下载对准标记形成装置的技术资料

文档序号:3744302

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本发明提供一种对准标记形成装置,其结构简单,在不使用贯穿孔的情况下能够进行在基板的两面上形成的图案的定位。对准标记形成装置(10)具有用于装载基板的工作台(11)、用于定位装载于该工作台(11)上的基板的3个定位销(21)、3个对准标记形成...
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