本实用新型专利技术公开了一种划片机，包括相邻且连通设置的上下料区和切割区，和在上下料区和切割区之间往复运动的工作台，还包括：遮挡板，可拆卸地安装于上下料区和切割区的连通位置并与工作台的上表面间隔设置，以使上下料区和切割区仅在遮挡板和工作台上表面之间处于连通状态；喷水件和喷气件，均设置于工作台上方并朝向工作台的上表面喷出对应介质，其喷出路径均覆盖遮挡板和工作台上表面之间的区域。本实用新型专利技术通过设置遮挡板，以对上下料区和切割区之间的连通区域进行遮挡，以阻隔切割区产生的大部分水汽及碎屑，同时设置喷水件和喷气件覆盖遮挡板和工作台之间的区域，通过喷水和喷气的两种阻隔方式进行切割区剩余水汽及碎屑的阻挡。的阻挡。的阻挡。
【技术实现步骤摘要】
划片机
[0001]本技术涉及晶圆切割设备
，特别涉及一种划片机。
技术介绍
[0002]在晶圆的加工过程中，通常使用划片机对晶圆进行切割，划片机一般设置有上下料区，以及与上下料区相邻并连通的切割区，划片机在上下料区会对晶圆进行上料，上料的晶圆会被放置到工作台之后将被转运至切割区进行切割动作，切割后晶圆会被转运至上下料区进行后续操作。
[0003]由于晶圆在切割区进行切割的过程中，会产生大量水汽及晶圆碎屑，其会造成上下料区部件的污染及磨损，因此需要在上下料区和切割区之间设置阻隔设施，现有技术常通过在上下料区和切割区连通位置的台面上设置喷水管或喷气管，通过倾斜朝向斜上方的切割区喷水或喷气以进行切割区中水汽及晶圆碎屑的阻隔，由于喷水管或喷气管在喷出距离较远时阻隔能力大大下降，且斜向上喷气的方式会产生难以阻隔的区域，因此导致阻隔效果并不理想。
[0004]因此，如何对切割区的水汽及晶圆碎屑进行有效阻隔，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种划片机，以对切割区的水汽及晶圆碎屑进行有效阻隔。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种划片机，包括相邻且连通设置的上下料区和切割区，和在所述上下料区和所述切割区之间往复运动的工作台，还包括：
[0008]遮挡板，所述遮挡板可拆卸地安装于所述上下料区和所述切割区的连通位置，并与所述工作台的上表面间隔设置，以使得所述上下料区和所述切割区仅在所述遮挡板和所述工作台上表面之间处于连通状态；
[0009]喷水件和喷气件，所述喷水件和所述喷气件均设置于所述工作台的上方并朝向所述工作台的上表面喷出对应介质，所述喷水件和所述喷气件的喷出路径均覆盖所述遮挡板和所述工作台上表面之间的间隔区域。
[0010]优选地，在上述划片机中，所述喷水件的喷水方向朝向所述切割区，所述喷气件的喷气方向朝向所述上下料区。
[0011]优选地，在上述划片机中，所述喷水件与所述喷气件在第一方向上设置于所述遮挡板的两侧，所述第一方向为平行于所述上下料区和所述切割区分隔平面的方向。优选地，在上述划片机中，所述喷水件位于所述遮挡板靠近所述切割区的一侧，所述喷气件位于所述遮挡板靠近所述上下料区的一侧。
[0012]优选地，在上述划片机中，所述喷水件的喷水方向与水平方向之间的夹角为40
°‑
50
°
。
[0013]优选地，在上述划片机中，所述喷气件的喷气方向垂直于所述工作台的上表面。
[0014]优选地，在上述划片机中，所述喷水件和所述喷气件的水平高度与所述遮挡板的第一边水平高度相同，所述第一边为所述遮挡板距离所述工作台最近的一边。
[0015]优选地，在上述划片机中，所述喷水件为流通加压水的水管，所述水管上开设有多个喷水孔。
[0016]优选地，在上述划片机中，所述喷水件和/或所述喷气件设置单层或多层，且所述喷水件和所述喷气件交替设置。
[0017]优选地，在上述划片机中，所述喷气件和所述喷水件均通过连接件固定设置于所述遮挡板上，所述连接件上开设有供所述喷气件或所述喷水件卡入固定的卡槽，所述连接件螺栓连接于所述遮挡板上。
