一种晶圆抛光机及晶圆生产系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种晶圆抛光机及晶圆生产系统，属于晶圆抛光技术领域。晶圆抛光机，包括伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩端设置有轴承安装座，还包括：花键轴，通过轴承转动设置于所述轴承安装座上，以使所述花键轴沿自身轴线进行移动；转动驱动机构，包括传动齿轮，所述传动齿轮设置于所述花键轴上，用于驱动所述花键轴转动；弹性缓冲组件，活动套设于所述花键轴上，且位于所述轴承安装座和所述传动齿轮之间；当所述伸缩气缸到达行程顶点时，所述轴承安装座被配置为与所述弹性缓冲组件抵接。避免伸缩气缸上的轴承安装座与传动齿轮的直接硬接触，延长晶圆抛光机的使用寿命，有利于晶圆的批量化生产。的批量化生产。的批量化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆抛光机及晶圆生产系统


[0001]本技术涉及晶圆抛光
，尤其涉及一种晶圆抛光机及晶圆生产系统。

技术介绍

[0002]晶圆抛光机一般通过研磨来加工工件表面，提高晶圆表面的光洁度。
[0003]但是，现有的晶圆抛光机气缸完全下压，达到行程顶点(即：下顶点)之时，气缸会直接将轴承座压到传动齿轮上。这种硬接触会破坏花键轴的上轴承和传动齿轮，缩短晶圆抛光机的使用寿命，同时不利于晶圆的批量化生产。
[0004]为此，亟需提供一种晶圆抛光机及晶圆生产系统以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆抛光机及晶圆生产系统，避免气缸的上轴承与传动齿轮的直接硬接触，延长晶圆抛光机的使用寿命，有利于晶圆的批量化生产。
[0006]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0007]一种晶圆抛光机，包括伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩端设置有轴承安装座，还包括：
[0008]花键轴，通过轴承转动设置于所述轴承安装座上，以使所述花键轴沿自身轴线进行移动；
[0009]转动驱动机构，包括传动齿轮，所述传动齿轮设置于所述花键轴上，用于驱动所述花键轴转动；
[0010]弹性缓冲组件，活动套设于所述花键轴上，且位于所述轴承安装座和所述传动齿轮之间；
[0011]当所述伸缩气缸到达行程顶点时，所述轴承安装座被配置为与所述弹性缓冲组件抵接。
[0012]作为晶圆抛光机的可选方案，所述弹性缓冲组件包括同步块和弹性件，所述同步块和所述弹性件均活动套设于所述花键轴，且所述弹性件设置于所述同步块靠近所述轴承安装座的一侧。
[0013]作为晶圆抛光机的可选方案，所述弹性件采用橡胶材质制成。
[0014]作为晶圆抛光机的可选方案，所述同步块靠近所述传动齿轮的一侧设置有避让槽，所述传动齿轮上的紧固螺钉位于所述避让槽内。
[0015]作为晶圆抛光机的可选方案，所述传动齿轮上设置有多个所述紧固螺钉，所述同步块绕自身轴线周向间隔设置有多个所述避让槽，多个所述避让槽与多个所述紧固螺钉一一对应设置。
[0016]作为晶圆抛光机的可选方案，所述同步块上设置有第一连接孔，所述弹性件上设置有第二连接孔，所述第一连接孔与所述第二连接孔一一对应设置，所述弹性件通过紧固件穿过所述第二连接孔与所述第一连接孔连接。
[0017]作为晶圆抛光机的可选方案，还包括安装基架，所述安装基架包括支撑杆、第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板平行间隔设置于所述支撑杆的两端，所述伸缩气缸的伸缩端固接于所述第一安装板远离所述第二安装板的一侧，所述轴承安装座嵌设于所述第二安装板上。
[0018]作为晶圆抛光机的可选方案，所述第一安装板和所述第二安装板之间间隔设置有多个所述支撑杆。
[0019]作为晶圆抛光机的可选方案，还包括研磨盘组件，所述研磨盘组件设置于所述花键轴远离所述轴承安装座的一端。
[0020]一种晶圆生产系统，包括机械手和如上所述任一晶圆抛光机技术方案，所述机械手输送晶圆至所述晶圆抛光机的抛光盘上。
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0022]本技术所提供的晶圆抛光机，花键轴通过轴承转动设置在轴承安装座上，伸缩气缸可以驱动花键轴上下移动，传动齿轮设置在花键轴上，弹性缓冲组件设置花键轴上，且位于轴承安装座和传动齿轮之间，当伸缩气缸驱动花键轴到达行程顶点时，轴承安装座被配置为与弹性缓冲组件抵接，避免伸缩气缸上的轴承安装座与传动齿轮直接硬接触，延长晶圆抛光机的使用寿命，有利于晶圆的批量化生产。
[0023]本技术所提供的晶圆生产系统，通过机械手输送晶圆至晶圆抛光机的加工工作台上，并在轴承安装座和传动齿轮之间设置弹性缓冲组件，避免伸缩气缸的轴承安装座与传动齿轮直接硬接触，延长晶圆抛光机的使用寿命，有利于晶圆的批量化生产。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本技术实施例中晶圆抛光机的装配示意图；
[0026]图2为本技术实施例中弹性缓冲组件的爆炸示意图；
[0027]图3为本技术实施例中安装基架的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]1、伸缩气缸；2、花键轴；3、转动驱动机构；4、弹性缓冲组件；5、安装基架；6、研磨盘组件；
[0030]11、轴承安装座；
[0031]21、轴承；22、导引槽；
[0032]31、传动齿轮；32、紧固螺钉；
[0033]41、同步块；42、弹性件；43、避让槽；44、第一连接孔；45、第二连接孔；
[0034]51、第一安装板；52、第二安装板；53、支撑杆。
具体实施方式
[0035]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0036]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0037]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0038]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0039]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆抛光机，包括伸缩气缸(1)，所述伸缩气缸(1)的伸缩端设置有轴承安装座(11)，其特征在于，还包括：花键轴(2)，通过轴承(21)转动设置于所述轴承安装座(11)上，以使所述花键轴(2)沿自身轴线进行移动；转动驱动机构(3)，包括传动齿轮(31)，所述传动齿轮(31)设置于所述花键轴(2)上，用于驱动所述花键轴(2)转动；弹性缓冲组件(4)，活动套设于所述花键轴(2)上，且位于所述轴承安装座(11)和所述传动齿轮(31)之间；当所述伸缩气缸(1)到达行程顶点时，所述轴承安装座(11)被配置为与所述弹性缓冲组件(4)抵接。2.根据权利要求1所述的晶圆抛光机，其特征在于，所述弹性缓冲组件(4)包括同步块(41)和弹性件(42)，所述同步块(41)和所述弹性件(42)均活动套设于所述花键轴(2)，且所述弹性件(42)设置于所述同步块(41)靠近所述轴承安装座(11)的一侧。3.根据权利要求2所述的晶圆抛光机，其特征在于，所述弹性件(42)采用橡胶材质制成。4.根据权利要求2所述的晶圆抛光机，其特征在于，所述同步块(41)靠近所述传动齿轮(31)的一侧设置有避让槽(43)，所述传动齿轮(31)上的紧固螺钉(32)位于所述避让槽(43)内。5.根据权利要求4所述的晶圆抛光机，其特征在于，所述传动齿轮(31)上设置有多个所述紧固螺钉(32)，所述同步块(41)绕自身轴线周向间隔设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖宏海，李小平，
申请(专利权)人：上海森永工程设备有限公司，
类型：新型
国别省市：