一种打火自熄式的离子泵控制器制造技术

本实用新型专利技术提供一种打火自熄式的离子泵控制器，应用于溅射离子泵技术领域，包括控制保护电路，控制保护电路与多档升压变压器的初级连接，多档升压变压器的次级与倍压整流电路连接，倍压整流电路与控制保护电路连接；控制保护电路包括主控模块、电流采样模块，主控模块与电源模块电性连接，主控模块输出端与继电器输出模块连接，继电器输出模块与多档升压变压器的初级连接；电流采样模块的输出端与主控模块的第二输入端连接，电流采样模块的输入端与倍压整流电路、离子泵连接。通过多档位调节，能够有效防止拉弧现象的持续，也能够有效避免电缆漏电引发的事故，同时能够避免离子泵频繁断电，有利于保障离子泵的正常工作。有利于保障离子泵的正常工作。有利于保障离子泵的正常工作。

【技术实现步骤摘要】
一种打火自熄式的离子泵控制器


[0001]本技术属于溅射离子泵
，具体涉及一种打火自熄式的离子泵控制器。

技术介绍

[0002]溅射离子泵在高真空系统中是必不可少的设备，溅射离子泵通常工作在上千伏特的高压下。在辐照电子直线加速器的真空系统中，溅射离子泵的工作电压以7KV级别为主。在该电压下，对溅射离子泵的电极以及传输电缆都是一个极高的考验，尤其是离子泵的高压电极，一旦表面出现脏污，极易引起拉弧爬电，甚至打火，最终导致电极损坏，从而引起真空破坏。一旦发生被动性的真空破坏，对整个真空系统而言，是灾难性的。
[0003]常见的离子泵控制，大多采用如下两种方式，一种是不管是否有过流情况，一直保持固定高压输出；另一种是一旦检测出现过流，便立即断开控制器高压输出，直至有人为的干预。
[0004]采用保持固定高压方式时，若离子泵表面发生拉弧打火，定然会对电极造成一定的损伤，拉弧一旦产生，若电压不降到一定水平或者断开，是难以中断其拉弧的，且若出现电缆漏电情况，持续高压会导致电缆烧断甚至起火的事故，存在较大的安全隐患。<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种打火自熄式的离子泵控制器，其特征在于，包括控制保护电路，所述控制保护电路与多档升压变压器的初级连接，所述多档升压变压器的次级与倍压整流电路连接，所述倍压整流电路的反馈输出端与控制保护电路连接，所述控制保护电路与离子泵的负极连接，所述倍压整流电路与离子泵的正极连接；所述控制保护电路包括主控模块，所述主控模块的第一输入端与电源模块电性连接，所述主控模块的输出端与继电器输出模块的输入端连接，所述继电器输出模块的输出端与多档升压变压器的初级连接；所述控制保护电路还包括电流采样模块，所述电流采样模块的输出端与主控模块的第二输入端连接，所述电流采样模块的输入端与倍压整流电路、离子泵连接。2.根据权利要求1所述的打火自熄式的离子泵控制器，其特征在于，所述电源模块和继电器输出模块均与外部工频电源连接。3.根据权利要求1所述的打火自熄式的离子泵控制器，其特征在于，所述倍压整流电路包括串联的电阻一R1、电阻二R2，所述电阻一R1、电阻二R2上分别并联有电容一C1、电容二C2；所述倍压整流电路还包括串...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳家祥，
申请(专利权)人：浙江博太粒子加速器有限公司，
类型：新型
国别省市：