超高速光学扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超高速光学扫描装置，包括X轴反射装置和Y轴反射装置，X轴反射装置和Y轴反射装置均包括单晶体和壳体，单晶体的正极端通过绝缘连接件与壳体固定连接，单晶体的负极端与壳体固定连接，单晶体的正极端与高频电源的高频正极相连接，单晶体的负极端与高频电源的高频负极相连接，单晶体的表面设有能够反射光线的形变膜体。本发明专利技术的单晶体的表面上的形变膜体在单晶体通入高频电流后会发生形变，从而通过形变来改变照射在其表面的光线的反射方向，与传统的电机驱动振镜摆动来改变照射在其表面的光线路径的方式相比具有无需设置电机、结构更加简单、没有延迟以及可实现超高速的优点。速的优点。速的优点。

【技术实现步骤摘要】
超高速光学扫描装置


[0001]本专利技术涉及光学设备的
，更具体地说，是涉及一种超高速光学扫描装置。

技术介绍

[0002]现有的激光设备存在以下不足：一般通过X轴电机和Y轴电机分别带动X轴振镜、Y轴振镜摆动，以改变激光的路径，但是X轴振镜、Y轴振镜是平面镜，X轴电机和Y轴电机需要来回正转和反转，从而带动振镜实现往复摆动，但是电机的正反转切换具有一定的延迟，导致振镜的正反来回摆动需要一段时间，扫描速度受电机往复运动的频率和速度限制，这样会降低激光设备的工作效率

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种可通过膜体形变改变照射在其表面的光线的路径、没有延迟、可实现超高速的超高速光学扫描装置。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种超高速光学扫描装置，包括X轴反射装置和Y轴反射装置，所述X轴反射装置和Y轴反射装置均包括单晶体和壳体，所述X轴反射装置与Y轴反射装置能够互相配合反射光线，所述单晶体的正极端通过绝缘连接件与壳体固定连接并与壳体相隔离，所述单晶体的负极端与壳体固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高速光学扫描装置，其特征在于：包括X轴反射装置(7)和Y轴反射装置(8)，所述X轴反射装置(7)与Y轴反射装置(8)能够互相配合反射光线，所述X轴反射装置(7)和Y轴反射装置(8)均包括单晶体(1)和壳体(2)，所述单晶体(1)的正极端通过绝缘连接件(3)与壳体(2)固定连接并与壳体(2)相隔离，所述单晶体(1)的负极端与壳体(2)固定连接并与壳体(2)相接触，所述单晶体(1)的正极端与高频电源(4)的高频正极相连接，所述单晶体(1)的负极端与高频电源(4)的高频负极相连接，所述单晶体(1)的表面设有能够反射光线的形变膜体(5)，在单晶体(1)通入高频电流后，所述单晶体(1)表面上的形变膜体(5)能够发生形变，从而通过形变来改变照射在其表面的光线的反射方向。2.根据权利要求1所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述形变膜体(5)包括介质膜层(51)、沉积膜层(52)和增透膜层(53)，所述沉积膜层(52)连接于介质膜层(51)表面，所述增透膜层(53)连接于沉积膜层(52)的表面。3.根据权利要求2所述的超高速光学扫描装置，其特征在于：所述介质膜层(51)设置为镀铬介质膜。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕继强，
申请(专利权)人：东莞市迈创机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：