透明电极层叠体和包含其的触摸传感器制造技术

本发明专利技术涉及透明电极层叠体和包含其的触摸传感器，该透明电极层叠体包含依次层叠的第一金属氧化物层、金属层和第二金属氧化物层，通过调节上述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层所包含的金属氧化物和氧化铟(In2O3)的含量，从而显示出高透过率，蚀刻性优异。蚀刻性优异。蚀刻性优异。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透明电极层叠体和包含其的触摸传感器


[0001]本专利技术涉及透明电极层叠体和包含其的触摸传感器。

技术介绍

[0002]具有导电性的透明电极可以在众多
中得到应用。例如，作为防静电膜、电磁波屏蔽等功能性薄膜以及平板显示器、太阳能电池、触摸面板、透明晶体管、柔性光电元件、透明光电元件等的核心电极材料来使用。
[0003]目前，用得最为广泛的透明电极材料中的一种是氧化铟锡(ITO；indium doped Tin Oxide)。ITO虽然在可见光全域中透过度物性呈令人满意的水平，但由于面电阻为约30Ω/
□
，电阻高，因此存在难以应用于要求20Ω/
□
以下的低电阻的环境中的问题。
[0004]为此，近年来，使用能够提供高导电性和高可见光线透过度的氧化物/金属/氧化物(Oxide/Metal/Oxide)结构的OMO透明电极，比如，ITO/金属/ITO结构的透明电极。
[0005]这样的OMO透明电极是通过利用公知的涂布法或蒸镀法在基板上形成OMO结构的透明导电膜、即透明电极层叠体，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种透明电极层叠体，其包含依次层叠的第一金属氧化物层、金属层和第二金属氧化物层，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层包含10至40重量％的金属氧化物和60至90重量％的氧化铟In2O3。2.根据权利要求1所述的透明电极层叠体，所述金属层包含银或银合金。3.根据权利要求1所述的透明电极层叠体，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的厚度各自独立地为10nm～60nm。4.根据权利要求1所述的透明电极层叠体，所述金属层的厚度为3nm～20nm...

【专利技术属性】
技术研发人员：安有美，金承国，吴根泰，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：