器件具有如下特性：设绕所述第1轴的共振频率为f1，且设绕所述第2轴的共振频率为f2时，满足f1＜f2的关系，在绕所述第1轴及绕所述第2轴同时驱动了所述反射镜部的情况下，绕所述第1轴的共振频率从f1变化Δf，设所述驱动频率为f
d
时，满足f1‑
Δf＜f
d
的关系。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，满足f1‑
Δf＜f
d
＜f2的关系。3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其中，满足Δf＞0的关系。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光扫描装置，其中，满足f1‑
Δf＜f2＜1.008(f1‑
Δf)的关系。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：西浦洋辅，直野崇幸，青岛圭佑，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：