一种承载装置和微扫描超分辨率系统制造方法及图纸

技术编号:37164557 阅读:19 留言:0更新日期:2023-04-20 22:37
本发明专利技术实施例提供的一种承载装置,包括基座、过渡框架、用于安装载荷的运动框架、柔性连接组件、音圈电机、距离检测组件、限位组件,通过采用柔性支撑结构,有效的保证了运动框架的二维水平运动,减少了其他方向的耦合运动,Z轴寄生运动小。由于采用柔性结构,自身变形刚度小,驱动运动框架的运动减小了电机驱动力,增加了系统的带宽。通过音圈电机方式驱动,驱动电压低,功耗小,灵敏度更高。本装置形式简单,结构紧凑,节省成本,承载能力大。本发明专利技术实施例中提供的微扫描超分辨率系统,可在大行程条件下高频工作,采用柔性结构实现二自由度平移,具有驱动电压低,功耗小,灵敏度高,形式简单,结构紧凑,节省成本,承载能力大等优点。承载能力大等优点。承载能力大等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种承载装置和微扫描超分辨率系统


[0001]本专利技术涉及光学领域,特别涉及一种承载装置和微扫描超分辨率系统。

技术介绍

[0002]图像超分辨可以实现更加的成像效果。对于传统超分辨重建,获得稳定的相位差异是关键。目前,实现微扫描超分辨技术的方法有两种:图像法与光学法。图像微扫描超分辨技术是通过在不同时间点拍摄同一个目标,依次获得具有半像素相位差异的多幅图片,从而进行超分辨处理。光学微扫描超分辨技术区别于图像法采用多帧累加的方法,只需要通过高频扫描光学元件,进而实现超分辨。具体原理是将光学系统内部透镜/探测器固定到微扫描组件上,在探测器曝光的间歇期快速移动光学透镜,使探测器输出的前后两帧图像存在亚像素偏差,进而然后使用超分辨重建算法,将低分辨率图像序列处理成高分辨率图像。因此体积重量小、易于实现等优点,更利于小型化、降低成本。
[0003]微扫描超分辨装置是实现光学法的关键装置,已经应用于航空航天光学载荷中。现有微扫描超分辨装置通常采用压电堆叠的方式实现位移控制。但是由于压电叠堆与放大机构的限制,现有的光学微扫描超分辨机构多利用压电叠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载装置,其特征在于,包括:基座、过渡框架、用于安装载荷的运动框架、柔性连接组件、音圈电机、用于检测所述运动框架X向和Y向运动的距离检测组件、用于对于所述运动框架的限位组件,所述运动框架具有通光孔,其中,所述柔性连接组件包括第一柔性连接件和第二柔性连接件,所述过渡框架和所述运用框架通过所述第一柔性连接件连接,所述过渡框架和所述基座通过所述第二柔性连接件连接,所述音圈电机包括音圈电机线圈和音圈电机磁座,所述音圈电机线圈设置在所述运动框架上,所述音圈电机磁座安装在所述基座上,在所述音圈电机的带动下,第一时刻时所述运动框架相对于所述过渡框架进行Y向运动,第二时刻时所述运动框架和所述过渡框架相对于所述基座进行X向运动,所述距离检测组件和所述限位组件均设置在所述基座上。2.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述运动框架和所述过渡框架在Y方向上的尺寸相同。3.根据权利要求2所述的承载装置,其特征在于,所述运动框架为正方形,所述通光孔为圆形或正方形。4.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,还包括用于安装所述音圈电机磁座的所述音圈电机磁座底座,所述音圈...

【专利技术属性】
技术研发人员:谭淞年许永森王烨菲王中石姚东
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
类型:发明
国别省市:

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