【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于形成在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记 的对准标记形成装置。
技术介绍
例如在专利文献1中公开了如下内容当在多层基板之间定位图案时， 利用贯穿孔、被印刷的图案、凹部等。在此，如专利文献1所记载的那样， 为了进行多层基板表面的图案的定位，能够利用贯穿孔、被印刷的图案、凹 部等，但为了将在基板的两面上形成的图案定位，需要利用这些之中的贯穿 孔。专利文献1:国际公开WO02/039793然而，根据基板的不同，存在不适于形成贯穿孔的情况。在这种情况下， 产生不能进行在基板的两面上形成的图案的定位的问题。而且，即使是能够 形成贯穿孔的基板，也存在如下的问题，即，为了形成贯穿孔需要使用钻孔 机等加工装置，从而制造工序变得复杂。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供一种对准标记形 成装置，其结构简单，在不使用贯穿孔的情况下，能够进行在基板的两面上 形成的图案的定位。第一技术方案所述的专利技术是一种对准标记形成装置，用于形成定位用对 准标记，该定位用对准标记是在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记， 其特征在于，具有工作台...
【技术保护点】
一种对准标记形成装置，用于形成定位用对准标记，该定位用对准标记是在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记，其特征在于，具有： 工作台，其用于装载基板； 定位构件，其用于将所述工作台上所装载的基板定位； 多个对准标记形成部，其分别在装载于所述工作台上的基板的非有效区域中的该基板的表面侧和背面侧且在同轴上形成对准标记。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：原望，城田浩行，中岛直人，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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