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本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下，将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果提取每一个扫...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）有限公司授权不得商用。

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