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微镜器件及光扫描装置制造方法及图纸
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文档序号:37461112
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本发明的微镜器件具有第1支承部(21),第1支承部(21)在位于包含反射镜部(20)静止时的反射面的平面内的第1轴(a1)上与反射镜部(20)连接,且将反射镜部(20)支承为能够绕第1轴(a1)摆动。第1支承部(21)由沿第1轴(a1)延伸...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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