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本发明实施例提供的一种承载装置，包括基座、过渡框架、用于安装载荷的运动框架、柔性连接组件、音圈电机、距离检测组件、限位组件，通过采用柔性支撑结构，有效的保证了运动框架的二维水平运动，减少了其他方向的耦合运动，Z轴寄生运动小。由于采用柔性结构...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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