高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备制造方法及图纸

本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果提取每一个扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；将每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行比对，生成比对结果；基于比对结果对每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓；对所有第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。

【技术实现步骤摘要】
高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备


[0001]本申请涉及图像轮廓提取领域，尤其是一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路的制造过程中，需要多次对硅片进行扫描生成大量的扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)图像，并通过对SEM图进行分析，及时地对制造环节中的各工艺进行判断与评估。对所获得的SEM图进行轮廓提取在半导体缺陷检测，关键尺寸量测，以及光学邻近效应矫正(Originating Point Code，OPC)模型的建模与优化中有着非常广泛的应用。
[0003]现有的高精度轮廓提取方案如图1所示，拍摄一张视野FOV较大且含有重复图案pattern的SEM图片；从SEM图片中截取出多张含有相同pattern的小块SEM图片；基于图片信息，进行所有小块SEM图片之间的对齐；对对齐后的所有SEM图片求平均，获得一张高清SEM图片；从清晰的SEM图片中提取出高精度的轮廓。
[0004]但此种方法会将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述方法包括：在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将所述多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果；其中，所述多个待检测位置均含有相同的图案；所述多个待检测位置与所述多个扫描电子显微镜图像一一对应；基于所述对准结果提取每一个所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；将每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图进行比对，生成比对结果；基于所述比对结果对每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓；其中，多个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓与多个所述第二扫描电子显微镜图像轮廓一一对应；对所有所述第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。2.根据权利要求1所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述对所有所述第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：基于所述扫描电子显微镜图像的像素尺寸确定所述设计版图的多个检测点；确定所述多个检测点在每一个所述第二扫描电子显微镜图像轮廓的位置；计算所有所述第二扫描电子显微镜图像轮廓在相同的位置上与所述检测点之间的偏移量；其中，所述偏移量包括X方向的所述偏移量和/或Y方向的所述偏移量；计算X方向上所有所述偏移量的平均值和/或Y方向上所有所述偏移量的平均值；基于所述X方向上所有所述偏移量的平均值和/或Y方向上所有所述偏移量的平均值确定高精度的轮廓点的位置；基于所述设计版图将所有所述高精度的轮廓点进行连接，生成所述第三扫描电子显微镜图像轮廓。3.根据权利要求1所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述多个待检测位置由以下范围中的一项或多项得到：所述扫描电子显微镜图像包括的视场范围、芯片的范围以及掩模板的范围。4.根据权利要求1所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将所述多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果，包括：在采集到所述多个待检测位置的所述多个扫描电子显微镜图像的情况下，提取每一个所述扫描电子显微镜图像的第四扫描电子显微镜图像轮廓；基于所述扫描电子显微镜图像对所述第四扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第五扫描电子显微镜图像轮廓；将所述第五扫描电子显微镜图像轮廓转化为与所述设计版图格式相同的所述第五扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的所述第五扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到所述对准结果。
5.根据权利要求4所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述对准结果提取每一个所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓，包括：基于所述对准结果将所述第五扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成所述第一扫描电子显微镜图像轮廓；提取每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓。6.根据权利要求1所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图进行比对，生成比对结果，包括：基于所述扫描电子显微镜图像的像素尺寸确定所述设计版图的多个检测点；确定所述多个检测点在每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓的位置；计算每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓的位置与所述检测点之间的偏移量；其中，所述偏移量包括X方向的所述偏移量和/或Y方向的所述偏移量；计算X方向上所有所述偏移量的平均值和/或Y方向上所有所述偏移量的平均值；基于X方向上所有所述偏移量的平均值和/或所述Y方向上所有所述偏移量的平均值生成比对结果。7.根据权利要求1所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述对所有所述第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓之后，方法还包括：基于所述第三扫描电子显微镜图像轮廓计算关键尺寸；其中，所述关键尺寸包括：所述第三扫描电子显微镜图像轮廓的线条宽度以及孔径大小中的至少一项；基于所述关键尺寸进行光学邻近效应矫正模型训练。8.根据权利要求4所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将转化后的所述第五扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果，包括：将转化后的所述第五扫描电子显微镜图像轮廓与预设的所述原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取所述对准结果；其中，所述图形相似度指标用于表征所述第五扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图之间的对准程度。9.根据权利要求4所述的高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将转化后的所述第四扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果之后，方法还包括：基于所述对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。10.一种高精度扫描电子显...

【专利技术属性】
技术研发人员：张荣佳，韩春营，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：