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光扫描装置及微镜器件的驱动方法制造方法及图纸
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下载光扫描装置及微镜器件的驱动方法的技术资料
文档序号：37302630
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微镜器件具有如下特性：当将绕第1轴的共振频率设为f1，且将绕第2轴的共振频率设为f2时，满足f1＜f2的关系，当绕第1轴及绕第2轴同时驱动了反射镜部时，绕第1轴的共振频率从f1变化Δf。通过对第1致动器及第2致动器分别施加具有满足f1‑
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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