[0018]从上述的技术方案可以看出，本技术提供的划片机，包括上下料区、切割区和工作台，其中，上下料区用于承载晶圆并实现晶圆的上料、移载及下料动作，工作台往复运动于上下料区和切割区之间，以将上下料区中的晶圆转运至切割区进行切割，切割区即用于进行晶圆切割的区域，其与上下料区连通，特别地，还包括遮挡板、喷水件和喷气件，其中，遮挡板可拆卸地安装于上下料区和切割区之间的连通位置，并与工作台的上表面间隔设置，具体的，遮挡板的三边均接触连接，仅朝向工作台的一边处保持上下料区和切割区之间的连通，且遮挡板与工作台之间的间隔满足工作台对晶圆转运的空间需求，遮挡板用于减小上下料区与切割区之间的连通面积，以对切割区中产生的水汽及碎屑等杂质进行初步阻隔；喷水件和喷气件均设置于工作台的上方，且喷水件和喷气件均朝向工作台的上表面喷出其内部对应的介质，同时喷水件和喷气件的喷出路径均能够覆盖遮挡板和工作台上表面之间的间隔区域，以通过两种介质进行水汽和碎屑的阻隔，进而保证阻隔效果。本技术通过在上下料区和切割区之间设置遮挡板，以实现对水汽和晶圆碎屑的初步阻挡，并减小上下料区和切割区之间的连通面积，同时设置有喷水件和喷气件以对遮挡板和工作台上表面之间，即上下料区和切割区在设置遮挡板之后的连通区域进行喷水和喷气，通过两种介质的阻挡作用以实现对切割区中水汽和碎屑的有效阻隔。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术实施例提供的遮挡板设置位置示意图；
[0021]图2为本技术实施例提供的喷水件及喷气件结构示意图；
[0022]其中，10为上下料区，20为切割区，30为遮挡板，40为喷水件，410为喷水孔，50为喷气件，510为喷气孔，60为连接件。
具体实施方式
[0023]本技术的核心在于公开一种划片机，以在切片机进行晶圆切割的过程中，对
切割区的水汽及晶圆碎屑进行有效阻隔。
[0024]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面参照附图对本技术实施例进行说明。此外，下面所示的实施例不对权利要求所记载的
技术实现思路
起任何限定作用。另外，下面实施例所表示的构成的全部内容不限于作为权利要求所记载的技术的解决方案所必需的。
[0025]如图1及图2所示，本技术实施例提供的划片机，包括上下料区10、切割区20和工作台，其中，上下料区10用于承载并带动晶圆在工况需要时进行晶圆的上料及下料动作，工作台往复运动于上下料区10和切割区20之间，以将上下料区10中的晶圆转运至切割区20进行切割，切割区20即用于进行晶圆切割的区域，其与上下料区10连通，特别地，在本技术实施例提供的划片机中，还包括遮挡板30、喷水件40和喷气件50，其中，遮挡板30可拆卸地安装于上下料区10和切割区20之间的连通位置，并与工作台的上表面间隔设置，需要说明的是，遮挡板30的三边均接触连接以隔断上下料区10与切割区20，遮挡板30仅朝向工作台的一边处保持上下料区10和切割区20之间的连通，且遮挡板30与工作台之间的间隔满足工作台对晶圆转运的空间需求，遮挡板30用于减小上下料区10与切割区20之间的连通面积，并对切割区20中产生的水汽及碎屑等杂质进行初步阻隔。
[0026]需要说明的是，遮挡板30可拆卸的设置用于根据实际生产需要，在仅使用喷水件40及喷气件5本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片机，包括相邻且连通设置的上下料区(10)和切割区(20)，和在所述上下料区(10)和所述切割区(20)之间往复运动的工作台，其特征在于，还包括：遮挡板(30)，所述遮挡板(30)可拆卸地安装于所述上下料区(10)和所述切割区(20)的连通位置，并与所述工作台的上表面间隔设置，以使得所述上下料区(10)和所述切割区(20)仅在所述遮挡板(30)和所述工作台上表面之间处于连通状态；喷水件(40)和喷气件(50)，所述喷水件(40)和所述喷气件(50)均设置于所述工作台的上方并朝向所述工作台的上表面喷出对应介质，所述喷水件(40)和所述喷气件(50)的喷出路径均覆盖所述遮挡板(30)和所述工作台上表面之间的间隔区域。2.如权利要求1所述的划片机，其特征在于，所述喷水件(40)的喷水方向朝向所述切割区(20)，所述喷气件(50)的喷气方向朝向所述上下料区(10)。3.如权利要求2所述的划片机，其特征在于，所述喷水件(40)与所述喷气件(50)在第一方向上设置于所述遮挡板(30)的两侧，所述第一方向为平行于所述上下料区(10)和所述切割区(20)分隔平面的方向。4.如权利要求3所述的划片机，其特征在于，所述喷水件(40)位于所述遮挡板(30)靠近所述切割区(20)的一侧，所述喷气...
【专利技术属性】
技术研发人员：李昌坤，钮成杰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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